hecl
							
						 | 
						
							
							
								9de8ce9b11
							
							Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update
						 | 
						před 1 rokem | 
					
				
					
						
							
								   zhouhr
							
						 | 
						
							
							
								3e18a3a534
							
							Add compatibility for VenusSE in Process,GasFlowRoutine && add More Gas define in config for VenusSE PM && fix bug in IoDefine
						 | 
						před 1 rokem | 
					
				
					
						
							
								   zhouhr
							
						 | 
						
							
							
								2bcfec21f1
							
							修改以兼容kepler2300 recipe 修改recipe界面中chuck dechuck出现的时机 补充选项中的空值
						 | 
						před 2 roky | 
					
				
					
						
							
								   lixiang
							
						 | 
						
							
							
								f3bd6b016b
							
							添加部分efem功能
						 | 
						před 2 roky | 
					
				
					
						
							
								   lixiang
							
						 | 
						
							
							
								b6c2517c51
							
							1.添加加热功能
						 | 
						před 2 roky | 
					
				
					
						
							
								   sangwq
							
						 | 
						
							
							
								3222fa143a
							
							Process module and Interlock .
						 | 
						před 2 roky | 
					
				
					
						
							
								   sangwq
							
						 | 
						
							
							
								f8cec9a940
							
							epd files missing.
						 | 
						před 2 roky |