 lixiang
|
aad749230c
Merge branch 'master' of http://git.jetplasma-oa.com/JetPlasma/Venus
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
cb91599d02
修复recipe Ui信息显示
|
преди 2 години |
 zhouhr
|
2bcfec21f1
修改以兼容kepler2300 recipe 修改recipe界面中chuck dechuck出现的时机 补充选项中的空值
|
преди 2 години |
 Intern01
|
646fbf3676
PMProcessRoutine update
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
179f80c29a
1.endpoint by wcf 添加修改配置文件界面
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
93b4531b7b
robot 不能home问题提交
|
преди 2 години |
|
Intern01
|
c8473cb60c
1.增加Fa模块事件上报相关接口FaEvet，与recipejob,loadportjob事件上报接口
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
6dd42b5fb0
添加process数据分析功能
|
преди 2 години |
 sangwq
|
16f00701e5
Redesign Recipe module.
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
f211c4242f
Efem module raw design.
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
a64bed3d6c
1.Run recipe 功能现场修改
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
c060fde154
1.Recipe Edit 添加配置功能
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
6187ad5b4f
Interlock 优化
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
46261ca338
enhance wafer manager.
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
bf48d9b6c5
AIRSYS CHILLER AND GAS VERIFICATION
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
a244b205b9
Gas Flow and RF Power routine.
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
c3154ba629
wafer manager.
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
3222fa143a
Process module and Interlock .
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
d8e5f1dc2c
2022 last update
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
ee80e1676c
解决冲突
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
0606b882bc
process module 1215
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
847220c6ce
update for initial recipe design
|
преди 2 години |
