 zhouhr
|
dd99f38e54
change the system by configtype in App.config in RT,Simulator && change the temp by chillertype in VenusDE
|
10 月之前 |
|
zhouhr
|
253fcb8be2
add CassetteArrive,CurrentSlot in UI,RT,Simulator
|
10 月之前 |
 lixiang
|
2136e3b838
1.分开kepler与Venus 漏气检测ui，删除多余代码
|
10 月之前 |
 sangwq
|
75b6c4548e
submit new venus routing algorithm.
|
11 月之前 |
|
zhouhr
|
0bea20360b
add LeakCheckRoutine in DE,VCE && add online for TM,VCE && fix bug in PM-PartialPressure && add LP in VCE && add sensor in VCE from TM
|
11 月之前 |
|
lixiang
|
5a4c70257b
1.Recipe 添加给eap recipe的内容
|
11 月之前 |
|
zhouhr
|
8cf03142ec
Add the PreClean,PostClean in SequenceInfo && Add DESequenceFormat.xml for Sequence && Add Venus DETM IO && fix VCEA pump Open in UI
|
11 月之前 |
 hecl
|
0a2d5ac547
Venus DE TM simulator add
|
11 月之前 |
|
zhouhr
|
13460815b8
add PM ALARM_Notify while PM sensor Alarm && add TMBase for SETM&&DETM && add HongHuDETM For DE && fix some bugs in DETMUI
|
11 月之前 |
|
zhouhr
|
662fb997fa
add DETMOperationView in UI
|
11 月之前 |
|
zhouhr
|
d95b8c7876
cancel Open PVN22 in SE,DE && add VenusVentRoutine && fix the bug in GasBoxLeakCheck && Change Logic in pumpdown&Vent in SE,DE
|
11 月之前 |
|
lixiang
|
17ae6db63c
kepler2200/Kepler2300 添加FDC 功能
|
11 月之前 |
|
lixiang
|
75dbbd4da8
添加KeplerSignaltower功能
|
11 月之前 |
|
zhouhr
|
12fa756895
1. SETM will be Init while While SETM Abort Homing
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
4634f3f91a
1。设置log最大500M，超出分文件（解决文件太大，log打不开）
|
1 年之前 |
|
hecl
|
0b8a98a845
IoDevice IoMagnet Add
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
c8af7de363
将kepler与Venus UI配置分开，添加Heat Routine
|
1 年之前 |
 chenkui
|
63d58afa42
1、SecsGem增加了UTF-8编码的支持；
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
f09d7d1b15
分开所有系列配置文件
|
1 年之前 |
|
chenkui
|
a3f01b0830
1、重新引用最新版本的SecsGem动态库，用于实现FA相应的功能；
|
1 年之前 |
|
sangwq
|
20606c1ffb
check in new routing algorithm code.
|
1 年之前 |
|
hecl
|
d331213da1
1.SETM Pressure Control update
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
e818b037a2
1.修复TM Swap 不能开门/状态比对不过bug
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
|
1 年之前 |
