 chenkui
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2facb74aa2
add QDR Prewet function;
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hace 1 mes |
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chenkui
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0d497c6f55
PUF/Loader/Transport check all axis is homed then enter idle state
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hace 1 mes |
 niuyx
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6bd8541e2b
Modify LoaderLotTrack; Modify Thornton simulator;
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hace 2 meses |
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chenkui
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2bf0be7542
update loader waferSize
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hace 2 meses |
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chenkui
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da62bf186b
update WaferHolderInfo DATA
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hace 3 meses |
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chenkui
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8c811f7802
update double wafers scheduler
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hace 3 meses |
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chenkui
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4648c5a74f
update efem crossed/double wafer
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hace 3 meses |
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chenkui
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1af6a448da
update dummy wafersize
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hace 3 meses |
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chenkui
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e61eba41b9
update puf/loader scheduler
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hace 3 meses |
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chenkui
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7849fa3cd1
update scheduler
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hace 3 meses |
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chenkui
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5902a2565b
add loader LoadSideRoutine
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hace 3 meses |
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chenkui
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e4fd0ff15a
update swing to shuttle
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hace 4 meses |
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chenkui
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31c26804e6
add Festo Communication Protocol
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hace 4 meses |
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chenkui
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f7533a737b
Initialize
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hace 5 meses |
