lixiang
							
						 | 
						
							
							
								de406b964e
							
							1.添加EFEM等ui界面
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						2 年之前 | 
					
				
					
						
							
								   lixiang
							
						 | 
						
							
							
								c060fde154
							
							1.Recipe Edit 添加配置功能
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						2 年之前 | 
					
				
					
						
							
								   lixiang
							
						 | 
						
							
							
								a48b743e88
							
							1.完成PartialPressure功能
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						2 年之前 | 
					
				
					
						
							
								   sangwq
							
						 | 
						
							
							
								096c873956
							
							Sequence SPEC update.
						 | 
						2 年之前 | 
					
				
					
						
							
								   lixiang
							
						 | 
						
							
							
								1759ebd070
							
							修改rf ui
						 | 
						2 年之前 | 
					
				
					
						
							
								   sangwq
							
						 | 
						
							
							
								4ae8734407
							
							PendulumValve pressure full range.
						 | 
						2 年之前 | 
					
				
					
						
							
								   lixiang
							
						 | 
						
							
							
								e12f20870b
							
							钟摆阀压力送出/接收值乘以/除以10
						 | 
						2 年之前 | 
					
				
					
						
							
								   sangwq
							
						 | 
						
							
							
								6187ad5b4f
							
							Interlock 优化
						 | 
						2 年之前 | 
					
				
					
						
							
								   lixiang
							
						 | 
						
							
							
								1f1fb71be3
							
							1.2023/02/17现场rt代码修改
						 | 
						2 年之前 | 
					
				
					
						
							
								   sangwq
							
						 | 
						
							
							
								d22b60372f
							
							Debug devices on tools
						 | 
						2 年之前 | 
					
				
					
						
							
								   lixiang
							
						 | 
						
							
							
								ffda76b488
							
							修改rt与ui交互功能
						 | 
						2 年之前 | 
					
				
					
						
							
								   sangwq
							
						 | 
						
							
							
								3f8df8cade
							
							DEVICE UPDATE
						 | 
						2 年之前 | 
					
				
					
						
							
								   sangwq
							
						 | 
						
							
							
								c4864f5546
							
							debug gas verification.
						 | 
						2 年之前 | 
					
				
					
						
							
								   sangwq
							
						 | 
						
							
							
								bf48d9b6c5
							
							AIRSYS CHILLER AND GAS VERIFICATION
						 | 
						2 年之前 | 
					
				
					
						
							
								   sangwq
							
						 | 
						
							
							
								3222fa143a
							
							Process module and Interlock .
						 | 
						2 年之前 | 
					
				
					
						
							
								   sangwq
							
						 | 
						
							
							
								0606b882bc
							
							process module 1215
						 | 
						2 年之前 | 
					
				
					
						
							
								   sangwq
							
						 | 
						
							
							
								8565810192
							
							Servo Pressure and Gas Flow done.
						 | 
						2 年之前 | 
					
				
					
						
							
								   sangwq
							
						 | 
						
							
							
								af96d139ff
							
							2022年11月24日 提交 RT 部分更改
						 | 
						2 年之前 | 
					
				
					
						
							
								   sangwq
							
						 | 
						
							
							
								c8cfb4008d
							
							check in HV, PendulumValve, TurboPump drivers.
						 | 
						3 年之前 |