 lixiang
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a98efc8a0b
1.修改kepler2300 FDC 运行报错bug
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 zhouhr
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5836f3ed1c
fix bugs in ShareDrive && add Online in SETM
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lixiang
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552d60ca99
1.Stable与Tolerance 功能优化
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lixiang
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4634f3f91a
1。设置log最大500M，超出分文件（解决文件太大，log打不开）
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lixiang
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f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
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lixiang
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7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
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zhouhr
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c3c6427c4d
show names from Gas 9 to Gas 12 in recipe.
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lixiang
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87f1121180
1.Recipe UI 界面Name优化
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lixiang
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d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
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 hecl
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c332b95d39
venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function
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lixiang
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6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
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lixiang
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0f0650b80f
1.PM 界面 run recipe 变为手动模式
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lixiang
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d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对
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lixiang
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1929a3510b
1.新版ui界面开发
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lixiang
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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lixiang
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ef3841f212
atm模式移除PM控压
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lixiang
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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lixiang
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818383115c
UI优化
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lixiang
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c457973fa2
1.添加Revtech Match
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lixiang
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41d50f69e3
1.钟摆阀关闭，加入压力和位置自动设0功能
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lixiang
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f0c8f8caa5
解决pm界面不能run recipe bug
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lixiang
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2895043c61
Recipe不显示bug修复
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lixiang
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f53a5428e6
1.将rt向ui传递robot状态放在线程安全队列，避免数据包丢失
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lixiang
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7c5d66a96d
右击wafer报错bug修复
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lixiang
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62feaac5e7
1.优化跑片动画
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lixiang
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0af54acc48
Recipe 每个模块做成ui可配，设计clean recipe模块，Kepler2200 模拟器recipe工艺测试
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lixiang
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5f00a42d13
kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能
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lixiang
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edb5ad6960
1.添加数据分析 Recipe step功能
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lixiang
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b1e6a9ce63
bug提交
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lixiang
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20cc441578
1.kepler2200 ui优化
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