 lixiang
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7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
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hace 1 año |
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lixiang
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d744d950e1
配置文件添加Ethercat开关功能
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hace 1 año |
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lixiang
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ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
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hace 1 año |
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lixiang
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bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
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hace 1 año |
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lixiang
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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hace 1 año |
 zhouhr
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8436daeb68
Eliminate SE generation warning.
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hace 1 año |
 sangwq
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c5ba2fb197
Transfer align angel from sequence to system configure and enable angle increasement by wafer.
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hace 1 año |
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lixiang
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08e85396fc
1.添加eventview分页功能
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hace 1 año |
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lixiang
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5e8bf0ff14
1.重绘window窗体
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hace 1 año |
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lixiang
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038bcab52c
Operation界面添加PreCleanRecipe/PostCleanRecipe选择功能
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hace 1 año |
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lixiang
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5c995238da
1.修复kepler流气模拟器bug
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hace 1 año |
 chenkui
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44fc6989ef
1、Remove FabConnect dll file;
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hace 1 año |
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zhouhr
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c80e520ac1
update Drive of HONGHU Robot to Dual-Arms && add VCE cassette in UI.RT && add SMIF/ISMIF.cs,LoadWithSMIFRoutine,UnloadWithSMIFRoutine
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hace 1 año |
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lixiang
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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hace 1 año |
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zhouhr
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49815fb19f
add VCE Module in UI && fix bug in SE Cycle
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hace 1 año |
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lixiang
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818383115c
UI优化
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hace 1 año |
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zhouhr
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3e18a3a534
Add compatibility for VenusSE in Process,GasFlowRoutine && add More Gas define in config for VenusSE PM && fix bug in IoDefine
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hace 1 año |
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lixiang
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c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
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hace 1 año |
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zhouhr
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36cc58e22c
fix bug in Venus SE PM in UI,RT,Simulator
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hace 1 año |
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lixiang
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e511d1f387
1.添加PM控压功能
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hace 1 año |
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lixiang
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6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
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hace 1 año |
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zhouhr
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a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
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hace 1 año |
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sangwq
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d1ac5fa823
fixed the clean recipe path bug.
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hace 1 año |
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sangwq
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75314148f5
Added Auto Pump/vent option.
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hace 1 año |
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lixiang
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7d5d86217c
解决冲突
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hace 1 año |
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zhouhr
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31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
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hace 1 año |
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lixiang
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7a6912dc9c
添加cleanrecipe界面
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hace 1 año |
 hecl
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58b65c3ff0
VenusSE Simulator PM Update
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hace 2 años |
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zhouhr
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08029e238d
update Venus SE pick place && drivers of HongHu deivce && ui
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hace 2 años |
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sangwq
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7d93bf0076
Job Clean function, not finished.
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hace 2 años |
