 niuyx
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8734ae3224
Add GalilRotationAxis; Modify SRD related configs；
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hace 7 meses |
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niuyx
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69d4e6919b
Add SRD UnloaderRoutine、ChuckATMRoutine; Modify EfemView;
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hace 7 meses |
 chenkui
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4648c5a74f
update efem crossed/double wafer
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hace 7 meses |
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niuyx
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58c7513e6c
Modify SRD related Routines; Modify SRD recipes;
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hace 7 meses |
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chenkui
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1af6a448da
update dummy wafersize
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hace 7 meses |
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niuyx
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48517b7d99
Add SRDLiftUpRoutine; Revise IO ModuleIOCfg.xml and SRD UI; Add SRD related Simulator;
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hace 7 meses |
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chenkui
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e9e0bd7d47
update robot cycle
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hace 7 meses |
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chenkui
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5902a2565b
add loader LoadSideRoutine
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hace 7 meses |
 chenzk
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9aa3738300
add robot cycle(exclude srd)
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hace 7 meses |
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chenkui
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0b293c8ffb
update puf axis
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hace 7 meses |
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chenkui
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0aabb32d23
update galil axis
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hace 7 meses |
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chenkui
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478aa5ec7f
update puf view
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hace 7 meses |
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chenkui
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371876b350
add robot map routine
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hace 8 meses |
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chenkui
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388b234daf
add X8 EfemRobot
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hace 8 meses |
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chenkui
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e4fd0ff15a
update swing to shuttle
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hace 8 meses |
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chenkui
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b4b22b406e
update wago and galil profileposition
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hace 8 meses |
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chenkui
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2afdd30e69
add wago controller
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hace 8 meses |
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chenkui
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05cd83ee92
Add Galil Axis
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hace 8 meses |
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chenkui
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731f2849fa
add galil controller
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hace 8 meses |
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chenkui
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31c26804e6
add Festo Communication Protocol
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hace 8 meses |
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chenkui
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f7533a737b
Initialize
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hace 9 meses |
