lixiang
|
41d50f69e3
1.钟摆阀关闭,加入压力和位置自动设0功能
|
1 年間 前 |
lixiang
|
379fe79c7b
1.根据tps sequence修改tm/ll vent/pump等功能
|
1 年間 前 |
lixiang
|
4992e94a4e
代码提交
|
1 年間 前 |
lixiang
|
de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
|
1 年間 前 |
lixiang
|
c060fde154
1.Recipe Edit 添加配置功能
|
1 年間 前 |
lixiang
|
a48b743e88
1.完成PartialPressure功能
|
2 年 前 |
sangwq
|
096c873956
Sequence SPEC update.
|
2 年 前 |
lixiang
|
1759ebd070
修改rf ui
|
2 年 前 |
sangwq
|
4ae8734407
PendulumValve pressure full range.
|
2 年 前 |
lixiang
|
e12f20870b
钟摆阀压力送出/接收值乘以/除以10
|
2 年 前 |
sangwq
|
6187ad5b4f
Interlock 优化
|
2 年 前 |
lixiang
|
1f1fb71be3
1.2023/02/17现场rt代码修改
|
2 年 前 |
sangwq
|
d22b60372f
Debug devices on tools
|
2 年 前 |
lixiang
|
ffda76b488
修改rt与ui交互功能
|
2 年 前 |
sangwq
|
3f8df8cade
DEVICE UPDATE
|
2 年 前 |
sangwq
|
c4864f5546
debug gas verification.
|
2 年 前 |
sangwq
|
bf48d9b6c5
AIRSYS CHILLER AND GAS VERIFICATION
|
2 年 前 |
sangwq
|
3222fa143a
Process module and Interlock .
|
2 年 前 |
sangwq
|
0606b882bc
process module 1215
|
2 年 前 |
sangwq
|
8565810192
Servo Pressure and Gas Flow done.
|
2 年 前 |
sangwq
|
af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
|
2 年 前 |
sangwq
|
c8cfb4008d
check in HV, PendulumValve, TurboPump drivers.
|
2 年 前 |