 zhouhr
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1b999083c8
add WaferTransfer for VenusSE && fix bug in VceControl as param is null && fix bug in Pick,Place as target slot is negative.
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1 年之前 |
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zhouhr
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cc3f68a0f1
enhance the check in MoveWafer
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1 年之前 |
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zhouhr
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5a2ac08f6f
fix bug in MoveWafer Dialog && SEMFPickRoutine
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1 年之前 |
 hecl
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78c80a0896
fix bugs
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1 年之前 |
 lixiang
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c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能（PLC点位未跟新）
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1 年之前 |
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hecl
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7e0a676b69
Improve datalog performance
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1 年之前 |
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hecl
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8e5ec35137
Add tansfer checkpage add fix bug about show step
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1 年之前 |
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zhouhr
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31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
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1 年之前 |
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zhouhr
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08029e238d
update Venus SE pick place && drivers of HongHu deivce && ui
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1 年之前 |
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lixiang
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5f00a42d13
kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能
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1 年之前 |
 Intern01
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e2dc10679e
Solve conflict
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1 年之前 |
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Intern01
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33f3e3a72e
1.complete parameters writing in pm routine
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1 年之前 |
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lixiang
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9c33424896
解决冲突
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1 年之前 |
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Intern01
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171eef8acc
Add to chart@@to slot switch page function
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1 年之前 |
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lixiang
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76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
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1 年之前 |
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lixiang
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bb6f18ea1a
修改配置文件名，合并代码
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1 年之前 |
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zhouhr
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f56f80e34a
完善UI 拖片 LP的job显示效果、传参 修改Robot槽位显示效果 TM数据绑定 return wafer等
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1 年之前 |
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zhouhr
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ba61077913
增加拖片功能
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1 年之前 |
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lixiang
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b6acfe2e29
优化TM leak check功能
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1 年之前 |
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lixiang
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bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
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1 年之前 |
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lixiang
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263a29b83b
换电脑
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1 年之前 |
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lixiang
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a6ac889dc6
底部按钮添加背景色
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1 年之前 |
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lixiang
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a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
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1 年之前 |
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lixiang
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7fe847dfd8
1.分开Venus/Kepler OverView界面，之前公用一个Overview界面
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1 年之前 |
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lixiang
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7419cea99a
添加TMCycle动画（部分）
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1 年之前 |
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lixiang
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c060fde154
1.Recipe Edit 添加配置功能
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1 年之前 |
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lixiang
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a48b743e88
1.完成PartialPressure功能
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2 年之前 |
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lixiang
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62f1a16025
1.添加PartialPressure界面
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2 年之前 |
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lixiang
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bb33e89998
1，优化UI界面
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2 年之前 |
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lixiang
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1759ebd070
修改rf ui
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2 年之前 |
