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  chenzk 494dc08d31 add VoltageSetUnitSetScale,revise metalusage/LogManager bug 5 mesi fa
  chenzk 2a4870d3c3 synchronous x12 bug solution to x8 6 mesi fa
  chenkui 2facb74aa2 add QDR Prewet function; 6 mesi fa
  chenkui 07fbbfc5ca EFEM place routine add aligner wafersize and distance command 6 mesi fa
  chenkui 8982c26465 update logManager and remove GalilControllerCfgManager simulator log 7 mesi fa
  chenkui 4feb75325b update ui log 7 mesi fa
  chenkui f7533a737b Initialize 9 mesi fa