 sangwq
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3b1932fced
Add Loadport loaded check while manual transfer wafer.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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ed2162b82c
Fix the PreClean/PostClean disorder bug.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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09e8c5db30
Fix the post clean not running bug.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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260120e0d5
Change the PreClean/PostClean design.
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vor 1 Jahr |
 zhouhr
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4269c343ba
upload missing files..
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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4e783f1934
fix the bug in Pendulum Valve for FullRangePressure && fix the bug of Pump/Vent in VenusSE && add check before VCE move in z-axis
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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eff7f8a03e
upload missing files
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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afa8662437
Changed from VPA to Aligner1 && Removed PreClean, PostClean in SequenceInfo
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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dd99f38e54
change the system by configtype in App.config in RT,Simulator && change the temp by chillertype in VenusDE
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vor 1 Jahr |
 hecl
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4b1a37ee73
fix bugs
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vor 1 Jahr |
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hecl
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f9b485c583
1.change pressurecontrol before opendoor from ChamberPressure to ProcessPressure
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vor 1 Jahr |
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hecl
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31019683d7
1.Venus MFCVerification UI enhance
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vor 1 Jahr |
 lixiang
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3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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1b11b89cd6
handle the Scheduler wafers while destination PM unexpected offline.
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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01f4eaa5de
fix the bug in SEMFSwapRoutine
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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da0e19a78e
enhance the error handling routine while PM offline.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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1d60dcb593
Fix the bugs about Exclude/Include feature.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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9d5c9aa491
Reset PMTask while after system abort.
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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253fcb8be2
add CassetteArrive,CurrentSlot in UI,RT,Simulator
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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2136e3b838
1.分开kepler与Venus 漏气检测ui，删除多余代码
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vor 1 Jahr |
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hecl
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0390869f30
1.Add recipe save as/rename function Messagebox and invalid recipename Messagebox
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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e81e8a5c12
IoSensor和管路 优化
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
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vor 1 Jahr |
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hecl
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1a56dd552c
fix bugs
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vor 1 Jahr |
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hecl
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e2836bfbda
1.Chamber DE process enhance
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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bc5ca0010e
Venus_Core.csproj 添加代码库
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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9faf7dc26a
拉取代码软件报警，去除默认Aligner1
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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9163903164
Kepler2200优化
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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02c63fca6d
Return wafers functions.
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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6748e4b29b
fix the bug in UnloadRoutine as the name of vce InnerDoor is fixed.
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vor 1 Jahr |
