|  lixiang | 379fe79c7b
							
							1.根据tps sequence修改tm/ll vent/pump等功能 | преди 2 години | 
				
					
						|  lixiang | 4992e94a4e
							
							代码提交 | преди 2 години | 
				
					
						|  lixiang | de406b964e
							
							1.添加EFEM等ui界面 | преди 2 години | 
				
					
						|  lixiang | c060fde154
							
							1.Recipe Edit 添加配置功能 | преди 2 години | 
				
					
						|  lixiang | a48b743e88
							
							1.完成PartialPressure功能 | преди 2 години | 
				
					
						|  sangwq | 096c873956
							
							Sequence SPEC update. | преди 2 години | 
				
					
						|  lixiang | 1759ebd070
							
							修改rf ui | преди 2 години | 
				
					
						|  sangwq | 4ae8734407
							
							PendulumValve pressure full range. | преди 2 години | 
				
					
						|  lixiang | e12f20870b
							
							钟摆阀压力送出/接收值乘以/除以10 | преди 2 години | 
				
					
						|  sangwq | 6187ad5b4f
							
							Interlock 优化 | преди 2 години | 
				
					
						|  lixiang | 1f1fb71be3
							
							1.2023/02/17现场rt代码修改 | преди 2 години | 
				
					
						|  sangwq | d22b60372f
							
							Debug devices on tools | преди 2 години | 
				
					
						|  lixiang | ffda76b488
							
							修改rt与ui交互功能 | преди 2 години | 
				
					
						|  sangwq | 3f8df8cade
							
							DEVICE UPDATE | преди 2 години | 
				
					
						|  sangwq | c4864f5546
							
							debug gas verification. | преди 2 години | 
				
					
						|  sangwq | bf48d9b6c5
							
							AIRSYS CHILLER AND GAS VERIFICATION | преди 2 години | 
				
					
						|  sangwq | 3222fa143a
							
							Process module and Interlock . | преди 2 години | 
				
					
						|  sangwq | 0606b882bc
							
							process module 1215 | преди 2 години | 
				
					
						|  sangwq | 8565810192
							
							Servo Pressure and Gas Flow done. | преди 2 години | 
				
					
						|  sangwq | af96d139ff
							
							2022年11月24日 提交 RT 部分更改 | преди 2 години | 
				
					
						|  sangwq | c8cfb4008d
							
							check in HV, PendulumValve, TurboPump drivers. | преди 3 години |