 lixiang
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6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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020e8459ea
移除kepler2200A与Kepler2200B RT Device中的chiller
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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15742217b9
添加工艺结束流气与关GasFinal阀中间添加1s延时
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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967f6b6b9c
添加控压结束，保持一秒流气功能
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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f8c50b602a
修复Tolerance对流气不开阀的bug
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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818383115c
UI优化
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
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vor 1 Jahr |
