 sangwq
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9d0da84ad2
added cooling safety check.
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vor 9 Monaten |
 lixiang
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465f0690e7
Cooling功能bug修复
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vor 10 Monaten |
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lixiang
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5ce110574e
1，添加cooling功能
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vor 10 Monaten |
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lixiang
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a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
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vor 10 Monaten |
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lixiang
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9163903164
Kepler2200优化
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vor 11 Monaten |
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sangwq
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8f537a79cb
Pause/Resume function and enhance duplicated function while transfer wafer timeout.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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2de3872723
duplicated wafer function.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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52349cad2b
Duplicated wafer functions.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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73f0d306a7
Enhance routing algorithm.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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61173b6866
Added Auto Vent/Pump log for tracing trigger issue.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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c3bef13a6e
Enhance Auto pump/vent algorithm.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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75314148f5
Added Auto Pump/vent option.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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2694bdc96c
Enhance the Pre-rotation function
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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8020492bf4
fix action list buffer not reset while swap wafer.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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a88d0012df
fix some AutoCycle/manualMove/ReturnWafer/Abort bugs.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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8f9b95ae8f
Develop transfer cycle.
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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072e5d0d01
ui Module TM 名变TMRobot
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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8826cc0cd0
开发 AutoCycle 模块， 增加TMRobot module id.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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ed992dd631
Enhance the Log Info
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vor 2 Jahren |
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sangwq
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44ec74603f
TM Transfer
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vor 2 Jahren |
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sangwq
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bdee4a05ba
TM Robot Pick/Place/Swap simulation ready.
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vor 2 Jahren |
