Historie revizí

Autor SHA1 Zpráva Datum
  chenzk 8324f5d834 add X12 Update to X8 před 2 měsíci
  chenkui 07fbbfc5ca EFEM place routine add aligner wafersize and distance command před 2 měsíci
  chenkui 81f8544042 add Aligner plat type před 2 měsíci
  chenkui 3c1628200a update Efem Home sequence před 3 měsíci
  chenkui e2d5bb5c5d update galil controller inputs před 4 měsíci
  chenkui 0f6f0fbadc update efem pick and place wafer size před 4 měsíci
  chenkui 00c6fabca5 update transporter před 4 měsíci
  chenkui 371876b350 add robot map routine před 4 měsíci
  chenkui 388b234daf add X8 EfemRobot před 4 měsíci
  chenkui f7533a737b Initialize před 5 měsíci