 hecl
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49401d4b6e
1.Fix busgs
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il y a 1 an |
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hecl
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f9d4a74265
1.Venus DE/SE Gasverification add missing pipes
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il y a 1 an |
 lixiang
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5c5936c32c
1.修复mfc verification单点ui不显示bug
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lixiang
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038bcab52c
Operation界面添加PreCleanRecipe/PostCleanRecipe选择功能
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lixiang
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f8c50b602a
修复Tolerance对流气不开阀的bug
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lixiang
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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lixiang
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818383115c
UI优化
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lixiang
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dbf06a2134
添加TM Operation界面
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lixiang
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a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
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lixiang
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3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
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lixiang
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7419cea99a
添加TMCycle动画（部分）
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il y a 1 an |
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lixiang
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c060fde154
1.Recipe Edit 添加配置功能
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il y a 2 ans |
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lixiang
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796541e5a6
现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能
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il y a 2 ans |
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lixiang
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b6c2517c51
1.添加加热功能
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il y a 2 ans |
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lixiang
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a268651d10
1.添加configview和部分mfcverificationview
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il y a 2 ans |
