 zhouhr
|
13460815b8
add PM ALARM_Notify while PM sensor Alarm && add TMBase for SETM&&DETM && add HongHuDETM For DE && fix some bugs in DETMUI
|
před 11 měsíci |
|
zhouhr
|
d95b8c7876
cancel Open PVN22 in SE,DE && add VenusVentRoutine && fix the bug in GasBoxLeakCheck && Change Logic in pumpdown&Vent in SE,DE
|
před 11 měsíci |
 lixiang
|
4634f3f91a
1。设置log最大500M，超出分文件（解决文件太大，log打不开）
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
8b6a73425d
添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
f62e761ad2
修复小标题efem online/offline报警bug
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
c8af7de363
将kepler与Venus UI配置分开，添加Heat Routine
|
před 1 rokem |
 sangwq
|
9189e1b51f
new routing algorithm update.
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
af631c4aaa
1.添加RF Calibration功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
2cbab729fb
添加小标题 home/online/offineInclude/Exclude功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
e818b037a2
1.修复TM Swap 不能开门/状态比对不过bug
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
15742217b9
添加工艺结束流气与关GasFinal阀中间添加1s延时
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
ef3841f212
atm模式移除PM控压
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
5c995238da
1.修复kepler流气模拟器bug
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
a5ba0d3c6b
add Process in PMChamber for SEOpertaion
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
e511d1f387
1.添加PM控压功能
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
376ce10782
增加LOG模块中特定eEvent id触发委托函数 && 移除UI中触发PMError && add SE TM Cycle throughput && fix vcedoor not show
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能（PLC点位未跟新）
|
před 1 rokem |
|
sangwq
|
c3bef13a6e
Enhance Auto pump/vent algorithm.
|
před 1 rokem |
|
sangwq
|
75314148f5
Added Auto Pump/vent option.
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
8fb1796c74
1.airsys chiller加入on/off状态
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
41d50f69e3
1.钟摆阀关闭，加入压力和位置自动设0功能
|
před 1 rokem |
