 lixiang
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
f8c50b602a
修复Tolerance对流气不开阀的bug
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
818383115c
UI优化
|
před 1 rokem |
 zhouhr
|
3e18a3a534
Add compatibility for VenusSE in Process,GasFlowRoutine && add More Gas define in config for VenusSE PM && fix bug in IoDefine
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
e511d1f387
1.添加PM控压功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
ab095ba2a8
修复钟摆阀状态错误bug
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
894ff76d5e
online/offline tobview状态颜色变化
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
a2426eb90b
Recipe 添加bias step ramp设值功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
0af54acc48
Recipe 每个模块做成ui可配，设计clean recipe模块，Kepler2200 模拟器recipe工艺测试
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
5139f41e19
添加PM Abort 下拉菜单功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
edb5ad6960
1.添加数据分析 Recipe step功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
649ac00032
添加rfmatch/biasrfmatch自动计算c1/c2功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
20cc441578
1.kepler2200 ui优化
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
3f6c65223f
1.删除部分不需要插入数据库数据
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
ad6fa7b5dc
1.添加chamber界面创建wafer，开关门功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
cdf41d68fe
1.优化数据库实时数据插入功能，恢复数据查询/实时数据查看等功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
72ac29dac2
1.优化PMC Kepler2200A界面
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
4a6cf3aa4c
pm interlock报错修改
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
b96ac701fb
1.添加TM Simulator
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
4ffafb6001
EFEM界面优化
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
179f80c29a
1.endpoint by wcf 添加修改配置文件界面
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
f3bd6b016b
添加部分efem功能
|
před 1 rokem |
 sangwq
|
aaf8372896
兼容 两种 endpoint, 未完成
|
před 1 rokem |
|
sangwq
|
16f00701e5
Redesign Recipe module.
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
|
před 1 rokem |
