 hecl
|
2aa32f8ae4
fix bugs
|
пре 1 година |
|
hecl
|
5396e84cfe
VenusSE TM io simulator update
|
пре 1 година |
 lixiang
|
a2426eb90b
Recipe 添加bias step ramp设值功能
|
пре 1 година |
|
hecl
|
afc3b9494f
VenusSE TM pressurecontrol update
|
пре 1 година |
 zhouhr
|
b3948aca8e
Update driver of HongHuVce,log in LoadPrepareRoutine && fix VenusSeOperationOverView
|
пре 1 година |
|
zhouhr
|
b9a935138d
add vpa vce simulator && update honghuvce driver,SETMEntity,seTMEntity pick place home routine && update VenusSEoverviewmodel......
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
b253c8fadd
1.添加旋转动画
|
пре 1 година |
 Intern01
|
81bc054dc3
fix bugs
|
пре 1 година |
|
Intern01
|
dfc9174ac8
VenusSE TM PM Simulator Update
|
пре 1 година |
 sangwq
|
2694bdc96c
Enhance the Pre-rotation function
|
пре 1 година |
|
sangwq
|
baeae1636e
TM Robot PreRotation function for particle and throughput issues.
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
0af54acc48
Recipe 每个模块做成ui可配，设计clean recipe模块，Kepler2200 模拟器recipe工艺测试
|
пре 1 година |
|
sangwq
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
пре 1 година |
|
zhouhr
|
5a02e70af1
fix jetefem bug
|
пре 1 година |
|
zhouhr
|
d396d70f90
fix JetEfem bug
|
пре 1 година |
|
zhouhr
|
279481d66f
add missing files
|
пре 1 година |
|
zhouhr
|
9a91105192
add missing files
|
пре 1 година |
|
zhouhr
|
1c44773767
Add missing files
|
пре 1 година |
|
zhouhr
|
1e7c808d19
add VenusSE tm related module in ui rt simulator && fix efem backround bug
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
de2f4fea7e
优化abort下拉功能
|
пре 1 година |
|
sangwq
|
0a0308458e
Enable drag wafer while module offline.
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
f1c36cc209
添加提交
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
5139f41e19
添加PM Abort 下拉菜单功能
|
пре 1 година |
|
sangwq
|
a8ee956c5e
Fixed the Cycle Wafer Count and throughput calculation bugs.
|
пре 1 година |
|
sangwq
|
acf413cdc1
fixed routine runner delay bugs.
|
пре 1 година |
|
sangwq
|
40f00c8ab1
fixed routine runner default delay bug.
|
пре 1 година |
|
sangwq
|
29a50a4986
Merge branch 'master' of http://git.jetplasma-oa.com/JetPlasma/Venus
|
пре 1 година |
|
sangwq
|
b79251cf32
fix end step delay bug.
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
5f00a42d13
kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能
|
пре 1 година |
|
zhouhr
|
37bbeb95df
Add the configuration item QueryAWCOption to determine whether TMRobot AWC collects data && Add TMRobot Pick query AWC
|
пре 1 година |
