 lixiang
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
818383115c
UI优化
|
1 yıl önce |
 zhouhr
|
3e18a3a534
Add compatibility for VenusSE in Process,GasFlowRoutine && add More Gas define in config for VenusSE PM && fix bug in IoDefine
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
e511d1f387
1.添加PM控压功能
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
62feaac5e7
1.优化跑片动画
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
894ff76d5e
online/offline tobview状态颜色变化
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
a2426eb90b
Recipe 添加bias step ramp设值功能
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
0af54acc48
Recipe 每个模块做成ui可配，设计clean recipe模块，Kepler2200 模拟器recipe工艺测试
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
5139f41e19
添加PM Abort 下拉菜单功能
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
649ac00032
添加rfmatch/biasrfmatch自动计算c1/c2功能
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
20cc441578
1.kepler2200 ui优化
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
3f6c65223f
1.删除部分不需要插入数据库数据
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
b5616b7378
解决冲突，合并代码
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
b6acfe2e29
优化TM leak check功能
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
72ac29dac2
1.优化PMC Kepler2200A界面
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
b96ac701fb
1.添加TM Simulator
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
c060fde154
1.Recipe Edit 添加配置功能
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
3b8277256c
1.recipeHead添加expand
|
2 yıl önce |
|
lixiang
|
5e89c4da73
优化recipe代码
|
2 yıl önce |
|
lixiang
|
da4e6f6a4e
Recipe功能完善
|
2 yıl önce |
 sangwq
|
0606b882bc
process module 1215
|
2 yıl önce |
|
sangwq
|
5d23b42797
recipe
|
2 yıl önce |
|
sangwq
|
847220c6ce
update for initial recipe design
|
2 yıl önce |
