 lixiang
|
708d655cae
1.将Kepler/Venus DeviceModel里面的ProcessGauge与PressureGauge重新定义
|
1 vuosi sitten |
 zhouhr
|
296cd4b8a4
1、recipe页面chuck、dechuck选项名称缩略并设置最大最小长度
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
cb91599d02
修复recipe Ui信息显示
|
1 vuosi sitten |
 Intern01
|
41052afc3b
recipeviewmodel uodate && simulator update
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
b6acfe2e29
优化TM leak check功能
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
f3bd6b016b
添加部分efem功能
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
1 vuosi sitten |
