 sangwq
|
344d734fff
ATM Transfer.
|
лет назад: 2 |
 lixiang
|
edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM，更新界面及rt
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
be22c5112d
TM 添加两个pump 串口23/24/25/26
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
8826cc0cd0
开发 AutoCycle 模块， 增加TMRobot module id.
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
9231cab4b9
1.修改topView ui
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
7419cea99a
添加TMCycle动画（部分）
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
f211c4242f
Efem module raw design.
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
c060fde154
1.Recipe Edit 添加配置功能
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
280432bb82
1.TM传片动画制作，UI界面优化
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
a48b743e88
1.完成PartialPressure功能
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
44ec74603f
TM Transfer
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
39fe214261
1.完善PartialPressure 功能
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
a54944a308
PM TM Wafer Transfer Ready.
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
bdee4a05ba
TM Robot Pick/Place/Swap simulation ready.
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
b8bd250b4e
TM/LL Pump/Vent/Purge done.
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
241a8a2f5d
UPDATE 20230324
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
e1226fdd9e
update for disable difference pressure checking under atm mode according electrical team request.
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
5b037046f9
Add TM/LL modules.
|
лет назад: 2 |
