 lixiang
|
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
|
преди 10 месеца |
|
lixiang
|
9163903164
Kepler2200优化
|
преди 10 месеца |
|
lixiang
|
464c53cd94
1.Datalog添加高温Haeter开关显示
|
преди 11 месеца |
|
lixiang
|
d938a9e54c
PM/TM swap pick 开门前加压力wait
|
преди 11 месеца |
|
lixiang
|
608cf43d67
1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行
|
преди 11 месеца |
 sangwq
|
8f537a79cb
Pause/Resume function and enhance duplicated function while transfer wafer timeout.
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
caba8d94c6
Duplicated Wafer UI显示
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
2826cd9348
Enhance the duplicated wafer function.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
2de3872723
duplicated wafer function.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
52349cad2b
Duplicated wafer functions.
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
9e14bbee6a
1.由于PM种类变多，且分配置，PM 加载device 功能重写
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
af631c4aaa
1.添加RF Calibration功能
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
236244c8a0
redesign wtw clean function and fix auto vent bug.
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能（PLC点位未跟新）
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
преди 1 година |
 zhouhr
|
37bbeb95df
Add the configuration item QueryAWCOption to determine whether TMRobot AWC collects data && Add TMRobot Pick query AWC
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
8f9b95ae8f
Develop transfer cycle.
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
072e5d0d01
ui Module TM 名变TMRobot
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
8826cc0cd0
开发 AutoCycle 模块， 增加TMRobot module id.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
2663cfc1d9
Add place/pick delay.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
ed992dd631
Enhance the Log Info
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
b741650da1
TM Cycle ready.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
44ec74603f
TM Transfer
|
преди 2 години |
