 lixiang
|
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
ecd991d2f4
1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
5a4c70257b
1.Recipe 添加给eap recipe的内容
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
d33079596b
1.优化新版跑片动画
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
3e00375ce8
1.FDC代码逻辑移到PricessDefine
|
1 vuosi sitten |
 hecl
|
9d28f8ee7d
1.Add Tru match
|
1 vuosi sitten |
|
hecl
|
b3a13fc6c7
1.IoMagnet device Logical supplement
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
87f1121180
1.Recipe UI 界面Name优化
|
1 vuosi sitten |
|
hecl
|
68754c24af
1.add venuse SE/DE turbopump&pendulum interlock
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
0f0650b80f
1.PM 界面 run recipe 变为手动模式
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
1 vuosi sitten |
 zhouhr
|
3e18a3a534
Add compatibility for VenusSE in Process,GasFlowRoutine && add More Gas define in config for VenusSE PM && fix bug in IoDefine
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
e511d1f387
1.添加PM控压功能
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
7c5d66a96d
右击wafer报错bug修复
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
894ff76d5e
online/offline tobview状态颜色变化
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
a2426eb90b
Recipe 添加bias step ramp设值功能
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
0af54acc48
Recipe 每个模块做成ui可配，设计clean recipe模块，Kepler2200 模拟器recipe工艺测试
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
20cc441578
1.kepler2200 ui优化
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
3f6c65223f
1.删除部分不需要插入数据库数据
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
b6acfe2e29
优化TM leak check功能
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
72ac29dac2
1.优化PMC Kepler2200A界面
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
b96ac701fb
1.添加TM Simulator
|
2 vuotta sitten |
