 chenzk
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0e12a3f8c0
revise efem lock color，revise hvd recipe
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1 개월 전 |
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chenzk
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15ffc18433
revise top view transport name
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1 개월 전 |
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chenzk
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2ea59fe258
revise robot cycle bug
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1 개월 전 |
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chenzk
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2819cb58db
revise reservoir holdofftime monitor bug
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1 개월 전 |
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chenzk
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2215838113
update x12 number158 bug solution to x8
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1 개월 전 |
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chenzk
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494dc08d31
add VoltageSetUnitSetScale,revise metalusage/LogManager bug
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1 개월 전 |
 chenkui
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69a0c70b7c
fix gold power supplier set current and step issue
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1 개월 전 |
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chenzk
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411483be01
add reservoir hold off time Monitor
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1 개월 전 |
 niuyx
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c003ed491f
Revise stopPosition Bug;
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1 개월 전 |
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chenzk
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2a4870d3c3
synchronous x12 bug solution to x8
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1 개월 전 |
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chenzk
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64b97339b2
add gold cell power simulator
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1 개월 전 |
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chenzk
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3118710154
revise gold cell power enable bug
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1 개월 전 |
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chenzk
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5df7250a7f
add efem lock UI， add gold power set simulator
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1 개월 전 |
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chenkui
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2d871310d2
update top/operation over view UI
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1 개월 전 |
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chenkui
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be3b324847
update EFEM UI;
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1 개월 전 |
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chenkui
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6b3c82ab53
add gold power supplier
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1 개월 전 |
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chenkui
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0b609ee2cd
add EFEM DoorLocked signal
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2 달 전 |
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chenkui
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f9b098dace
update job cycle null point issue
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2 달 전 |
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chenkui
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29c96242de
add gold power supplier
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2 달 전 |
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chenkui
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90d84749d5
add gold powersupplier
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2 달 전 |
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niuyx
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6550cc0e88
Add Manual KeepWet LotTrack;
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2 달 전 |
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niuyx
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0552a2280b
Add LotTrack in KeepWet; Revise LS Type display Bug in SequenceRecipeView;
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2 달 전 |
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chenkui
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2facb74aa2
add QDR Prewet function;
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2 달 전 |
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chenzk
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8324f5d834
add X12 Update to X8
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2 달 전 |
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chenkui
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2a9a5325f5
modify error code
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2 달 전 |
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chenkui
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0d497c6f55
PUF/Loader/Transport check all axis is homed then enter idle state
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2 달 전 |
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chenzk
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a26e8b105c
revise log language to english
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2 달 전 |
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chenkui
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07fbbfc5ca
EFEM place routine add aligner wafersize and distance command
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2 달 전 |
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niuyx
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df512361d7
Add PlatType selectedItem in SequenceRecipeView;
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2 달 전 |
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chenkui
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3c2229df11
add SchedulerAligner plat type
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2 달 전 |
