| 123456789101112131415161718192021222324252627282930313233343536373839404142434445464748495051525354555657585960616263646566676869707172737475767778798081828384858687888990919293949596979899100101102103104105106107108109110111112113114115116117118119120121122123124125126127128129130131132133134135136137138139140141142143144145146147148149150151152153154155156157158159160161162163164165166167168169170171172173174175176177178179180181182183184185186187188189190191192193194195196197198199200201202203204205206207208209210211212213214215216217218219220221222223224225226227228229230231232233234235236237238239240241242243244245246247248249250251252253254255256257258259260261262263264265266267268269270271272273274275276277278279280281282283284285286287288289290291292293294295296297298299300301302303304305306307308309310311312313314315316317318319320321322323324325326327328329330331332333334335336337338339340341342343344345346347348349350351352353354355356357358359360361362363364365366367368369370371372373374375376377378379380381382383384385386387388389390391392393394395396397398399400401402403404405406407408409410411412413414415416417418419420421422423424425426427428429430431432433434435436437438439440441442443444445446447448449450451452453454455456457458459460461462463464465466467468469470471472473474475476477478479480481482483484485486487488489490491492493494495496497498499500501502503504505506507508509510511512513514515516517518519520521522523524525526527528529530531532533534535536537538539540541542543544545546547548549550551552553554555556557558559560561562563564565566567568569570571572573574575576577578579580581582583584585586587588589590591592593594595596597598599600601602603604605606607608609610611612613614615616617618619620621622623624625626627628629630631632633634635636637638639640641642643644645646647648649650651652653654655656657658659660661662663664665666667668669670671672673674675676677678679680681682683684685686687688689690691692693694695696697698699700701702703704705706707708709710711712713714715716717718719720721722723724725726727728729730731732733734735736737738739740741742743744745746747748749750751752753754755756757758759760761762763764765766767768769770771772773774775776777778779780781782783784785786787788789790791792793794795796797798799800801802803804805806807808809810811812813814815816817818819820821822823824825826827828829830831832833834835836837838839840841842843844845846847848849850851852853854855856857858859860861862863864865866867868869870871872873874875876877878879880881882883884885886887888889890891892893894895896897898899900901902903904905906907908909910911912913914915916917918919920921922923924925926927928929930931932933934935936937938939940941942943944945946947948949950951952953954955956957958959960961962963964965966967968969970971972973974975976977978979980981982983984985986987988989990991992993994995996997998999100010011002100310041005100610071008100910101011101210131014101510161017101810191020102110221023102410251026102710281029103010311032103310341035103610371038103910401041104210431044104510461047104810491050105110521053105410551056105710581059106010611062106310641065106610671068106910701071107210731074107510761077107810791080108110821083108410851086108710881089109010911092109310941095109610971098109911001101110211031104110511061107110811091110111111121113111411151116111711181119112011211122112311241125112611271128112911301131113211331134113511361137113811391140114111421143114411451146114711481149115011511152115311541155115611571158115911601161116211631164116511661167116811691170117111721173117411751176117711781179118011811182118311841185118611871188118911901191119211931194119511961197119811991200120112021203120412051206120712081209121012111212121312141215121612171218121912201221122212231224122512261227122812291230123112321233123412351236123712381239124012411242124312441245124612471248124912501251125212531254125512561257125812591260126112621263126412651266126712681269127012711272127312741275127612771278127912801281128212831284128512861287128812891290129112921293129412951296129712981299130013011302130313041305130613071308130913101311 | ---------------------------------------------------------------------------------					 Furnace 系统更新历史记录---------------------------------------------------------------------------------1.Robot更新报警描述2024-11-8 version 0.0.2.6611、ELK中AUX界面点位显示12、GasLine添加权限2024-11-6 version 0.0.2.651、bug168 文件夹里面的recipe,双击后会展开左右移动2、bug169 sibcn不用显示出来gasline模块3、bug51 wafer thick界面删掉4、bug53 SiBCN:wafer mapping 界面删掉5、bug51 SiBCN:aux status界面删掉6、bug50 layout/job recipe的select recipe type删掉7、bug49 process/sub/alarm/abort/reset/idle recipe,在选中一个recipe时候,new folder也能选,不应该置灰8、bug57 visible,name包括后面框长度可以拉缩,要固定住9、bug58 单词拼写,format10、bug56 data charting删的时候报错11、切换step时,MFC值改变12、depo字段,process log导出添加2024-11-4 version 0.0.2.641.DPO的状态显示灯根据点位D341.3显示2.欧陆通讯增加inerval设定3.Full Close 不执行问题解决2024-11-1 version 0.0.2.631、bug37、选中框的范围扩大 已修改2、bug42、Data charting需要添加Zoom in/out等控件   实时刷新数据,尝试加了会被刷掉 添加后发现无法使用3、bug43、abort recipe只有10个table   已修改4、bug44、carrier robot/wafer robot wafer/fims1/fims2/boat wafers没有carrier 也能create wafer 添加了FIMS1、FIMS2、CarrierRobot判断5、气路图添加CREF和SICREF控制6、阀门显示反馈真实的状态7、SiBCN项目添加 LA_O2_Check_OT FIMS1_O2_Check_OT FIMS2_O2_Check_OT 报警2024-10-30 version 0.0.2.621.增加modbusTCP通讯间隔的配置2024-10-30 version 0.0.2.611.修改ELK _ioDefineGasLine 地址2.修改ELK _ioDefineGasLine 更换类型后界面对应更改2024-10-29 version 0.0.2.611.Elk Recipe气路图 MFC更改后改变颜色2.问题50 两个job不能用同一盒里面相同的slot3.更新stocker FOUP吹扫功能4.SiBCN去除DI_PS13LStatus的报警5、导出数据AV40~到AV51、53,55缺失2024-10-28 version 0.0.2.601.模拟器添加 GASLine相关IO显示2.RecipesCompare历史对比功能优化2024-10-25 version 0.0.2.591.更新ELK_ioDefineGasLine IO2.ELK 气路图更新操作BothPump操作2024-10-25 version 0.0.2.581.ELK气路图按照心要求(71控件换成sibcn的)vac信号灯关联 pump更换控件2024-10-24 version 0.0.2.571.elk gas pattern 关联一下BWR/DPR使能2024-10-23 version 0.0.2.561.SiBCN项目 HTR1 HTR2 HTR3 DEPO 点位增加DO控制2.问题50 两个job不能用同一盒里面相同的slot3.ELK问题39 拼写错误,control,angle4、把用过的绿色的wafer删除,再创建,transfer main界面是蓝色的。但是status-main主界面的foup仍然是绿色。修改5、两个界面,删掉data history/charting  group画框的功能,不需要6、查看了manualset后 MFC Set值变化2024-10-18 version 0.0.2.551.修改bug:config开启不discharge dummy wafer的配置,先跑job1结束discharge5片m,剩下dummy在boat上,预约了job2,执行job2正常放m位置5片dummy即可,但是执行job2提示不match2.修改bug:第一个job执行结束dummy不discharge在boat上,在执行一个job空的layout执行不起来,job信息会自动为空3.fims load/unload cycle结束多发了一次load使能,导致cycle结束处于load状态4.Process history中wafer数量不对的问题5、shutter的cycle功能6、把用过的绿色的wafer删除,再创建,transfer main界面是蓝色的。但是status-main主界面的foup仍然是绿色。2024-10-17 version 0.0.2.541.Bug 26、27、28、30按照新需求修改2.Elk问题35  完成待验证2024-10-16 version 0.0.2.531.修改仿真滚动条显示不全问题2.Bug 26、27、28、29、30、32  完成3.Elk问题352024-10-14 version 0.0.2.521.更新ELK中的Recipe编辑界面2.去除D102.0的报警2024-10-14 version 0.0.2.511.修改bug:foup robot提前pick一盒foup在手上,这个时候执行load动作会宕机2.修改bug:foup robot提前pick一盒dummy,然后下job会造成死循环取放dummy3.修改bug:第一个job执行结束dummy不discharge在boat上,在执行一个job空的layout执行不起来,job信息会自动为空4.重启软件,heater设定为0的问题5.更新ELK中的Recipe编辑界面5.bug20下3个job,排序正常是按照123顺序排。2024-10-12 version 0.0.2.501、Bug13从位置1移动到位置2,最后位置1的灯亮了,关联错了2、Bug23把用过的绿色的wafer删除,再创建,transfer main界面是蓝色的。但是status-main主界面的foup仍然是绿色3.Alarm clear不能够消除状态机的错误(boat fims)2024-10-11 version 0.0.2.491.return wafer过程robot报错,切换offline操作alarm clear,会报出warning return wafer过程不可操作alarm clear导致不可continue2.charge全ED,charge完成会报机械手home的warning的提示2024-10-10 version 0.0.2.481、Bug6、aux status 光标定位某一行,蓝色只能短暂出现两秒,就没了2、Bug11、点开selectM,如果1-25没选择任何一个,点击accept,然后foup图案处还是会置灰3、Bug13、从位置1移动到位置2,最后位置1的灯亮了,关联错了4、Bug19、支持触摸屏滚动layout recipe5、调整ELK气路图6、Bug22、temp 这个follow问题,把第一步设成furnace,然后点黄框那取消,第一步恢复heater了,但是后面步骤还是furnace2024-10-9 version 0.0.2.471.调整ELK气路图2024-10-9 version 0.0.2.461.更新ELK buffer到位信号的判断2.调整ELK气路图2024-10-8 version 0.0.2.451.修改SiBCN的DI地址偏移量2.调整ELK气路图2024-9-29 version 0.0.2.441.增加GasLineHeaterMemoryChange的data history2024-9-27 version 0.0.2.431.charge 卡死问题2.  ELK 14 【新需求】sub recipe编辑的时候,控温模式默认成Furnace模式  3.  ELK 16   lp1和lp2都存在loadport1 三个位置di对应DO应该是placement亮,实际上presence亮了loadport1 foup detect对应DO应该是presence亮,实际上没亮4. ELK 18 控件在机台上不方便点击,点到选中框才能选中,把选中的范围加大5. ELK 10 data history选定框范围放大,触摸屏不好操作2024-9-26 version 0.0.2.421、recipe follow最后一步异常,已修改2、Scheduler.CoolingRemainTime保存异常2024-9-24 version 0.0.2.411.100【新需求】process recipe历史对比,如果只勾选一个recipe,点recipe compare,需求呈现是和最新的对比。【布局再修改下】2、159、combination挂的sub recipe,点开没有光标定位,不确定具体是哪个sub recipe3、recipe编辑打开pattern没反应UIlog异常2024-9-23 version 0.0.2.401.更新ELK客户端气路图2.Temperature中的 DCC和 OverHeat界面更新3、跨天导出数据有空行4、删掉下面箭头5、di/do/ai/ao第一页点向下翻页箭头,43之后直接跳到55了,缺一列44-54没显示6、wafer mapping 排序反了17、job recipe,想copy到文件夹里,不生效也改了2024-9-19 version 0.0.2.391.ELK问题 (4.D1240.15地址,我们定义写错了)2.Recipe比较,可以比较含Table的recipe文件3.支持触摸屏滚动,目前recipe Edit页面的Step采用的是截取分页,无法支持,其它要求的页面已修改2024-9-19 version 0.0.2.381.recipe执行异常   修改recipe模板文件,增加DPR保存为ValveAV91  注老的recipe文件需要打开再保存下2.增加膜厚统计之后,执行完多个job,dummy wafer有时不charge的问题3.50 两个job不能用同一盒里面相同的slot4.稷以ScheduledMaintenance页面更新5.ELK问题(1.ELK附件AI D9350 新增了环形网络报警断掉节点号反馈)2024-9-14 version 0.0.2.371.ELK 气路图更新2.跑recipe,数据库不记录的问题2024-9-12 version 0.0.2.361、Temp Correction和Temp PID导出数据部分2、修改以前数据导出不了3.更新AxisMon界面参数显示4.ELK 气路图更新2024-9-11 version 0.0.2.351.增加Heater Cascade Mode和Heater Mode SV的导出2.增加Temp Correction和Temp PID的保存3.CascadeControlModeSV和HeaterControlModeSV取消取整4.rhc判断发0的逻辑2024-9-10 version 0.0.2.34recipe Film THK数据保存recipe Correct 使用就的tableName2024-9-9 version 0.0.2.33124.PJOB需要添加cooling skip功能128.boat E轴R轴 DI的move信号没有亮,做initialize会报boat在move状态100.【新需求】process recipe历史对比,如果只勾选一个recipe,点recipe compare,需求呈现是和最新的对比。149.连续两个step挂sub(DEMP1/DEMP2),执行DEMP2显示的次数还是DEMP1的293次,而不是1/51.ELK 气路图更新2.注释AUX报警已经存在的比较老的Parameter Edit,删除recipe不能点2024-9-5 version 0.0.2.32104、parameter-edit-alarm condition-edit file,打开error command,call alarm recipe和call abort recipe的table name1-3,能改name144、保存编辑后的recipe,光标跑到最上面去了117、上下限和时间不能设置负数135、alarm condition,编辑AUX设定值为5,保存后再打开,显示还是0136、alarm condition,编辑press,OPRS-14选择off,保存后再打开,显示还是on143、当process recipe运行完了,结束时间就清掉了。实际上job recipe还在进行cooling,没有完全结束。99、transfer循环次数配置没有生效,只能跑一次2024-9-4 version 0.0.2.3176、manualset,修改temp,loader,pressure的数据,然后点击cancel,没有恢复未修改前的数据119、recipe界面,当没有选择某个recipe时,也就是没有具体的光标定位时,右侧画红框的deleate,edit,rename,copy,view,export,change,120、recipe编辑,第二步,下方overwrite copy置灰了126、Data history/Data charing里面参数排序不对117、上下限和时间不能设置负数143、当process recipe运行完了,结束时间就清掉了。实际上job recipe还在进行cooling,没有完全结束。142、parameter-edit,Tempcorrection table name修改,保存打开显示还是默认的name131、recipe,点击new folder和rename folder,弹出来的提示框有选择"folder"的文本框130、已经存在的比较老的job recipe,删除recipe不能点2024-9-3 version 0.0.2.3049、recipe compare,切换step,step parameter还保存上一个step的数据59、Moniter模式下看mfc是会变动的actual值,远程连接后mfc不会实时刷新68、process recipe ,Command是zero set,ui不显示pid,导出文件有pid27、io list按照模块分类55、有一片wafer做过工艺的,foup就是绿色2024-8-30 version 0.0.2.291.修改Gas Heater Sensor Break Out Alarm到地址D8400;Temp Limit Alarm到地址84022.去除D3.14和D102.0的报警3.bug40 新建recipe后,光标没有定位到新建的recipe处,需要往后翻页4、bug106 table控件在机台上不方便点击操作点到小点,才能选择某table5、bug132 alarm condition右侧的滑动框,滑动一闪一闪的6、bug24 Cjob start time显示的job start time7.htr1+htr2+f2 cln用配方2 AO13360发 2,同时使用table2的Foline heater set值;判断htr1点亮AO13360发1,table1发Foline heater set值;判断htr1灭AO13360发02024-8-28 version 0.0.2.281.step挂alarm condition没执行完,结束时间为空2.更新ELK气路图3、bug68、recipe编辑,mult steps delete,弹出框里面有stand by和最后一步end,能删除stand by和最后一步end4、bug116、recipe运行,把alarm condition设置jump挂到recipe,process状态下,点击download,要弹出提示框不能download5、115, data log-data history,data charge的小三角框放大,不然在机台上不好选择2024-8-27 version 0.0.2.2746、aux set界面光标不会随着按键去切换66、process recipe 导出Press.Command问题------ui格式是冒号,导出文件格式是点,有无问题。69、recipe编辑,点击over write copy,弹出框里面有70、recipe编辑,点击insert copy,弹出框里面有115、data log-data history,data charge的小三角框放大,不然在机台上不好选择2024-8-26 version 0.0.2.261.修改bug:16,28,41,46,59,66,70,78,912.Jump 到call sub下一步的step,会执行上一步的call sub的问题2024-8-23 version 0.0.2.251.process log导出没有MFC13--162.导出step有缺失2024-8-22 version 0.0.2.241.alarm condition增加每一个导航栏里面都要加delay time2.列表框禁止拖拽2024-8-22 version 0.0.2.231.FOUP机械手取放片报错之后,CarrierRobot delay 1 time to detect wafer log一致报的问题2.不管什么时候点都清除错误给使能,不回原点3.机械手的CycleMode改为TransferMode,CycleNumber改为TransferModeNumber4.run to run cycle统计界面,做第二次不是从0开始统计而是累计5.机械手alarm信号一直是亮的。alarm clear后不会在刷新出来这个错误报警,进行transfer都是正常的,应该判断这个信号亮,就要报错不能进行动作6.load step下面设置rotate就报警的问题7.MFC,Heater,Press报警增加delay检测时间,过了delay time才开始检查8.wafer robot和FOUP robot reset不下发对应的reset do9.bug序号51、 532024-8-20 version 0.0.2.2278、manualset,gas的pattern,左下角按键,打开/关闭时有开关二次选择79、recipe编辑,gas的pattern,左下角按键,打开/关闭时有开关二次选择80、manualset/recipe编辑,gas的pattern,mfc输入数据,小数点后面位数没限制,逻辑是四舍五入保留了三位82、点击release,没有弹出来确认提示框85、manualset,gas的pattern,mfc修改数据,底色没变化(和recipe里面编辑的保持一致)90、recipe follow,combination里的,比如修改第5步的,结果前面的几步也跟着改动了"  (此处配置为整个recipe文件共用)其它:DataGrid的全局样式修改都不能进行拖拽1.更新alarm condition中MFC13--16的选项2024-8-16 version 0.0.2.211.修改bug 43 recipe compare,删掉copy,undo和save功能2.修改bug 47 软件不支持recipe history对比3.修改bug 49 recipe compare界面功能模块操作空间太小,机台上容易点错4.修改bug 54 process,select m界面打开,文本框推拽能交换位置2024-8-15 version 0.0.2.201、sub Recipe,切换table,step数据有异常2、alarm recipe空时创建recipe,不显示recipe文件3、选择的wafer数量和layout对应不上的时候,报waring,job不开始2024-8-12 version 0.0.2.191.discharge过程中,新建了load job,导致机械手不动的问题2.Process step boat选择到Load位置,到位之后提前结束step2024-8-9 version 0.0.2.181、manualset这里loader和pressure设置mode,没有标黄,导致我们每次set都会执行这里的模式。2、manualset界面gaspattern在manual模式下编辑mfc为1,set后显示还是之前的33.新建sub recipe不能添加step4.manualset界面manual模式下设定值不会显示,需要下发才显示5.光标在新建文件下再次new folder,会默认创建一个子文件。需要改为new folder没有选择路径的情况,新建成主文件6.先改了mfc/temp外面的数,然后点开detail,啥也没动,再点close,刚才修改的数就没生效7.先改了aux的数,save保存后,aux变黄并且follow了。再打开刚才修改的,点close,刚才修改的数就没生效。2024-8-8 version 0.0.2.171.更新LeakCheck的显示2.29、先改了mfc/temp外面的数,然后点开detail,啥也没动,再点close,刚才修改的数就没生效3.40、manualset的mode,heater模式右边空的4.63、load两个及以上的p/SD/ED/M,不输入carrier id,是默认load的carrier id是相同的,所以导致报错5.sub recipe的apc pid文件没有用Process recipe中Combination所选择的问题6.ayout下4片m。stock两盒m,每盒用2片下job会出现这样的报警,创建3盒m在stock,选两盒下job就能跑起来2024-8-7 version 0.0.2.161、recipe 编辑appendstep去掉IsSave状态,Name采用Name+No2、GasPanel采用AITGasValve控件,修改显示判断条件2024-8-6 version 0.0.2.151、Press.Command保存对应值,其它保存为0 其它类型补充2、appendstep添加功能修改,采用拷贝当前步,增加拷贝委托,修改设置第一步和最后一步false2024-8-5 version 0.0.2.141、manual显示我Set值上一次设置什么打开还能看到2、Press.Command保存对应值,其它保存为03、选择slot wafer界面,容易出现误触。会造成我们选择三片因为误触选择了修改2024-8-5 version 0.0.2.131、valve delay2、编辑DP MBP3、pump的按键可以follow4、Valve闪烁5、Job wafer选择6、valve的delay time界面7.更新跑recipe报索引值超出范围的问题2024-7-28 version 0.0.2.091.buffer servo torque为0的问题2.更新charge按照slot选择3.buffer servo torque关联地址不对的问题4.创建Proces job时,如果wafer的slot被前面的job选中,则报警提示,wafer不允许创建5.PLC的di报警,解除的时候,自动复位6.ManualSet页面,Heater设定了ramp之后,有问题7.M wafer数量够,也报不够的问题2024-7-23 version 0.0.2.061.增加wafer robot TP模式的warning2.去除AV71开和DI_AV71ILK相关的报警3.AV71显示开的逻辑,D9008的值不为5,就认为是开4.Alarm Clear增加发送D1089.0和D1092.125.收到D115.4和D119.6报警之后,发RERR给机械手6.增加temp pid,temp correct,APC PID,alarm condition的Download功能2024-7-19 version 0.0.2.05其它、设置ILK false闪烁27、reset recipe新建recipe,ui不显示测试未还原问题,待确认29、先改了mfc/temp外面的数,然后点开detail,啥也没动,目前只有一个改动标记,Close时默认不修改,所有还原之前修改,点击OK按钮30、manualset界面,在gas pattern里设定mfc值,外面没有变色 已修改待确认31、mfc detail序号问题32、recipe,export后,excel表打开时间格式有问题35、导出非空的sub/alarm/abort/idle/reset recipe,报错36、点loader,没有提示框2024-7-17 version 0.0.2.041.更新SiBCN的IO2.D13360不下发数值Bug 序号和问题9、mfc/aux的小数位数逻辑错误,没有限制只能输入三位小数10、temp要限制输入小数点后一位13、process/sub/alarm/abort/idle/reset recipe的AUX编辑,修改后标黄了,点了save之后,刚才修改的未生效,不能follow19、manualset界面的gas pattern可以实施显示mfc的值,gaspatternUI的monitor不能实时显示mfc的值25、edit recipe,最后description的内容填写了保存不上2024-7-15 version 0.0.2.031.下LoadProcessUnload job,报 未处理的WCF操作异常 的问题2.AUX的alarm higher和alarm lower写到对应ao3.AUX status显示当前SV的反馈值4.Heater的ramp rate,up rate和down rate需要同时赋值bug8、step time 的step skip和step wait不能保存19、除了job recipe,其他recipe修改保存 data time都没有更新21、recipe编辑,gas的两个按键打开后,不点亮24、修改recipe,description的内容保存不上2024-7-11 version 0.0.2.021、Bug 1  recipe编辑gas pattern界面八个按键修改,gas标签不会变色的问题2、Bug 3 gas pattern编辑mfc,外面的mfc不会变色,导致下面的step不会follow3、Bug 10 点击change property  job 信息全部清空了4、Bug 11 recipe编辑gas pattern PREV next按键靠左机台硬件靠左不方便编辑5、Bug 15 修改table2/table3的-table name应该是键盘是字母键盘2024-7-10 version 0.0.2.011.增加FOUP机械手在TP模式的warning2.更新AUX gaslineHeate的重命名。涉及到_sc.data需要更新3.更新Gas Line Heater Memory Change D13360的设定4.boat rotate保存异常2024-7-8 version 0.0.2.001、MFC设置会误触Valve2、recipe的step选择卡顿3、recipe time格式修改4、ProcessHistory选择空值异常2024-7-8 version 0.0.1.991.去除AV60的开发warning2024-7-8 version 0.0.1.981、RecipeGasPanel 控件修改位置2、download upload加一下yes/no确定执行还是不执行,GridView去掉行选择光标3、Sub recipe 的follow问题4、MFC保存后 isSaved读取问题5、Config增加AUX设置使能,并读取和写入到AO6.Maintain->Boat页面,Rotation direction方向关联7.HTR2去除关联49--52的地址8.buffer status状态还是在move状态。需要改为点了stop状态变为idle2024-7-3 version 0.0.1.961、manualset这个线歪了2、manualset设定mfc点了cancel还可以保存3、27往左移一点,没有居中4、BWR、DPR、HTR1、HTR2、HTR3这些按钮follow5、htr1的每个单独的加热带使能逻辑发1给去掉,只用发heater all enable2024-7-1 version 0.0.1.951、valve follow   完善2、MFC Canel 取消异常3、MFC 单个设置2024-6-28 version 0.0.1.94recipe编辑pattern界面几个htr1/2/3按键2024-6-27 version 0.0.1.931.Maintain-》boat页面更新Shutter的开关和状态显示2.gaspanel,和recipegsapanl修改valve控件大小,调整页面。2024-6-24 version 0.0.1.921.step time显示1位小数2.显示Total Time3.HTR1按键使能地址更换2024-6-20 version 0.0.1.911.更新SiBCN AV2302.增加D8384和D8386的报警3.alarm table不能follow4.recipe mfc值修改不了5.step time显示两位s2024-6-19 version 0.0.1.901.更新Heater的SV2024-6-18 version 0.0.1.891.N2Purge页面MFM57的设定问题2.recipe step time最大设定59,目前可以设99需要优化3.detail里面设定mfc,会变黄但是下面的step不会follow4.外面mfc设定,detail不会显示set值5.temp在 detail修改,外面temp不会显示变黄,下面step不会follow2024-6-17 version 0.0.1.881.更新Heater的SV2024-6-13 version 0.0.1.871.maintain-》Boat页面手动移动Position1,2更新2.recipe name修改不支持光标定位3.M按键不能弹出选择框  增加了字典判断和异常打印4.AV41误触问题   增加光标强制(0,0)位置5.增加AV 60的do2024-6-12 version 0.0.1.861.recipe执行失败的原因更新2.manual set页面更新温度的correct table3.status页面压力根据AV75开关显示小数点切换4.N2 purge页面MFC 51流量设定不了的问题5.foup机械手swap功能改为transfer6.maintain-》Boat页面改为Position1,2,32024-6-11 version 0.0.1.851.更新ELK IO2.更新N2Purge页面AV65,AV66的显示3.gasPanel点击误触AV41页面光标强制置0,避免误触2024-6-6 version 0.0.1.841.回退boat 位置的修改2.insert deletestep光标定位当前页3.manual模式设定mfc值要保存2024-6-5 version 0.0.1.831.htr按键判断开关逻辑,只要设定开就亮,不管使能有没有接收到.重启后保留重启前设定2.GasPanel MFC数值不刷新问题2024-6-4 version 0.0.1.821.161-200在PARAMETER的STEP NAME保存不了,导致recipe调用不了的问题2.folder下recipe展示打开状态3.folder路径去掉2024-6-3 version 0.0.1.811.弹出recipe description name的全键盘编辑内容保留输入不清除2、Recipe Edit的Step滚动条,选择内容不刷新2024-5-31 version 0.0.1.801.recipe操作功能bug调整2024-5-30 version 0.0.1.791.recipe Step进度条调整2.sibcn气路图同步调整3.data history查看支持拉宽2024-5-29  version 0.0.1.781.增加加热带的数据订阅2.增加伺服的alarm,warning报警2024-5-28  version 0.0.1.771.Wait Time累计到hold time上 并返回展示/recipe结束仍展示 H问题2.button/Radiobutton/TreeView /ListBox控件去除IsMouseOver属性2024-5-27  version 0.0.1.761.显示W的时候,把Hold Timme的描述替换为Wait Time。同时Wait Time的计时器开始计时2.机械手的alarm clear,只有在出错之后才发3.菜单按钮光标调整4.mfc显示保留小数点后三位5.气路图 minitor状态 不会刷新ai值问题2024-5-24 version 0.0.1.751.aux/waferRobot指令页面/recipe combination 弹窗点击2次问题2.status->Transfer Main 页面 机械手需要点击2次关闭问题2024-5-22 version 0.0.1.741.光标定位问题2.process log 导出空行显示问题2024-5-21 version 0.0.1.731.Main界面点击正在执行recipe光标要定位在当前执行的step上面2.recipe编辑那一块黄颜色去掉/管道和阀调整3.recipe编辑htr123改为点一下就开启,点一下就关闭4.recipe操作 定位问题2024-5-20 version 0.0.1.721.mfc仅 recipe编辑的recipe模式下 setpoint > 0 时 颜色展示2.机械手 home的时候 启用速度设定3.aux 配置调整4.aux 设定光标问题5.气路图调整6.ManualSet  MFC 颜色改变问题7.recipe+ HTR1/2/3设定问题;htr3初始值问题8.新建一个recipe AUX什么也不设置,执行recipe显示set为09.更新HTR1,2,3的recipe设定2024-5-14 version 0.0.1.711.更新AUX的显示2024-5-13 version 0.0.1.701.ManualSetViewModel模块的mfc set后再生效2.手动模式下 添加aux Set 数据3.process时设定aux4.无法删除recipe问题5.foup颜色逻辑优化6.Elk io 4.0更新2024-5-11 version 0.0.1.691.菜单栏UI/sibcn气路图UI/MFC UI调整2.预设MFC值 实时展示2024-5-10 version 0.0.1.681.预约job 第二个job开始的时候 tubeStatus展示process2.添加position的 页面+上传/下载指令3.颜色统一及其bug修改4.添加RSTP/SABS指令 及其操作页面5.Alarm condition 修改样式增加高度6.参数分类细化7.非Idle状态的P/M1/M2 foup 展示为绿色2024-5-6 version 0.0.1.671.newRecipe/RenameRecipe 名称重复问题2.recipe edit 下边按钮逻辑调整 3.runToRun次数展示4.waferRobot 参数下发功能5.颜色统一6.Sibcn 管道图调整7.waferRobot功能键添加弹窗确认/只有wt 位于idle状态下 可以进行功能操作8.添加RunToRun 功能及其配置9.优化ct展示效果10.下job的时候检查process和layout是否存在11.Sibcn和ELK 的ilk调整12.涉及到mfc和阀的页面及其功能调整13.config隐藏Step Name/Interlock Name/Name Parameter14.recipe执行,报 索引超出范围。必须为非负值并小于集合大小15.stocker wafers 类型不一致不允许创建问题 none可以任意创建16.第一个job没有结束,过程中可以继续使用这个M/P foup前提是要满足下面的layout。job结束之后,M/P不能继续用17.下拉条换成按钮2024-4-24 version 0.0.1.661.Boat添加2.AlarmEventDefine 文件添加对应类型配置3.sibcn 0.3/0.4 version 更新4.DEPO/F2/HF/按键及其信号灯 更新5.Recipe 执行时 名称及其时间错误问题7.process history导出附加sub recipe信息8.ELk 0.1/0.2 version io 更新  文件添加对应类型配置9.ui界面去除 ct的 Blade1 选项10.recipe 操作按钮bug调整11.boat优化2024-4-17 version 0.0.1.651.调整recipe 比较页面2.recipe中alarm condition选择慢3.recipe step选择了leak check,step时间比leak check时间长的时候的问题4.SiBCN气路图更新5.更新alarm recipe的保存2024-4-15 version 0.0.1.641.AlarmCondition编辑页面Copy时候数据不刷新2.去除Alarmtable和Maintain-》GasPanel页面3.两个cj,前一个end call sub执行时间很长,导致第二个job的wafer charge之后,第一个job 结束了不执行第二个job的process4.sub recipe执行显示问题2024-4-11 version 0.0.1.631.更新leak check alarm2.process在wait的时候,点了abort还显示wait状态的问题3.两个cj,前面一个cj end时间长,导致wafer Discharge结束end步骤还没执行完时,第二个job开始失败的问题4.M2不会开始job的问题5.SiBCN io更新6.更新ELK io7.正在wait捡漏,手动跳步到end。还在执行上一步的wait2024-4-10 version 0.0.1.621.process recipe的command选择了leak check之后,关闭再点开不会显示原来的选择2.parameter->Leak Check 编辑更新3.Status->Pressure Leak Check 展示4.Status->Temp 禁止输入5.SIBCN管道更新6.更新leak check功能2024-4-3 version 0.0.1.611.A,B Batch,B是空的layout,会先cooling再开始process的问题2.alarm condition 切换table慢的问题 3.process log导出优化2024-3-30 version 0.0.1.601.new process recipe 自动生成end2.没有material 进行B batch standby,有 material 等A batch discharge完,并切CJOB结束才开始进行B batch3.工艺完成,M先Discharge结束回到stocker,可以先unload2024-3-29 version 0.0.1.591.alarm condition增加table拷贝功能2.添加process list导出3.Parameter->Parameter页面,只保留StepName和TempSetting,删除不需要的设定4.主recipe执行完倒数第二步,就认为recipe执行结束,可以开始cooling,同时tube做最后一步的step5.生成exe,原来的首选项是生成32位的,去除这个勾选2024-3-27 version 0.0.1.581.Process log导出优化,增加最大行数的配置项2.ELK气路图更新2024-3-26 version 0.0.1.571.aux 序号>=68的要求不报警2.NTP气路图更新3.更新Dummy不需要discharge的配置2024-3-25 version 0.0.1.561.interlock根据excel要求,满足时间才报警2.更新alarm condition中的Interlock相关报警3.更新ELK IO4.jump step之后,还需要能够call sub2024-3-23 version 0.0.1.551.alarm condition MFC不报警的问题2024-3-22 version 0.0.1.541.recipe页面滚动条样式2.recipe选择alarm condition打开慢3.discharge时foup机械手取到foup会停一会才放2024-3-21 version 0.0.1.531.机械手出错之后,home报is in Resetting state,can not do StartHome 的问题2.AUX在空闲的时候也需要报警3.小键盘更新4.更新ELK IO2024-3-20 version 0.0.1.521.广川机械手home,软件报超时的问题2.小键盘弹出的问题2024-3-19 version 0.0.1.511.ELK IO点位更新2.manualSet Pressure设定值不展示问题3.recipe append 不显示temp名称问题4.unload monitor foup报错的问题5.重复的alarm自动更新最新的时间6.valve开关,interlock不满足只报警,不复位7.status页面AV71状态绑定还原回原来的8.return wafer,取5片的逻辑更新9.recipe编辑gaspattern提示空对象,进行判断10.小键盘去掉鼠标点击事件2024-3-18 version 0.0.1.501.ProfileTemp无法设置负值,默认范围 Min="0" Max="700",目前修改为 Min="-999.9" Max="999.9"2.ProfileTCCalib无法设置,属性缺了UpdateSourceTrigger=PropertyChanged3.RecipeCommand step loop数量无法设置LoopCount绑定设置添加Mode=TwoWay, UpdateSourceTrigger=PropertyChanged2024-3-16 version 0.0.1.491.jump 不了后面执行过的step,只能jump前面没有执行的step2.更新小键盘样式3.更新Process history中APC sensor1,sensor2名称,增加VG11,VG12导出2024-3-15 version 0.0.1.481.软键盘输入优化2.加热带table预设功能3.AUX修改了不需要重启4.AUX的F2 cln,HF cln软件重启之后,保持和关机前状态一致5.temp CU和CL显示一样的问题2024-3-14 version 0.0.1.471.Sub recipe为空问题2.小键盘弹出问题3.TempCorrection  recipe模式下不可save问题4.alarm 添加clearAll 5.heater 页面cu跟cl的actual值一样2024-3-13 version 0.0.1.461.Process log导出问题2.alarm condition jump step的问题3.执行完recipe,APC的PID表选择信息能够保存4.alarm condition中,AUX名称的显示要根据config5.alarm condition调用reset,alarm,abort等之后,在status页面点recipe浏览弹窗报错6.temp correct选择的文件不存在引起的报错7.小键盘弹出问题8.执行sub recipe报错问题2024-3-12 version 0.0.1.451.增加aux和apc的alarm condition判断2.AUX设定修改不了的问题3.Recipe alarm select 回显问题4.AUX AO问题2024-3-11 version 0.0.1.441.clear alarm log导致RT断掉2.AV71开阀逻辑不符3.Config中,System-》recipe节点下,几个默认recipe的选择,改了之后只有重启软件才能更新4.alarm condition增加MFC项5.alarm condition,只有设定时间大于0才会监控2024-3-8 version 0.0.1.431.auto transfer过程能下发manual指令2.boat move 没有alarm提示----R轴旋转不需要检查;Start函数中的检查条件需要去除shutter open的检查3.alarm condition的call abort,alarm recipe的问题4.recipe比较速度慢的问题2024-3-7 version 0.0.1.421.alarm condition的设定时间等不能保存的问题2.alarm condition的执行问题3.step name编辑,弹出键盘反应慢的问题2024-3-6 version 0.0.1.411.Change Property问题调整 2.boat move 移动前先检查条件是否满足3.ManualSet中Correct 设置了default 文件仍然弹窗提示问题 4.数字键盘/全键盘弹出问题5.alarm condition设置时间为0不跳到end的问题2024-3-6 version 0.0.1.401.recipe 新增最近十次修改历史查看功能2.ManualSet中Correct 设置了default 文件仍然弹窗提示问题3.Recipe Except 导出内容不正确问题4.Boat Move alarm 问题调整5.光标定位问题6.alarm show不合理问题 7.增加alarm Condition的执行log2024-3-5 version 0.0.1.391.Alarm Condition 文本框上下限问题;Error弹窗错误问题;2.ManualSetViewModel页面Mode/Correct/PID的save按钮手动模式下可点击3.Process log导出去除没有的点位:ValveAV62;    BWR,DPR导出的名称更新4.temp set功能改善5.loadport类型不能支持配置6.数据框点击有效范围较小7.Gas 的MFC 数字键盘弹出不对问题2024-3-3 version 0.0.1.381.增加APC mode ao的数据订阅2024-3-2 version 0.0.1.371.更新heater的alarm condition2024-3-1 version 0.0.1.361.手动情况下,AV71 open,APC可以设定角度,压力,slow vac等其他模式;AV71 close,则apc close2.更新alarm condition中error command选择不能保存的问题2024-2-29 version 0.0.1.351.更新alarm condition保存文件的拼写错误2.APC PID的table name输入不了字母的问题3.更新机械手RSTS的指令,wafer robot和foup robot不一样2024-2-28 version 0.0.1.341.修改bug 17,342.更新机械手RSTS的指令2024-2-27 version 0.0.1.331.增加D328.0---328.15的数据订阅2.Bug序号33:manual操作av71阀关闭,对应press也要发full close mode3.Bug序号28:有关pump的DP和MBP地址公用一个地址,DP打开发D1084.1,MBP也跟着DP显示亮。关DPD103.7,MBP跟着关(MBP不可控制)4.气路图Monitor时,下面一排按键也不能点5.调整APCPID /LeakCheckCondition/TempProfile 文本框MAX6.manual set-》gas panel,pump等几个按键的设定问题2024-2-23 version 0.0.1.321:问题50:编辑Temp PID table/Temp AutoPID table输入值大于10,就会导致输入不了2.设定fims2为offline,fims1的online&offline按键都会变灰.3.FIMS的online、offline重启软件保留上一次设定的状态4.Maunal set-》gas panel页面设定问题5.PM的状态机从原来的5ms---》改为1ms2024-2-21 version 0.0.1.311.abort不了robot状态的问题2.AV91联动DI点位 (仅限仿真)3.第二个wait的job,start time改为显示“”------“”2024-2-19 version 0.0.1.301.Valve 60,74,77的状态改为绑定D341.0,D341.1,D341.22.Job Recipe重命名文件丢失问题3.WaitingMaterial最小值展示问题4.Recipe编辑中temperature选择table按键切换失效问题5.Recipe增加RHC的控制2024-2-18 version 0.0.1.291.选empty layout时,在discharge的时候会卡住的问题2.Cjob abort只能abort当前的job,无法对后面预约的job进行操作的问题3.Parameter-》TempSetting增加AllZone的设定2024-2-7 version 0.0.1.281.增加job预下功能2.recipe中温度增加table设定2024-2-6 version 0.0.1.271.PM状态机的时间间隔改为5ms,原来是50ms2.写PLC的AO块的长度改为450,原来是1002024-2-5 version 0.0.1.261.有关pump的DP和MBP地址公用一个地址,DP打开发D1084.1,MBP也跟着DP显示亮。关DPD103.7,MBP跟着关(MBP不可控制)2.AUX三个table逻辑只写了一个,需要添加两个虚拟按键F2 cln  HF cln3.gas panel DPR按键不对的问题4.Process Log导出项的名称更新,改为和显示一致2024-2-4 version 0.0.1.251.优化recipe step的执行时间2.仿真机械手报stop状态的问题2024-2-3 version 0.0.1.241.AV60,74,77加上边框以示区别2.Process Log页面导出功能修改3.更新仿真2024-2-2 version 0.0.1.231.Parameter-》step name编辑页面卡顿优化2.manualSet点开Pattern之后,阀门和流量计的设定完成,切换为manualSet页面,点Set需要一次性写到RT3.Carrier Robot的pick,place的超时按照config设定4.更新仿真2024-2-1 version 0.0.1.221.Process Log中的Heater working output改为Power output2.优化Process Log-》Process Detail页面选择数据卡顿的问题3.Recipe LOOP的count,设定几次就显示几次4.Mini8的设定值,只有变化了才写2024-1-30 version 0.0.1.211.更新Mini8 Ao的写2024-1-29 version 0.0.1.201.Recipe编辑去除MFC512.切换别的recipe,也显示主recipe的问题3.更新AO写的问题4.更新process log导出问题5.Boat elevator,只有D5660=D10110,才会发D1142.0的脉冲6.recipe执行过程有alarm,只是抛出,不影响工艺7.Maintain->Boat 页面去除elevator的servo on/off按键,删除rotate的速度设定和显示2024-1-28 version 0.0.1.191.Process Log导出问题修改2.PLC的AO、DO写优化:原来是每个点上位机修改了才写到PLC=》改为按照块,一直写AO、DO,不管上位机有没有修改(注意此项修改,需要PLC那边确认是否会影响)3.优化recipe执行的时间:原来仿真200ms写完step所有参数=》优化后5ms内执行完step所有参数4.优化RT线程数量,去除不必要的线程5.GasPanel DPR和BWR按键显示问题6.Boat增加from to创建和delete wafer7.更新IO版本45,468.修改Modbus TCP通讯的报错9.Mini8 AO、DO写优化:原来是每个点上位机修改了才写到Mini8=》改为按照块,一直写AO、DO,不管上位机有没有修改(注意此项修改,需要测试下设定温度和enable是否正常)2024-1-26 version 0.0.1.181.机械手报警之后,通讯log不打的问题2.Process Log的Pressure增加VG13,VG21,VG223.AV71阀门开关的warning提示问题4.Process log导出数据异常的问题5.阀门开关显示字体更新6.机械手home的时候,不用发reset error2024-1-24 version 0.0.1.171.aux保留小数调整2.Log下拉框调整为Alarm3.temperature correct file is empty不报warning4.BWR,DPR,HTR1,HTR2按键功能bug修改2024-1-23 version 0.0.1.161.广川机械手CSTP指令改为不发送,由机械手自行终止2.广川CCLR改为INIT,1,1,N3.广川出错之后查询错误码,显示出来4.Top View的log下拉框只显示warning和alarm5.data history和data charting页面打开慢的问题2024-1-19 version 0.0.1.151.recipe读取速度继续优化2.更新Process log3.Jump step选择的是call sub的main step时,结束sub,直接执行main step2024-1-17 version 0.0.1.141.Wait press,不把Slow vacuum rate清零2.Manual Set页面,save按键点不了的问题3.Status-》main,点击recipe,recipe打开慢的问题4.recipe编辑页面,打开recipe慢的问题5.recipe导出异常的问题6.Jump step逻辑更新,可以跳到任意的main recipe的step;如果跳到的step有call sub,先执行sub,sub执行结束再执行住recipe step;   如果当前在执行sub recipe,jump到主recipe的step,可以结束当前的sub执行,跳到主recipe的step2024-1-16 version 0.0.1.131.阀门av60/74/77只能查看,不能设定2.Boat旋转速度更新3.recipe有个别插入StepNo不正确4.config为空的问题5.aux页面卡顿优化6.aux状态显示页面,通过点击status-》Main-》MFC之后弹出显示7.更新压力单位根据config显示8.recipe过程中,aux的设定值,不写到对应的ao9.压力的单位,根据设定更新到1240.5,config为torr的时候,设定false;为pa的时候,设定true10.更新加热带heater enable的显示2024-1-15 version 0.0.1.121.sub recipe的table copy功能2.aux 页面切换卡顿的问题3.aux页面打开报错的问题4.aux的温度设定,设定到对应的ao5.删除不需要的gasline heater点位6.更新boat旋转速度设定(按照40个点设定)2024-1-14 version 0.0.1.111.更新charge,discharge流程2.修改boat上wafer显示slot顺序不对的问题2024-1-13 version 0.0.1.101.boat上下运动判断shutter为开和D340.15为true,否则报警2.auto shutter运动的超时根据config设置,Boat-》AutoShutter-》MotionTimeout3.boat运动的时候,先开shutter,在判断interlock4.更新IO版本442024-1-12 version 0.0.1.91.去除temp pid和correct为空的报警2.缩小阀门在recipe执行中占有的时间3.recipe执行过程中shutter的开关超时改为30s4.点击Transfer Main页面-》Init-》Abort(All Initialize那一行的),可以从AutoRunning-》Idle,从AutoIdle-》Idle5.AUX更新压力等显示6.IO monitor页面显示不全的问题7.Recipe编辑过程中阀门状态不对的问题8.更新APC wait press功能------注意,recipe要打开重新保存,如果有wait Press的步骤要重新设置9.更新IO版本42,4310.修改process过程中的APC设置异常11.增加process过程中的wait信息log12.boat的manual set功能13.download apc config写D1240.8,脉冲信号3s14.设定APC黄色区域,增加写D1240.10,脉冲信号3s15.增加Status-》Pressure-》press页面Command Set和PID table的显示16.manual set页面不读ai更新2024-1-11 version 0.0.1.81.ManualSet页面更新,去除当前值显示2.valve interlock去除3.discharge,boat home的过程中,cool complete一直打的问题4.当你 command选择 wait press down时,是给D13012这个地址发送的值,这个需要在step切换之后,假如command有切换,需要reset to 05.wait pressure up是大于等于,down是小于等于6.MFC,温度的manual set界面设定值根据上次关机前的设定值2024-1-10 version 0.0.1.71.Status-》Main页面,FIMS上的wafer数量显示为02.增加data log中加热带的enable信号3.process在循环中点skip,结束循环有异常的问题4.气路图不启动5.去除boat rotate之后的stop6.更新IO版本40,417.更新APC Config页面8.recipe的rotate速度设定小数2024-1-9 version 0.0.1.61.wait pressure up/down 关联D13012地址2.LOOP和Jump改为根据step名称跳转3.LOOP信息显示4.Status-》Main页面,FIMS上的wafer数量显示为05.Recipe command中Loop和Jump step保存和显示删去原来的step序号6.Gas页面,manual,monitor,recipe的切换显示功能7.VG21点位不对问题2024-1-8 version 0.0.1.51.更新return wafer的顺序2.更新None stocker类型的使用3.增加M1,M2的charge4.discharging之后,carrier robot取了foup,停顿了20s才开始执行放动作5.AV71关闭,则APC full close;AV71 open,则执行APC的command6.更新boat Rotate速度设定7.recipe的wait Limit后面加上(+),(-)8.更新VAC1,2,3的IO及其显示2024-1-6 version 0.0.1.41.process也有一个问题,就是做完工艺discharge的时候,会重复循环。2.job ->load,unload,process选择stocker,数字的显示问题3.加上temp correct table中flat zone的值4.recipe重命名保存文件step清空问题 5.增加VAC1,2,3状态显示6.温度界面显示更新,act值需要pv-profile值7.更新了stocker none的设置2024-1-5 version 0.0.1.31.更新foreline heater和gasline heater的数据显示2.MFC设定问题3.RecipeView页面初始化加载卡顿2024-1-4 version 0.0.1.21.更新foreline heater和gasline heater的数据显示2.mfc不能设置流量问题2024-1-3 version 0.0.1.11.sub Recipe第一步选择,按钮可用状态修改  2.Stocker禁用和序号对应问题3.Stocker灰色图片展示问题4.FIMS cycle 测试的临时版本2024-1-2 version 0.0.1.01.39,40版本IO更新2.去除不需要的stocker 19,20,21的设定3.Job->Load carrierID重复显示的问题4.Proflile结果计算改为HeaterPV-CascadePV,只保留一个小数点2023-12-30 version 0.0.0.991.profile页面Dev显示更新2.profile页面Total Time,Preheat Time,Check Time显示更新3.cj完成之后,wafer robot多次做home报waring的问题4.Status-》main job显示信息更新5.recipe剩余时间显示问题:remain time的倒计时有bug,2min9second流逝到2min0second后,又从2min59second开始计时6.recipe中Profile选择问题更新(原来需要设定default才可以)7.Load P时,选择第一个LP,第五个自动选上的问题2023-12-29 version 0.0.0.981.不能Load M,ED,SD的问题2.charge和discharge结束之后,wafer robot回到home位置2023-12-28 version 0.0.0.971.更新温度的显示小数点位数2.Temp PID的最大值限制更新为10003.step 时间设置秒带小数4.heater导出数据精确到一位小数点5.recipe description修改bug更新6.return wafer时FIMS反复做load,unload修改7.cooling的执行问题8.recipe设定秒加上小数点2023-12-27 version 0.0.0.961.return wafer时FIMS报wafer robot没缩回的interlock2.sub recipe copy问题3.气路图字体更新4.recipe导出数据的顺序和绿色小框5.recipe文件夹浏览页面卡顿的问题6.recipe的OverWrite Copy and Prev. step overwrite功能有问题7.Profile的Alarm limit设定小数2023-12-26 version 0.0.0.951.CarrierID的自动读取2.更新return wafer3.autorunning,auto idle的情况,FIMS的load、unload不判断wafer机械手4.增加FIMS的online offline2023-12-25 version 0.0.0.941.增加LP3、4的CarrierID read2.N2 Purge页面的手动操作阀门3.Recipe中gas panel的阀门显示问题4.recipe中apc pressure无法输入的问题5.增加Mapping result的显示6.增加Recipe执行Hold,Wait的显示7.Recipe的MFC detail编辑页面,增加scale的显示8.recipe(mfc/temp /press)各种PID Table设置值,软键盘弹出二十六键,不方便输入数字和标点符号9.IO页面的滚动条增加2023-12-24 version 0.0.0.931.Hold之后,显示hold住的那一步2.增加MFC,Heter,APC,AUX的wait3.recipe执行报temperature Profile file is empty2023-12-23 version 0.0.0.921.更新heater和profile页面的显示2.更新recipe的执行2023-12-22 version 0.0.0.911.Status->Main显示调整2.Recipe中去除MFC51,MFC57,AV54,AV56,AV57,AV58,AV59,AV63,AV64,AV65,AV66,AV67,AV68----注意,recipe需要打开重新save3.gasPanel显示修复4.temperature correct file is empty重复打印的问题5.process recipe中增加aux的编辑 6.更新AUX的设定和显示(报警还没加)2023-12-21 version 0.0.0.901.重做Temp页面2.修复profile显示问题3.gaspanel页面增加ManualMonitor控制4.修改Apcpressure显示5.修复SC重复注册问题6.修改IO页面打开卡顿7.更新heater的up、down rate下发和ramp的界面显示8.增加recipe过程中的heater设定log,MFC设定log9.增加AUX的设定界面2023-12-19 version 0.0.0.891.更新auto profile执行逻辑2.更新process recipe的导出功能2023-12-18 version 0.0.0.881.更新Sub recipe的执行2.更新IO3.Unit按配置显示更新,Unit关联IO4.MFC raming为零无法设置修复5.禁用自动Logoff6.pattern管路图更新7.mainview页面弹窗改成二级页签8.修复recipe无法delete问题2023-12-17 version 0.0.0.871.除了process recipe,其他类型recipe去除Standby2.增加recipe中Boat等待到位的功能,到位之后才执行下一步3.更新Interlock的判断条件,原来是true,改为false4.更新34,36版本IO5.Manual set页面,heater状态值更新6.增加MFC ramp time设定到PLC7.Loop时,Next step显示不对的问题8.更新Heater IO的名称2023-12-14 version 0.0.0.861.更新recipe中command选择的显示2.Gas Panel增加按键文字描述3.更新profile功能4.recipe循环过程中,点了abort,再次执行recipe,不循环的问题5.更新33版本IO2023-12-13 version 0.0.0.851.更新HTR1的gasline heater102.更新recipe Loop功能3.更新不同类型recipe的command按键选项2023-12-12 version 0.0.0.841.更新32版本IO2.更新HTR1,HTR2按键逻辑3.更新Recipe执行command中的jump功能2023-12-10 version 0.0.0.831.更新recipe Hold逻辑,当前step执行完才hold2.更新Jump step逻辑3.recipe执行结束,增加选项可以不执行standby或者idle recipe4.更新recipe执行中heater的up/down rate设定2023-12-8 version 0.0.0.821.增加recipe的abort,skip,pause,release按键操作2.去除阀门的一直报的warning3.更新recipe abort2023-12-7 version 0.0.0.811.修改GasPanel2.修改阀门,管路,MFC,VGPart控件效果3.增加Pump的AUCAGVBOTH选择4.增加风机控制按键2023-12-6 version 0.0.0.801.更新recipe编辑保存的问题2.更新recipe执行3.增加boat手动功能4.gas背景更新   APC valve angel显示更改  阀门,MFC控件更新  Temp页面UPDownrate自由设置   manualsetsave确认  弹窗居中2023-12-4 version 0.0.0.791.主页面apc显示更新2.APC弹出页面显示更新3.apc增加home按键4.更新Boat的home,上升下降反复动+旋转一直转2023-12-1 version 0.0.0.781.Heater 手动设置界面更新2023-11-30 version 0.0.0.771.APC 手动设置界面更新2.boat手动界面更新2023-11-28 version 0.0.0.761.温度页面打开报错的问题2.更新APC相关的IO3.更新Boat cycle 测试4.更新Boat E Axis Home按键2023-11-21 version 0.0.0.751.更新27、28版本IO2.修改不过141,142,147。问题146本来就是按照mapping结果来的3.更新alarm condition4.更新N2 Purge2023-11-16 version 0.0.0.741.wafer robot 报not ready的问题2023-11-15 version 0.0.0.731.修改bug 1252.仿真机械手报RPOS超时问题3.process recipe name的选择问题2023-11-14 version 0.0.0.721.wafer robot cycle数量显示不对的问题2.修改bug 111,114,115,1343.process recipe step copy的bug2023-11-11 version 0.0.0.711.更新IO2.更新wafer robot cycle模式2023-11-9 version 0.0.0.701.更新IO2.更新Process Recipe选择SubRecipe,AbortRecipe时的显示3.更新di相关的alarm报警4.更新status点击Press的弹出页面(数据还未绑定)2023-11-7 version 0.0.0.691.更新Interlock显示2.更新Valve Open Close Interlock3.更新SubRecipe,AlarmRecipe,AbortRecipe的编辑和选择4.更新Io,对DI信号改为true的时候触发报警5.Buffer的旋转到位增加di信号2023-11-2 version 0.0.0.681.更新Automatic Valve interlock2023-11-1 version 0.0.0.671.Not Install模块取放的报警2.更新首页Gas及其弹出页面的数据绑定3.Temperature Correction的编辑和保存4.Process Recipe能够选择Temperature Correction文件,再选择相应的表5.修改FOUP循环搬送的bug2023-10-31 version 0.0.0.661.完善not install模块的取放foup报警2.修改设置温度报警3.更新1:N Carrier ID reader驱动2023-10-30 version 0.0.0.651.修改bug 70,91,98,109,110,112,1202.Temperature PID的编辑和保存3.Process Recipe能够选择Temperature PID文件,再选择相应的表4.Process Recipe,Loader选择None的bug5.Load过程中执行报错的问题2023-10-25 version 0.0.0.641.更新首页的UI配色2.增加首页heater的温度显示3.增加heater手动操作页面4.增加RF ID的读取和显示5.更新charge-》Discharge功能2023-10-20 version 0.0.0.631.增加版本号显示2.Boat 上升下降的到达信号,改用di判断3.Process recipe-》Combination-》能够选择Sub Recipe和Alarm Recipe2023-10-18 version 0.0.0.621.更新layout recipe boat wafer控件2.在setup recipe时需要在此table内选择step name2023-10-14 version 0.0.0.611.增加Boat 测试2023-10-11 version 0.0.0.601.增加DO修改的log2023-07-9 version 0.0.0.41.机械手协议改为UDP2.增加LP3,Lp43.更新机械手的报错机制2023-07-8 version 0.0.0.31.CPU占用率高的问题2.Main页面切换切换到stocker(有些按键改好了)2023-06-24 version 0.0.0.21.更新transfer job、auto transfer2023-03-01 version 0.0.0.11.修改bug2023-03-01 version 0.0.0.651.Alram、Sub、AbortRecipe增加Table功能 
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