 chenzk
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5df7250a7f
add efem lock UI， add gold power set simulator
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hace 2 meses |
 chenkui
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2d871310d2
update top/operation over view UI
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hace 2 meses |
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chenkui
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be3b324847
update EFEM UI;
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hace 2 meses |
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chenkui
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6b3c82ab53
add gold power supplier
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hace 2 meses |
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chenkui
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0b609ee2cd
add EFEM DoorLocked signal
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hace 3 meses |
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chenkui
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f9b098dace
update job cycle null point issue
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hace 3 meses |
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chenkui
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29c96242de
add gold power supplier
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hace 3 meses |
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chenkui
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90d84749d5
add gold powersupplier
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hace 3 meses |
 niuyx
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6550cc0e88
Add Manual KeepWet LotTrack;
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hace 3 meses |
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niuyx
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0552a2280b
Add LotTrack in KeepWet; Revise LS Type display Bug in SequenceRecipeView;
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hace 3 meses |
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chenkui
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2facb74aa2
add QDR Prewet function;
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hace 3 meses |
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chenzk
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8324f5d834
add X12 Update to X8
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hace 3 meses |
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chenkui
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2a9a5325f5
modify error code
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hace 3 meses |
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chenkui
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0d497c6f55
PUF/Loader/Transport check all axis is homed then enter idle state
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hace 3 meses |
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chenzk
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a26e8b105c
revise log language to english
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hace 3 meses |
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chenkui
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07fbbfc5ca
EFEM place routine add aligner wafersize and distance command
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hace 3 meses |
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niuyx
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df512361d7
Add PlatType selectedItem in SequenceRecipeView;
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hace 3 meses |
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chenkui
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3c2229df11
add SchedulerAligner plat type
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hace 3 meses |
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chenkui
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81f8544042
add Aligner plat type
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hace 3 meses |
 guojun
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19baa37c08
DER增加化学液Au配置项
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hace 3 meses |
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guojun
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6a380710f4
修改exhaust风机范围
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hace 3 meses |
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chenzk
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3a1e04c83d
add reservoir safety high monitor
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hace 3 meses |
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niuyx
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197aa5b250
Revise SRD chuckVacuum and liftup precondition;
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hace 3 meses |
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niuyx
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872e30ee95
Add Metal Animation; Modify several UI displays;
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hace 3 meses |
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chenkui
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171e04deeb
update efem
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hace 3 meses |
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chenzk
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ad0f7a04a5
revise reservoir low level bug
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hace 3 meses |
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niuyx
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6bd8541e2b
Modify LoaderLotTrack; Modify Thornton simulator;
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hace 3 meses |
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chenkui
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8982c26465
update logManager and remove GalilControllerCfgManager simulator log
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hace 3 meses |
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chenzk
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ccde2b587e
revise metal loop run recipe ，add TC monitor，revise pump flow scaling
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hace 3 meses |
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chenzk
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2446ffa7f9
revise metal ui bug
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hace 3 meses |
