JetPlasma/Kepler-Release

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lixiang	33ba42d9ef 1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能	1 ano atrás
lixiang	020e8459ea 移除kepler2200A与Kepler2200B RT Device中的chiller	1 ano atrás
lixiang	15742217b9 添加工艺结束流气与关GasFinal阀中间添加1s延时	1 ano atrás
lixiang	967f6b6b9c 添加控压结束，保持一秒流气功能	1 ano atrás
lixiang	f8c50b602a 修复Tolerance对流气不开阀的bug	1 ano atrás
lixiang	4338503e2a 1.添加霍庭格RF Device	1 ano atrás
lixiang	818383115c UI优化	1 ano atrás
lixiang	c0ff9f251e 1.添加kepler2200B	1 ano atrás