 lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
f0c8f8caa5
解决pm界面不能run recipe bug
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
894ff76d5e
online/offline tobview状态颜色变化
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
b253c8fadd
1.添加旋转动画
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
7ca9f5b9cf
修复TM跑片bug
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
631916b7de
优化跑片动画
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
ad6fa7b5dc
1.添加chamber界面创建wafer，开关门功能
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
 zhouhr
|
883eb268eb
add TM Robot Home && delete PrefixPath of the selected recipe in sequence
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
00d42e8c17
efem动画优化
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM，更新界面及rt
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
4ffafb6001
EFEM界面优化
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
f3bd6b016b
添加部分efem功能
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
072e5d0d01
ui Module TM 名变TMRobot
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
3be4fea304
优化传片动画
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
9231cab4b9
1.修改topView ui
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
7419cea99a
添加TMCycle动画（部分）
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
a64bed3d6c
1.Run recipe 功能现场修改
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
c060fde154
1.Recipe Edit 添加配置功能
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
2d424f4cab
优化漏气检测算法，给TM界面添加 1.删除/添加wafer 2.PM/LL自动隐藏功能
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
280432bb82
1.TM传片动画制作，UI界面优化
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
a48b743e88
1.完成PartialPressure功能
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
39fe214261
1.完善PartialPressure 功能
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
7299abbcd2
1.优化TM界面
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
62f1a16025
1.添加PartialPressure界面
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
b6c2517c51
1.添加加热功能
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
