 lixiang
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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41d50f69e3
1.钟摆阀关闭，加入压力和位置自动设0功能
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7c5d66a96d
右击wafer报错bug修复
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62feaac5e7
1.优化跑片动画
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0af54acc48
Recipe 每个模块做成ui可配，设计clean recipe模块，Kepler2200 模拟器recipe工艺测试
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de2f4fea7e
优化abort下拉功能
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lixiang
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5f00a42d13
kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能
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edb5ad6960
1.添加数据分析 Recipe step功能
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72ac29dac2
1.优化PMC Kepler2200A界面
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3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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e9951fa64d
1.添加efem/sequence等界面
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ec1eeba67c
添加数据分析界面
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a64bed3d6c
1.Run recipe 功能现场修改
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lixiang
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54ce578158
添加新版本recipe edit界面
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lixiang
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5e89c4da73
优化recipe代码
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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lixiang
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da4e6f6a4e
Recipe功能完善
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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lixiang
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34b0a3fbfa
1.添加recipe模块功能
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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lixiang
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8582fd7e94
Venus初始版本提交
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
