 lixiang
|
124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
 zhouhr
|
bcc9d2faf8
1、Chamber add the waferID
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
708d655cae
1.将Kepler/Venus DeviceModel里面的ProcessGauge与PressureGauge重新定义
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
zhouhr
|
296cd4b8a4
1、recipe页面chuck、dechuck选项名称缩略并设置最大最小长度
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
cb91599d02
修复recipe Ui信息显示
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
f9a02a739a
添加pmc/kepler2200
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
