 lixiang
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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1 year ago |
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lixiang
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5f00a42d13
kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能
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2 years ago |
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lixiang
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1d854ff197
添加Lid Servo CTRL Mode控制lid是否可以开关
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2 years ago |
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lixiang
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a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
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2 years ago |
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lixiang
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7fe847dfd8
1.分开Venus/Kepler OverView界面，之前公用一个Overview界面
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2 years ago |
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lixiang
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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2 years ago |
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lixiang
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b6c2517c51
1.添加加热功能
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2 years ago |
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lixiang
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7c817b8450
将钟摆阀最大值设到1000
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2 years ago |
 sangwq
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630c7b7548
Wafer transfer routine done.
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2 years ago |
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sangwq
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af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
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2 years ago |
