 lixiang
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
08ec6feef2
1.优化数据分析界面颜色选择bug
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
edb5ad6960
1.添加数据分析 Recipe step功能
|
1 år sedan |
 Intern01
|
9c618d6866
DataHistory&&ProcessDataHistory update
|
1 år sedan |
|
Intern01
|
8a99234204
1.增加prcocessdatahistory 页面GridSplitter，excel导出等功能，增加FA界面
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
8f80478982
1.添加IoSwitch
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
e9951fa64d
1.添加efem/sequence等界面
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
ec1eeba67c
添加数据分析界面
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
081ab4daa5
添加多个UI界面
|
2 år sedan |
