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JetPlasma
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Kepler-Release
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Autore SHA1 Messaggio Data
  lixiang 3fb3984bd3 1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check 11 mesi fa
  lixiang 68b4ba9640 1.添加mtorr与Pa切换功能 1 anno fa
  lixiang 5f00a42d13 kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能 1 anno fa
  lixiang 1d854ff197 添加Lid Servo CTRL Mode控制lid是否可以开关 1 anno fa
  lixiang a4b75ecb2e 1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300 1 anno fa
  lixiang 7fe847dfd8 1.分开Venus/Kepler OverView界面，之前公用一个Overview界面 1 anno fa
  lixiang de406b964e 1.添加EFEM等ui界面 1 anno fa
  lixiang b6c2517c51 1.添加加热功能 2 anni fa
  lixiang 7c817b8450 将钟摆阀最大值设到1000 2 anni fa
  sangwq 630c7b7548 Wafer transfer routine done. 2 anni fa
  sangwq af96d139ff 2022年11月24日 提交 RT 部分更改 2 anni fa