 lixiang
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bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
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hace 1 año |
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lixiang
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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hace 1 año |
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lixiang
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33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
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hace 1 año |
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lixiang
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6910d4754e
代码合并
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hace 1 año |
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lixiang
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6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
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hace 1 año |
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lixiang
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ab095ba2a8
修复钟摆阀状态错误bug
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hace 1 año |
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lixiang
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41d50f69e3
1.钟摆阀关闭，加入压力和位置自动设0功能
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hace 1 año |
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lixiang
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379fe79c7b
1.根据tps sequence修改tm/ll vent/pump等功能
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hace 1 año |
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lixiang
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4992e94a4e
代码提交
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hace 1 año |
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lixiang
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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hace 1 año |
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lixiang
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c060fde154
1.Recipe Edit 添加配置功能
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hace 1 año |
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lixiang
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a48b743e88
1.完成PartialPressure功能
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hace 2 años |
 sangwq
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096c873956
Sequence SPEC update.
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hace 2 años |
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lixiang
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1759ebd070
修改rf ui
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hace 2 años |
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sangwq
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4ae8734407
PendulumValve pressure full range.
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hace 2 años |
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lixiang
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e12f20870b
钟摆阀压力送出/接收值乘以/除以10
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hace 2 años |
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sangwq
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6187ad5b4f
Interlock 优化
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hace 2 años |
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lixiang
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1f1fb71be3
1.2023/02/17现场rt代码修改
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hace 2 años |
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sangwq
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d22b60372f
Debug devices on tools
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hace 2 años |
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lixiang
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ffda76b488
修改rt与ui交互功能
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hace 2 años |
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sangwq
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3f8df8cade
DEVICE UPDATE
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hace 2 años |
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sangwq
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c4864f5546
debug gas verification.
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hace 2 años |
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sangwq
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bf48d9b6c5
AIRSYS CHILLER AND GAS VERIFICATION
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hace 2 años |
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sangwq
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3222fa143a
Process module and Interlock .
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hace 2 años |
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sangwq
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0606b882bc
process module 1215
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hace 2 años |
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sangwq
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8565810192
Servo Pressure and Gas Flow done.
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hace 2 años |
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sangwq
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af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
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hace 2 años |
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sangwq
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c8cfb4008d
check in HV, PendulumValve, TurboPump drivers.
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hace 2 años |
