ReleaseNotes.txt 53 KB

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  1. 
  2. ---------------------------------------------------------------------------------
  3. Furnace 系统更新历史记录
  4. ---------------------------------------------------------------------------------
  5. 2025-4-17 version 0.0.2.70
  6. 1.添加Gasline1 Gasline2 Gasline3 Gasline4 Gasline6 PLC相关内容
  7. 2025-4-15 version 0.0.2.69
  8. 1.增加NTP02气路图
  9. 2025-2-10 version 0.0.2.68
  10. 1.增加wafer robot动作前的command写入和检查
  11. 2025-1-21 version 0.0.2.67
  12. 1.更新Stocker的command ao
  13. 2025-1-16 version 0.0.2.66
  14. 1.LP 取放agv 门打开后再发送判断,buffer先转动到位置再发送判断aiao
  15. 2025-1-12 version 0.0.2.65
  16. 1、bug168 文件夹里面的recipe,双击后会展开左右移动
  17. 2、bug169 sibcn不用显示出来gasline模块
  18. 3、bug51 wafer thick界面删掉
  19. 4、bug53 SiBCN:wafer mapping 界面删掉
  20. 5、bug51 SiBCN:aux status界面删掉
  21. 6、bug50 layout/job recipe的select recipe type删掉
  22. 7、bug49 process/sub/alarm/abort/reset/idle recipe,在选中一个recipe时候,new folder也能选,不应该置灰
  23. 8、bug57 visible,name包括后面框长度可以拉缩,要固定住
  24. 9、bug58 单词拼写,format
  25. 10、bug56 data charting删的时候报错
  26. 11、ELK中AUX界面点位显示
  27. 12、GasLine添加权限
  28. 13.增加FOUP robot动作前的command写入和检查
  29. 2024-11-4 version 0.0.2.64
  30. 1.DPO的状态显示灯根据点位D341.3显示
  31. 2.欧陆通讯增加inerval设定
  32. 3.Full Close 不执行问题解决
  33. 2024-11-1 version 0.0.2.63
  34. 1、bug37、选中框的范围扩大 已修改
  35. 2、bug42、Data charting需要添加Zoom in/out等控件 实时刷新数据,尝试加了会被刷掉 添加后发现无法使用
  36. 3、bug43、abort recipe只有10个table 已修改
  37. 4、bug44、carrier robot/wafer robot wafer/fims1/fims2/boat wafers没有carrier 也能create wafer 添加了FIMS1、FIMS2、CarrierRobot判断
  38. 5、气路图添加CREF和SICREF控制
  39. 6、阀门显示反馈真实的状态
  40. 7、SiBCN项目添加 LA_O2_Check_OT FIMS1_O2_Check_OT FIMS2_O2_Check_OT 报警
  41. 2024-10-30 version 0.0.2.62
  42. 1.增加modbusTCP通讯间隔的配置
  43. 2024-10-30 version 0.0.2.61
  44. 1.修改ELK _ioDefineGasLine 地址
  45. 2.修改ELK _ioDefineGasLine 更换类型后界面对应更改
  46. 2024-10-29 version 0.0.2.61
  47. 1.Elk Recipe气路图 MFC更改后改变颜色
  48. 2.问题50 两个job不能用同一盒里面相同的slot
  49. 3.更新stocker FOUP吹扫功能
  50. 4.SiBCN去除DI_PS13LStatus的报警
  51. 5、导出数据AV40~到AV51、53,55缺失
  52. 2024-10-28 version 0.0.2.60
  53. 1.模拟器添加 GASLine相关IO显示
  54. 2.RecipesCompare历史对比功能优化
  55. 2024-10-25 version 0.0.2.59
  56. 1.更新ELK_ioDefineGasLine IO
  57. 2.ELK 气路图更新操作BothPump操作
  58. 2024-10-25 version 0.0.2.58
  59. 1.ELK气路图按照心要求(71控件换成sibcn的)vac信号灯关联 pump更换控件
  60. 2024-10-24 version 0.0.2.57
  61. 1.elk gas pattern 关联一下BWR/DPR使能
  62. 2024-10-23 version 0.0.2.56
  63. 1.SiBCN项目 HTR1 HTR2 HTR3 DEPO 点位增加DO控制
  64. 2.问题50 两个job不能用同一盒里面相同的slot
  65. 3.ELK问题39 拼写错误,control,angle
  66. 4、把用过的绿色的wafer删除,再创建,transfer main界面是蓝色的。但是status-main主界面的foup仍然是绿色。修改
  67. 5、两个界面,删掉data history/charting group画框的功能,不需要
  68. 6、查看了manualset后 MFC Set值变化
  69. 2024-10-18 version 0.0.2.55
  70. 1.修改bug:config开启不discharge dummy wafer的配置,先跑job1结束discharge5片m,剩下dummy在boat上,预约了job2,执行job2正常放m位置5片dummy即可,但是执行job2提示不match
  71. 2.修改bug:第一个job执行结束dummy不discharge在boat上,在执行一个job空的layout执行不起来,job信息会自动为空
  72. 3.fims load/unload cycle结束多发了一次load使能,导致cycle结束处于load状态
  73. 4.Process history中wafer数量不对的问题
  74. 5、shutter的cycle功能
  75. 6、把用过的绿色的wafer删除,再创建,transfer main界面是蓝色的。但是status-main主界面的foup仍然是绿色。
  76. 2024-10-17 version 0.0.2.54
  77. 1.Bug 26、27、28、30按照新需求修改
  78. 2.Elk问题35 完成待验证
  79. 2024-10-16 version 0.0.2.53
  80. 1.修改仿真滚动条显示不全问题
  81. 2.Bug 26、27、28、29、30、32 完成
  82. 3.Elk问题35
  83. 2024-10-14 version 0.0.2.52
  84. 1.更新ELK中的Recipe编辑界面
  85. 2.去除D102.0的报警
  86. 2024-10-14 version 0.0.2.51
  87. 1.修改bug:foup robot提前pick一盒foup在手上,这个时候执行load动作会宕机
  88. 2.修改bug:foup robot提前pick一盒dummy,然后下job会造成死循环取放dummy
  89. 3.修改bug:第一个job执行结束dummy不discharge在boat上,在执行一个job空的layout执行不起来,job信息会自动为空
  90. 4.重启软件,heater设定为0的问题
  91. 5.更新ELK中的Recipe编辑界面
  92. 5.bug20下3个job,排序正常是按照123顺序排。
  93. 2024-10-12 version 0.0.2.50
  94. 1、Bug13从位置1移动到位置2,最后位置1的灯亮了,关联错了
  95. 2、Bug23把用过的绿色的wafer删除,再创建,transfer main界面是蓝色的。但是status-main主界面的foup仍然是绿色
  96. 3.Alarm clear不能够消除状态机的错误(boat fims)
  97. 2024-10-11 version 0.0.2.49
  98. 1.return wafer过程robot报错,切换offline操作alarm clear,会报出warning return wafer过程不可操作alarm clear导致不可continue
  99. 2.charge全ED,charge完成会报机械手home的warning的提示
  100. 2024-10-10 version 0.0.2.48
  101. 1、Bug6、aux status 光标定位某一行,蓝色只能短暂出现两秒,就没了
  102. 2、Bug11、点开selectM,如果1-25没选择任何一个,点击accept,然后foup图案处还是会置灰
  103. 3、Bug13、从位置1移动到位置2,最后位置1的灯亮了,关联错了
  104. 4、Bug19、支持触摸屏滚动layout recipe
  105. 5、调整ELK气路图
  106. 6、Bug22、temp 这个follow问题,把第一步设成furnace,然后点黄框那取消,第一步恢复heater了,但是后面步骤还是furnace
  107. 2024-10-9 version 0.0.2.47
  108. 1.调整ELK气路图
  109. 2024-10-9 version 0.0.2.46
  110. 1.更新ELK buffer到位信号的判断
  111. 2.调整ELK气路图
  112. 2024-10-8 version 0.0.2.45
  113. 1.修改SiBCN的DI地址偏移量
  114. 2.调整ELK气路图
  115. 2024-9-29 version 0.0.2.44
  116. 1.增加GasLineHeaterMemoryChange的data history
  117. 2024-9-27 version 0.0.2.43
  118. 1.charge 卡死问题
  119. 2. ELK 14 【新需求】sub recipe编辑的时候,控温模式默认成Furnace模式
  120. 3. ELK 16 lp1和lp2都存在
  121. loadport1 三个位置di对应DO应该是placement亮,实际上presence亮了
  122. loadport1 foup detect对应DO应该是presence亮,实际上没亮
  123. 4. ELK 18 控件在机台上不方便点击,点到选中框才能选中,把选中的范围加大
  124. 5. ELK 10 data history选定框范围放大,触摸屏不好操作
  125. 2024-9-26 version 0.0.2.42
  126. 1、recipe follow最后一步异常,已修改
  127. 2、Scheduler.CoolingRemainTime保存异常
  128. 2024-9-24 version 0.0.2.41
  129. 1.100【新需求】process recipe历史对比,如果只勾选一个recipe,点recipe compare,需求呈现是和最新的对比。【布局再修改下】
  130. 2、159、combination挂的sub recipe,点开没有光标定位,不确定具体是哪个sub recipe
  131. 3、recipe编辑打开pattern没反应UIlog异常
  132. 2024-9-23 version 0.0.2.40
  133. 1.更新ELK客户端气路图
  134. 2.Temperature中的 DCC和 OverHeat界面更新
  135. 3、跨天导出数据有空行
  136. 4、删掉下面箭头
  137. 5、di/do/ai/ao第一页点向下翻页箭头,43之后直接跳到55了,缺一列44-54没显示
  138. 6、wafer mapping 排序反了
  139. 17、job recipe,想copy到文件夹里,不生效也改了
  140. 2024-9-19 version 0.0.2.39
  141. 1.ELK问题 (4.D1240.15地址,我们定义写错了)
  142. 2.Recipe比较,可以比较含Table的recipe文件
  143. 3.支持触摸屏滚动,目前recipe Edit页面的Step采用的是截取分页,无法支持,其它要求的页面已修改
  144. 2024-9-19 version 0.0.2.38
  145. 1.recipe执行异常 修改recipe模板文件,增加DPR保存为ValveAV91 注老的recipe文件需要打开再保存下
  146. 2.增加膜厚统计之后,执行完多个job,dummy wafer有时不charge的问题
  147. 3.50 两个job不能用同一盒里面相同的slot
  148. 4.稷以ScheduledMaintenance页面更新
  149. 5.ELK问题(1.ELK附件AI D9350 新增了环形网络报警断掉节点号反馈)
  150. 2024-9-14 version 0.0.2.37
  151. 1.ELK 气路图更新
  152. 2.跑recipe,数据库不记录的问题
  153. 2024-9-12 version 0.0.2.36
  154. 1、Temp Correction和Temp PID导出数据部分
  155. 2、修改以前数据导出不了
  156. 3.更新AxisMon界面参数显示
  157. 4.ELK 气路图更新
  158. 2024-9-11 version 0.0.2.35
  159. 1.增加Heater Cascade Mode和Heater Mode SV的导出
  160. 2.增加Temp Correction和Temp PID的保存
  161. 3.CascadeControlModeSV和HeaterControlModeSV取消取整
  162. 4.rhc判断发0的逻辑
  163. 2024-9-10 version 0.0.2.34
  164. recipe Film THK数据保存
  165. recipe Correct 使用就的tableName
  166. 2024-9-9 version 0.0.2.33
  167. 124.PJOB需要添加cooling skip功能
  168. 128.boat E轴R轴 DI的move信号没有亮,做initialize会报boat在move状态
  169. 100.【新需求】process recipe历史对比,如果只勾选一个recipe,点recipe compare,需求呈现是和最新的对比。
  170. 149.连续两个step挂sub(DEMP1/DEMP2),执行DEMP2显示的次数还是DEMP1的293次,而不是1/5
  171. 1.ELK 气路图更新
  172. 2.注释AUX报警
  173. 已经存在的比较老的Parameter Edit,删除recipe不能点
  174. 2024-9-5 version 0.0.2.32
  175. 104、parameter-edit-alarm condition-edit file,打开error command,call alarm recipe和call abort recipe的table name1-3,能改name
  176. 144、保存编辑后的recipe,光标跑到最上面去了
  177. 117、上下限和时间不能设置负数
  178. 135、alarm condition,编辑AUX设定值为5,保存后再打开,显示还是0
  179. 136、alarm condition,编辑press,OPRS-14选择off,保存后再打开,显示还是on
  180. 143、当process recipe运行完了,结束时间就清掉了。实际上job recipe还在进行cooling,没有完全结束。
  181. 99、transfer循环次数配置没有生效,只能跑一次
  182. 2024-9-4 version 0.0.2.31
  183. 76、manualset,修改temp,loader,pressure的数据,然后点击cancel,没有恢复未修改前的数据
  184. 119、recipe界面,当没有选择某个recipe时,也就是没有具体的光标定位时,右侧画红框的deleate,edit,rename,copy,view,export,change,
  185. 120、recipe编辑,第二步,下方overwrite copy置灰了
  186. 126、Data history/Data charing里面参数排序不对
  187. 117、上下限和时间不能设置负数
  188. 143、当process recipe运行完了,结束时间就清掉了。实际上job recipe还在进行cooling,没有完全结束。
  189. 142、parameter-edit,Tempcorrection table name修改,保存打开显示还是默认的name
  190. 131、recipe,点击new folder和rename folder,弹出来的提示框有选择"folder"的文本框
  191. 130、已经存在的比较老的job recipe,删除recipe不能点
  192. 2024-9-3 version 0.0.2.30
  193. 49、recipe compare,切换step,step parameter还保存上一个step的数据
  194. 59、Moniter模式下看mfc是会变动的actual值,远程连接后mfc不会实时刷新
  195. 68、process recipe ,Command是zero set,ui不显示pid,导出文件有pid
  196. 27、io list按照模块分类
  197. 55、有一片wafer做过工艺的,foup就是绿色
  198. 2024-8-30 version 0.0.2.29
  199. 1.修改Gas Heater Sensor Break Out Alarm到地址D8400;Temp Limit Alarm到地址8402
  200. 2.去除D3.14和D102.0的报警
  201. 3.bug40 新建recipe后,光标没有定位到新建的recipe处,需要往后翻页
  202. 4、bug106 table控件在机台上不方便点击操作点到小点,才能选择某table
  203. 5、bug132 alarm condition右侧的滑动框,滑动一闪一闪的
  204. 6、bug24 Cjob start time显示的job start time
  205. 7.htr1+htr2+f2 cln用配方2 AO13360发 2,同时使用table2的Foline heater set值;判断htr1点亮AO13360发1,table1发Foline heater set值;判断htr1灭AO13360发0
  206. 2024-8-28 version 0.0.2.28
  207. 1.step挂alarm condition没执行完,结束时间为空
  208. 2.更新ELK气路图
  209. 3、bug68、recipe编辑,mult steps delete,弹出框里面有stand by和最后一步end,能删除stand by和最后一步end
  210. 4、bug116、recipe运行,把alarm condition设置jump挂到recipe,process状态下,点击download,要弹出提示框不能download
  211. 5、115, data log-data history,data charge的小三角框放大,不然在机台上不好选择
  212. 2024-8-27 version 0.0.2.27
  213. 46、aux set界面光标不会随着按键去切换
  214. 66、process recipe 导出Press.Command问题------ui格式是冒号,导出文件格式是点,有无问题。
  215. 69、recipe编辑,点击over write copy,弹出框里面有
  216. 70、recipe编辑,点击insert copy,弹出框里面有
  217. 115、data log-data history,data charge的小三角框放大,不然在机台上不好选择
  218. 2024-8-26 version 0.0.2.26
  219. 1.修改bug:16,28,41,46,59,66,70,78,91
  220. 2.Jump 到call sub下一步的step,会执行上一步的call sub的问题
  221. 2024-8-23 version 0.0.2.25
  222. 1.process log导出没有MFC13--16
  223. 2.导出step有缺失
  224. 2024-8-22 version 0.0.2.24
  225. 1.alarm condition增加每一个导航栏里面都要加delay time
  226. 2.列表框禁止拖拽
  227. 2024-8-22 version 0.0.2.23
  228. 1.FOUP机械手取放片报错之后,CarrierRobot delay 1 time to detect wafer log一致报的问题
  229. 2.不管什么时候点都清除错误给使能,不回原点
  230. 3.机械手的CycleMode改为TransferMode,CycleNumber改为TransferModeNumber
  231. 4.run to run cycle统计界面,做第二次不是从0开始统计而是累计
  232. 5.机械手alarm信号一直是亮的。alarm clear后不会在刷新出来这个错误报警,进行transfer都是正常的,应该判断这个信号亮,就要报错不能进行动作
  233. 6.load step下面设置rotate就报警的问题
  234. 7.MFC,Heater,Press报警增加delay检测时间,过了delay time才开始检查
  235. 8.wafer robot和FOUP robot reset不下发对应的reset do
  236. 9.bug序号51、 53
  237. 2024-8-20 version 0.0.2.22
  238. 78、manualset,gas的pattern,左下角按键,打开/关闭时有开关二次选择
  239. 79、recipe编辑,gas的pattern,左下角按键,打开/关闭时有开关二次选择
  240. 80、manualset/recipe编辑,gas的pattern,mfc输入数据,小数点后面位数没限制,逻辑是四舍五入保留了三位
  241. 82、点击release,没有弹出来确认提示框
  242. 85、manualset,gas的pattern,mfc修改数据,底色没变化(和recipe里面编辑的保持一致)
  243. 90、recipe follow,combination里的,比如修改第5步的,结果前面的几步也跟着改动了" (此处配置为整个recipe文件共用)
  244. 其它:DataGrid的全局样式修改都不能进行拖拽
  245. 1.更新alarm condition中MFC13--16的选项
  246. 2024-8-16 version 0.0.2.21
  247. 1.修改bug 43 recipe compare,删掉copy,undo和save功能
  248. 2.修改bug 47 软件不支持recipe history对比
  249. 3.修改bug 49 recipe compare界面功能模块操作空间太小,机台上容易点错
  250. 4.修改bug 54 process,select m界面打开,文本框推拽能交换位置
  251. 2024-8-15 version 0.0.2.20
  252. 1、sub Recipe,切换table,step数据有异常
  253. 2、alarm recipe空时创建recipe,不显示recipe文件
  254. 3、选择的wafer数量和layout对应不上的时候,报waring,job不开始
  255. 2024-8-12 version 0.0.2.19
  256. 1.discharge过程中,新建了load job,导致机械手不动的问题
  257. 2.Process step boat选择到Load位置,到位之后提前结束step
  258. 2024-8-9 version 0.0.2.18
  259. 1、manualset这里loader和pressure设置mode,没有标黄,导致我们每次set都会执行这里的模式。
  260. 2、manualset界面gaspattern在manual模式下编辑mfc为1,set后显示还是之前的3
  261. 3.新建sub recipe不能添加step
  262. 4.manualset界面manual模式下设定值不会显示,需要下发才显示
  263. 5.光标在新建文件下再次new folder,会默认创建一个子文件。需要改为new folder没有选择路径的情况,新建成主文件
  264. 6.先改了mfc/temp外面的数,然后点开detail,啥也没动,再点close,刚才修改的数就没生效
  265. 7.先改了aux的数,save保存后,aux变黄并且follow了。再打开刚才修改的,点close,刚才修改的数就没生效。
  266. 2024-8-8 version 0.0.2.17
  267. 1.更新LeakCheck的显示
  268. 2.29、先改了mfc/temp外面的数,然后点开detail,啥也没动,再点close,刚才修改的数就没生效
  269. 3.40、manualset的mode,heater模式右边空的
  270. 4.63、load两个及以上的p/SD/ED/M,不输入carrier id,是默认load的carrier id是相同的,所以导致报错
  271. 5.sub recipe的apc pid文件没有用Process recipe中Combination所选择的问题
  272. 6.ayout下4片m。stock两盒m,每盒用2片下job会出现这样的报警,创建3盒m在stock,选两盒下job就能跑起来
  273. 2024-8-7 version 0.0.2.16
  274. 1、recipe 编辑appendstep去掉IsSave状态,Name采用Name+No
  275. 2、GasPanel采用AITGasValve控件,修改显示判断条件
  276. 2024-8-6 version 0.0.2.15
  277. 1、Press.Command保存对应值,其它保存为0 其它类型补充
  278. 2、appendstep添加功能修改,采用拷贝当前步,增加拷贝委托,修改设置第一步和最后一步false
  279. 2024-8-5 version 0.0.2.14
  280. 1、manual显示我Set值上一次设置什么打开还能看到
  281. 2、Press.Command保存对应值,其它保存为0
  282. 3、选择slot wafer界面,容易出现误触。会造成我们选择三片因为误触选择了修改
  283. 2024-8-5 version 0.0.2.13
  284. 1、valve delay
  285. 2、编辑DP MBP
  286. 3、pump的按键可以follow
  287. 4、Valve闪烁
  288. 5、Job wafer选择
  289. 6、valve的delay time界面
  290. 7.更新跑recipe报索引值超出范围的问题
  291. 2024-7-28 version 0.0.2.09
  292. 1.buffer servo torque为0的问题
  293. 2.更新charge按照slot选择
  294. 3.buffer servo torque关联地址不对的问题
  295. 4.创建Proces job时,如果wafer的slot被前面的job选中,则报警提示,wafer不允许创建
  296. 5.PLC的di报警,解除的时候,自动复位
  297. 6.ManualSet页面,Heater设定了ramp之后,有问题
  298. 7.M wafer数量够,也报不够的问题
  299. 2024-7-23 version 0.0.2.06
  300. 1.增加wafer robot TP模式的warning
  301. 2.去除AV71开和DI_AV71ILK相关的报警
  302. 3.AV71显示开的逻辑,D9008的值不为5,就认为是开
  303. 4.Alarm Clear增加发送D1089.0和D1092.12
  304. 5.收到D115.4和D119.6报警之后,发RERR给机械手
  305. 6.增加temp pid,temp correct,APC PID,alarm condition的Download功能
  306. 2024-7-19 version 0.0.2.05
  307. 其它、设置ILK false闪烁
  308. 27、reset recipe新建recipe,ui不显示测试未还原问题,待确认
  309. 29、先改了mfc/temp外面的数,然后点开detail,啥也没动,目前只有一个改动标记,Close时默认不修改,所有还原之前修改,点击OK按钮
  310. 30、manualset界面,在gas pattern里设定mfc值,外面没有变色 已修改待确认
  311. 31、mfc detail序号问题
  312. 32、recipe,export后,excel表打开时间格式有问题
  313. 35、导出非空的sub/alarm/abort/idle/reset recipe,报错
  314. 36、点loader,没有提示框
  315. 2024-7-17 version 0.0.2.04
  316. 1.更新SiBCN的IO
  317. 2.D13360不下发数值
  318. Bug 序号和问题
  319. 9、mfc/aux的小数位数逻辑错误,没有限制只能输入三位小数
  320. 10、temp要限制输入小数点后一位
  321. 13、process/sub/alarm/abort/idle/reset recipe的AUX编辑,修改后标黄了,点了save之后,刚才修改的未生效,不能follow
  322. 19、manualset界面的gas pattern可以实施显示mfc的值,gaspatternUI的monitor不能实时显示mfc的值
  323. 25、edit recipe,最后description的内容填写了保存不上
  324. 2024-7-15 version 0.0.2.03
  325. 1.下LoadProcessUnload job,报 未处理的WCF操作异常 的问题
  326. 2.AUX的alarm higher和alarm lower写到对应ao
  327. 3.AUX status显示当前SV的反馈值
  328. 4.Heater的ramp rate,up rate和down rate需要同时赋值
  329. bug
  330. 8、step time 的step skip和step wait不能保存
  331. 19、除了job recipe,其他recipe修改保存 data time都没有更新
  332. 21、recipe编辑,gas的两个按键打开后,不点亮
  333. 24、修改recipe,description的内容保存不上
  334. 2024-7-11 version 0.0.2.02
  335. 1、Bug 1 recipe编辑gas pattern界面八个按键修改,gas标签不会变色的问题
  336. 2、Bug 3 gas pattern编辑mfc,外面的mfc不会变色,导致下面的step不会follow
  337. 3、Bug 10 点击change property job 信息全部清空了
  338. 4、Bug 11 recipe编辑gas pattern PREV next按键靠左机台硬件靠左不方便编辑
  339. 5、Bug 15 修改table2/table3的-table name应该是键盘是字母键盘
  340. 2024-7-10 version 0.0.2.01
  341. 1.增加FOUP机械手在TP模式的warning
  342. 2.更新AUX gaslineHeate的重命名。涉及到_sc.data需要更新
  343. 3.更新Gas Line Heater Memory Change D13360的设定
  344. 4.boat rotate保存异常
  345. 2024-7-8 version 0.0.2.00
  346. 1、MFC设置会误触Valve
  347. 2、recipe的step选择卡顿
  348. 3、recipe time格式修改
  349. 4、ProcessHistory选择空值异常
  350. 2024-7-8 version 0.0.1.99
  351. 1.去除AV60的开发warning
  352. 2024-7-8 version 0.0.1.98
  353. 1、RecipeGasPanel 控件修改位置
  354. 2、download upload加一下yes/no确定执行还是不执行,GridView去掉行选择光标
  355. 3、Sub recipe 的follow问题
  356. 4、MFC保存后 isSaved读取问题
  357. 5、Config增加AUX设置使能,并读取和写入到AO
  358. 6.Maintain->Boat页面,Rotation direction方向关联
  359. 7.HTR2去除关联49--52的地址
  360. 8.buffer status状态还是在move状态。需要改为点了stop状态变为idle
  361. 2024-7-3 version 0.0.1.96
  362. 1、manualset这个线歪了
  363. 2、manualset设定mfc点了cancel还可以保存
  364. 3、27往左移一点,没有居中
  365. 4、BWR、DPR、HTR1、HTR2、HTR3这些按钮follow
  366. 5、htr1的每个单独的加热带使能逻辑发1给去掉,只用发heater all enable
  367. 2024-7-1 version 0.0.1.95
  368. 1、valve follow 完善
  369. 2、MFC Canel 取消异常
  370. 3、MFC 单个设置
  371. 2024-6-28 version 0.0.1.94
  372. recipe编辑pattern界面几个htr1/2/3按键
  373. 2024-6-27 version 0.0.1.93
  374. 1.Maintain-》boat页面更新Shutter的开关和状态显示
  375. 2.gaspanel,和recipegsapanl修改valve控件大小,调整页面。
  376. 2024-6-24 version 0.0.1.92
  377. 1.step time显示1位小数
  378. 2.显示Total Time
  379. 3.HTR1按键使能地址更换
  380. 2024-6-20 version 0.0.1.91
  381. 1.更新SiBCN AV230
  382. 2.增加D8384和D8386的报警
  383. 3.alarm table不能follow
  384. 4.recipe mfc值修改不了
  385. 5.step time显示两位s
  386. 2024-6-19 version 0.0.1.90
  387. 1.更新Heater的SV
  388. 2024-6-18 version 0.0.1.89
  389. 1.N2Purge页面MFM57的设定问题
  390. 2.recipe step time最大设定59,目前可以设99需要优化
  391. 3.detail里面设定mfc,会变黄但是下面的step不会follow
  392. 4.外面mfc设定,detail不会显示set值
  393. 5.temp在 detail修改,外面temp不会显示变黄,下面step不会follow
  394. 2024-6-17 version 0.0.1.88
  395. 1.更新Heater的SV
  396. 2024-6-13 version 0.0.1.87
  397. 1.maintain-》Boat页面手动移动Position1,2更新
  398. 2.recipe name修改不支持光标定位
  399. 3.M按键不能弹出选择框 增加了字典判断和异常打印
  400. 4.AV41误触问题 增加光标强制(0,0)位置
  401. 5.增加AV 60的do
  402. 2024-6-12 version 0.0.1.86
  403. 1.recipe执行失败的原因更新
  404. 2.manual set页面更新温度的correct table
  405. 3.status页面压力根据AV75开关显示小数点切换
  406. 4.N2 purge页面MFC 51流量设定不了的问题
  407. 5.foup机械手swap功能改为transfer
  408. 6.maintain-》Boat页面改为Position1,2,3
  409. 2024-6-11 version 0.0.1.85
  410. 1.更新ELK IO
  411. 2.更新N2Purge页面AV65,AV66的显示
  412. 3.gasPanel点击误触AV41页面光标强制置0,避免误触
  413. 2024-6-6 version 0.0.1.84
  414. 1.回退boat 位置的修改
  415. 2.insert deletestep光标定位当前页
  416. 3.manual模式设定mfc值要保存
  417. 2024-6-5 version 0.0.1.83
  418. 1.htr按键判断开关逻辑,只要设定开就亮,不管使能有没有接收到.重启后保留重启前设定
  419. 2.GasPanel MFC数值不刷新问题
  420. 2024-6-4 version 0.0.1.82
  421. 1.161-200在PARAMETER的STEP NAME保存不了,导致recipe调用不了的问题
  422. 2.folder下recipe展示打开状态
  423. 3.folder路径去掉
  424. 2024-6-3 version 0.0.1.81
  425. 1.弹出recipe description name的全键盘编辑内容保留输入不清除
  426. 2、Recipe Edit的Step滚动条,选择内容不刷新
  427. 2024-5-31 version 0.0.1.80
  428. 1.recipe操作功能bug调整
  429. 2024-5-30 version 0.0.1.79
  430. 1.recipe Step进度条调整
  431. 2.sibcn气路图同步调整
  432. 3.data history查看支持拉宽
  433. 2024-5-29 version 0.0.1.78
  434. 1.增加加热带的数据订阅
  435. 2.增加伺服的alarm,warning报警
  436. 2024-5-28 version 0.0.1.77
  437. 1.Wait Time累计到hold time上 并返回展示/recipe结束仍展示 H问题
  438. 2.button/Radiobutton/TreeView /ListBox控件去除IsMouseOver属性
  439. 2024-5-27 version 0.0.1.76
  440. 1.显示W的时候,把Hold Timme的描述替换为Wait Time。同时Wait Time的计时器开始计时
  441. 2.机械手的alarm clear,只有在出错之后才发
  442. 3.菜单按钮光标调整
  443. 4.mfc显示保留小数点后三位
  444. 5.气路图 minitor状态 不会刷新ai值问题
  445. 2024-5-24 version 0.0.1.75
  446. 1.aux/waferRobot指令页面/recipe combination 弹窗点击2次问题
  447. 2.status->Transfer Main 页面 机械手需要点击2次关闭问题
  448. 2024-5-22 version 0.0.1.74
  449. 1.光标定位问题
  450. 2.process log 导出空行显示问题
  451. 2024-5-21 version 0.0.1.73
  452. 1.Main界面点击正在执行recipe光标要定位在当前执行的step上面
  453. 2.recipe编辑那一块黄颜色去掉/管道和阀调整
  454. 3.recipe编辑htr123改为点一下就开启,点一下就关闭
  455. 4.recipe操作 定位问题
  456. 2024-5-20 version 0.0.1.72
  457. 1.mfc仅 recipe编辑的recipe模式下 setpoint > 0 时 颜色展示
  458. 2.机械手 home的时候 启用速度设定
  459. 3.aux 配置调整
  460. 4.aux 设定光标问题
  461. 5.气路图调整
  462. 6.ManualSet MFC 颜色改变问题
  463. 7.recipe+ HTR1/2/3设定问题;htr3初始值问题
  464. 8.新建一个recipe AUX什么也不设置,执行recipe显示set为0
  465. 9.更新HTR1,2,3的recipe设定
  466. 2024-5-14 version 0.0.1.71
  467. 1.更新AUX的显示
  468. 2024-5-13 version 0.0.1.70
  469. 1.ManualSetViewModel模块的mfc set后再生效
  470. 2.手动模式下 添加aux Set 数据
  471. 3.process时设定aux
  472. 4.无法删除recipe问题
  473. 5.foup颜色逻辑优化
  474. 6.Elk io 4.0更新
  475. 2024-5-11 version 0.0.1.69
  476. 1.菜单栏UI/sibcn气路图UI/MFC UI调整
  477. 2.预设MFC值 实时展示
  478. 2024-5-10 version 0.0.1.68
  479. 1.预约job 第二个job开始的时候 tubeStatus展示process
  480. 2.添加position的 页面+上传/下载指令
  481. 3.颜色统一及其bug修改
  482. 4.添加RSTP/SABS指令 及其操作页面
  483. 5.Alarm condition 修改样式增加高度
  484. 6.参数分类细化
  485. 7.非Idle状态的P/M1/M2 foup 展示为绿色
  486. 2024-5-6 version 0.0.1.67
  487. 1.newRecipe/RenameRecipe 名称重复问题
  488. 2.recipe edit 下边按钮逻辑调整
  489. 3.runToRun次数展示
  490. 4.waferRobot 参数下发功能
  491. 5.颜色统一
  492. 6.Sibcn 管道图调整
  493. 7.waferRobot功能键添加弹窗确认/只有wt 位于idle状态下 可以进行功能操作
  494. 8.添加RunToRun 功能及其配置
  495. 9.优化ct展示效果
  496. 10.下job的时候检查process和layout是否存在
  497. 11.Sibcn和ELK 的ilk调整
  498. 12.涉及到mfc和阀的页面及其功能调整
  499. 13.config隐藏Step Name/Interlock Name/Name Parameter
  500. 14.recipe执行,报 索引超出范围。必须为非负值并小于集合大小
  501. 15.stocker wafers 类型不一致不允许创建问题 none可以任意创建
  502. 16.第一个job没有结束,过程中可以继续使用这个M/P foup前提是要满足下面的layout。job结束之后,M/P不能继续用
  503. 17.下拉条换成按钮
  504. 2024-4-24 version 0.0.1.66
  505. 1.Boat添加
  506. 2.AlarmEventDefine 文件添加对应类型配置
  507. 3.sibcn 0.3/0.4 version 更新
  508. 4.DEPO/F2/HF/按键及其信号灯 更新
  509. 5.Recipe 执行时 名称及其时间错误问题
  510. 7.process history导出附加sub recipe信息
  511. 8.ELk 0.1/0.2 version io 更新 文件添加对应类型配置
  512. 9.ui界面去除 ct的 Blade1 选项
  513. 10.recipe 操作按钮bug调整
  514. 11.boat优化
  515. 2024-4-17 version 0.0.1.65
  516. 1.调整recipe 比较页面
  517. 2.recipe中alarm condition选择慢
  518. 3.recipe step选择了leak check,step时间比leak check时间长的时候的问题
  519. 4.SiBCN气路图更新
  520. 5.更新alarm recipe的保存
  521. 2024-4-15 version 0.0.1.64
  522. 1.AlarmCondition编辑页面Copy时候数据不刷新
  523. 2.去除Alarmtable和Maintain-》GasPanel页面
  524. 3.两个cj,前一个end call sub执行时间很长,导致第二个job的wafer charge之后,第一个job 结束了不执行第二个job的process
  525. 4.sub recipe执行显示问题
  526. 2024-4-11 version 0.0.1.63
  527. 1.更新leak check alarm
  528. 2.process在wait的时候,点了abort还显示wait状态的问题
  529. 3.两个cj,前面一个cj end时间长,导致wafer Discharge结束end步骤还没执行完时,第二个job开始失败的问题
  530. 4.M2不会开始job的问题
  531. 5.SiBCN io更新
  532. 6.更新ELK io
  533. 7.正在wait捡漏,手动跳步到end。还在执行上一步的wait
  534. 2024-4-10 version 0.0.1.62
  535. 1.process recipe的command选择了leak check之后,关闭再点开不会显示原来的选择
  536. 2.parameter->Leak Check 编辑更新
  537. 3.Status->Pressure Leak Check 展示
  538. 4.Status->Temp 禁止输入
  539. 5.SIBCN管道更新
  540. 6.更新leak check功能
  541. 2024-4-3 version 0.0.1.61
  542. 1.A,B Batch,B是空的layout,会先cooling再开始process的问题
  543. 2.alarm condition 切换table慢的问题
  544. 3.process log导出优化
  545. 2024-3-30 version 0.0.1.60
  546. 1.new process recipe 自动生成end
  547. 2.没有material 进行B batch standby,有 material 等A batch discharge完,并切CJOB结束才开始进行B batch
  548. 3.工艺完成,M先Discharge结束回到stocker,可以先unload
  549. 2024-3-29 version 0.0.1.59
  550. 1.alarm condition增加table拷贝功能
  551. 2.添加process list导出
  552. 3.Parameter->Parameter页面,只保留StepName和TempSetting,删除不需要的设定
  553. 4.主recipe执行完倒数第二步,就认为recipe执行结束,可以开始cooling,同时tube做最后一步的step
  554. 5.生成exe,原来的首选项是生成32位的,去除这个勾选
  555. 2024-3-27 version 0.0.1.58
  556. 1.Process log导出优化,增加最大行数的配置项
  557. 2.ELK气路图更新
  558. 2024-3-26 version 0.0.1.57
  559. 1.aux 序号>=68的要求不报警
  560. 2.NTP气路图更新
  561. 3.更新Dummy不需要discharge的配置
  562. 2024-3-25 version 0.0.1.56
  563. 1.interlock根据excel要求,满足时间才报警
  564. 2.更新alarm condition中的Interlock相关报警
  565. 3.更新ELK IO
  566. 4.jump step之后,还需要能够call sub
  567. 2024-3-23 version 0.0.1.55
  568. 1.alarm condition MFC不报警的问题
  569. 2024-3-22 version 0.0.1.54
  570. 1.recipe页面滚动条样式
  571. 2.recipe选择alarm condition打开慢
  572. 3.discharge时foup机械手取到foup会停一会才放
  573. 2024-3-21 version 0.0.1.53
  574. 1.机械手出错之后,home报is in Resetting state,can not do StartHome 的问题
  575. 2.AUX在空闲的时候也需要报警
  576. 3.小键盘更新
  577. 4.更新ELK IO
  578. 2024-3-20 version 0.0.1.52
  579. 1.广川机械手home,软件报超时的问题
  580. 2.小键盘弹出的问题
  581. 2024-3-19 version 0.0.1.51
  582. 1.ELK IO点位更新
  583. 2.manualSet Pressure设定值不展示问题
  584. 3.recipe append 不显示temp名称问题
  585. 4.unload monitor foup报错的问题
  586. 5.重复的alarm自动更新最新的时间
  587. 6.valve开关,interlock不满足只报警,不复位
  588. 7.status页面AV71状态绑定还原回原来的
  589. 8.return wafer,取5片的逻辑更新
  590. 9.recipe编辑gaspattern提示空对象,进行判断
  591. 10.小键盘去掉鼠标点击事件
  592. 2024-3-18 version 0.0.1.50
  593. 1.ProfileTemp无法设置负值,默认范围 Min="0" Max="700",目前修改为 Min="-999.9" Max="999.9"
  594. 2.ProfileTCCalib无法设置,属性缺了UpdateSourceTrigger=PropertyChanged
  595. 3.RecipeCommand step loop数量无法设置LoopCount绑定设置添加Mode=TwoWay, UpdateSourceTrigger=PropertyChanged
  596. 2024-3-16 version 0.0.1.49
  597. 1.jump 不了后面执行过的step,只能jump前面没有执行的step
  598. 2.更新小键盘样式
  599. 3.更新Process history中APC sensor1,sensor2名称,增加VG11,VG12导出
  600. 2024-3-15 version 0.0.1.48
  601. 1.软键盘输入优化
  602. 2.加热带table预设功能
  603. 3.AUX修改了不需要重启
  604. 4.AUX的F2 cln,HF cln软件重启之后,保持和关机前状态一致
  605. 5.temp CU和CL显示一样的问题
  606. 2024-3-14 version 0.0.1.47
  607. 1.Sub recipe为空问题
  608. 2.小键盘弹出问题
  609. 3.TempCorrection recipe模式下不可save问题
  610. 4.alarm 添加clearAll
  611. 5.heater 页面cu跟cl的actual值一样
  612. 2024-3-13 version 0.0.1.46
  613. 1.Process log导出问题
  614. 2.alarm condition jump step的问题
  615. 3.执行完recipe,APC的PID表选择信息能够保存
  616. 4.alarm condition中,AUX名称的显示要根据config
  617. 5.alarm condition调用reset,alarm,abort等之后,在status页面点recipe浏览弹窗报错
  618. 6.temp correct选择的文件不存在引起的报错
  619. 7.小键盘弹出问题
  620. 8.执行sub recipe报错问题
  621. 2024-3-12 version 0.0.1.45
  622. 1.增加aux和apc的alarm condition判断
  623. 2.AUX设定修改不了的问题
  624. 3.Recipe alarm select 回显问题
  625. 4.AUX AO问题
  626. 2024-3-11 version 0.0.1.44
  627. 1.clear alarm log导致RT断掉
  628. 2.AV71开阀逻辑不符
  629. 3.Config中,System-》recipe节点下,几个默认recipe的选择,改了之后只有重启软件才能更新
  630. 4.alarm condition增加MFC项
  631. 5.alarm condition,只有设定时间大于0才会监控
  632. 2024-3-8 version 0.0.1.43
  633. 1.auto transfer过程能下发manual指令
  634. 2.boat move 没有alarm提示----R轴旋转不需要检查;Start函数中的检查条件需要去除shutter open的检查
  635. 3.alarm condition的call abort,alarm recipe的问题
  636. 4.recipe比较速度慢的问题
  637. 2024-3-7 version 0.0.1.42
  638. 1.alarm condition的设定时间等不能保存的问题
  639. 2.alarm condition的执行问题
  640. 3.step name编辑,弹出键盘反应慢的问题
  641. 2024-3-6 version 0.0.1.41
  642. 1.Change Property问题调整
  643. 2.boat move 移动前先检查条件是否满足
  644. 3.ManualSet中Correct 设置了default 文件仍然弹窗提示问题
  645. 4.数字键盘/全键盘弹出问题
  646. 5.alarm condition设置时间为0不跳到end的问题
  647. 2024-3-6 version 0.0.1.40
  648. 1.recipe 新增最近十次修改历史查看功能
  649. 2.ManualSet中Correct 设置了default 文件仍然弹窗提示问题
  650. 3.Recipe Except 导出内容不正确问题
  651. 4.Boat Move alarm 问题调整
  652. 5.光标定位问题
  653. 6.alarm show不合理问题
  654. 7.增加alarm Condition的执行log
  655. 2024-3-5 version 0.0.1.39
  656. 1.Alarm Condition 文本框上下限问题;Error弹窗错误问题;
  657. 2.ManualSetViewModel页面Mode/Correct/PID的save按钮手动模式下可点击
  658. 3.Process log导出去除没有的点位:ValveAV62; BWR,DPR导出的名称更新
  659. 4.temp set功能改善
  660. 5.loadport类型不能支持配置
  661. 6.数据框点击有效范围较小
  662. 7.Gas 的MFC 数字键盘弹出不对问题
  663. 2024-3-3 version 0.0.1.38
  664. 1.增加APC mode ao的数据订阅
  665. 2024-3-2 version 0.0.1.37
  666. 1.更新heater的alarm condition
  667. 2024-3-1 version 0.0.1.36
  668. 1.手动情况下,AV71 open,APC可以设定角度,压力,slow vac等其他模式;AV71 close,则apc close
  669. 2.更新alarm condition中error command选择不能保存的问题
  670. 2024-2-29 version 0.0.1.35
  671. 1.更新alarm condition保存文件的拼写错误
  672. 2.APC PID的table name输入不了字母的问题
  673. 3.更新机械手RSTS的指令,wafer robot和foup robot不一样
  674. 2024-2-28 version 0.0.1.34
  675. 1.修改bug 17,34
  676. 2.更新机械手RSTS的指令
  677. 2024-2-27 version 0.0.1.33
  678. 1.增加D328.0---328.15的数据订阅
  679. 2.Bug序号33:manual操作av71阀关闭,对应press也要发full close mode
  680. 3.Bug序号28:有关pump的DP和MBP地址公用一个地址,DP打开发D1084.1,MBP也跟着DP显示亮。关DPD103.7,MBP跟着关(MBP不可控制)
  681. 4.气路图Monitor时,下面一排按键也不能点
  682. 5.调整APCPID /LeakCheckCondition/TempProfile 文本框MAX
  683. 6.manual set-》gas panel,pump等几个按键的设定问题
  684. 2024-2-23 version 0.0.1.32
  685. 1:问题50:编辑Temp PID table/Temp AutoPID table输入值大于10,就会导致输入不了
  686. 2.设定fims2为offline,fims1的online&offline按键都会变灰.
  687. 3.FIMS的online、offline重启软件保留上一次设定的状态
  688. 4.Maunal set-》gas panel页面设定问题
  689. 5.PM的状态机从原来的5ms---》改为1ms
  690. 2024-2-21 version 0.0.1.31
  691. 1.abort不了robot状态的问题
  692. 2.AV91联动DI点位 (仅限仿真)
  693. 3.第二个wait的job,start time改为显示“”------“”
  694. 2024-2-19 version 0.0.1.30
  695. 1.Valve 60,74,77的状态改为绑定D341.0,D341.1,D341.2
  696. 2.Job Recipe重命名文件丢失问题
  697. 3.WaitingMaterial最小值展示问题
  698. 4.Recipe编辑中temperature选择table按键切换失效问题
  699. 5.Recipe增加RHC的控制
  700. 2024-2-18 version 0.0.1.29
  701. 1.选empty layout时,在discharge的时候会卡住的问题
  702. 2.Cjob abort只能abort当前的job,无法对后面预约的job进行操作的问题
  703. 3.Parameter-》TempSetting增加AllZone的设定
  704. 2024-2-7 version 0.0.1.28
  705. 1.增加job预下功能
  706. 2.recipe中温度增加table设定
  707. 2024-2-6 version 0.0.1.27
  708. 1.PM状态机的时间间隔改为5ms,原来是50ms
  709. 2.写PLC的AO块的长度改为450,原来是100
  710. 2024-2-5 version 0.0.1.26
  711. 1.有关pump的DP和MBP地址公用一个地址,DP打开发D1084.1,MBP也跟着DP显示亮。关DPD103.7,MBP跟着关(MBP不可控制)
  712. 2.AUX三个table逻辑只写了一个,需要添加两个虚拟按键F2 cln HF cln
  713. 3.gas panel DPR按键不对的问题
  714. 4.Process Log导出项的名称更新,改为和显示一致
  715. 2024-2-4 version 0.0.1.25
  716. 1.优化recipe step的执行时间
  717. 2.仿真机械手报stop状态的问题
  718. 2024-2-3 version 0.0.1.24
  719. 1.AV60,74,77加上边框以示区别
  720. 2.Process Log页面导出功能修改
  721. 3.更新仿真
  722. 2024-2-2 version 0.0.1.23
  723. 1.Parameter-》step name编辑页面卡顿优化
  724. 2.manualSet点开Pattern之后,阀门和流量计的设定完成,切换为manualSet页面,点Set需要一次性写到RT
  725. 3.Carrier Robot的pick,place的超时按照config设定
  726. 4.更新仿真
  727. 2024-2-1 version 0.0.1.22
  728. 1.Process Log中的Heater working output改为Power output
  729. 2.优化Process Log-》Process Detail页面选择数据卡顿的问题
  730. 3.Recipe LOOP的count,设定几次就显示几次
  731. 4.Mini8的设定值,只有变化了才写
  732. 2024-1-30 version 0.0.1.21
  733. 1.更新Mini8 Ao的写
  734. 2024-1-29 version 0.0.1.20
  735. 1.Recipe编辑去除MFC51
  736. 2.切换别的recipe,也显示主recipe的问题
  737. 3.更新AO写的问题
  738. 4.更新process log导出问题
  739. 5.Boat elevator,只有D5660=D10110,才会发D1142.0的脉冲
  740. 6.recipe执行过程有alarm,只是抛出,不影响工艺
  741. 7.Maintain->Boat 页面去除elevator的servo on/off按键,删除rotate的速度设定和显示
  742. 2024-1-28 version 0.0.1.19
  743. 1.Process Log导出问题修改
  744. 2.PLC的AO、DO写优化:原来是每个点上位机修改了才写到PLC=》改为按照块,一直写AO、DO,不管上位机有没有修改(注意此项修改,需要PLC那边确认是否会影响)
  745. 3.优化recipe执行的时间:原来仿真200ms写完step所有参数=》优化后5ms内执行完step所有参数
  746. 4.优化RT线程数量,去除不必要的线程
  747. 5.GasPanel DPR和BWR按键显示问题
  748. 6.Boat增加from to创建和delete wafer
  749. 7.更新IO版本45,46
  750. 8.修改Modbus TCP通讯的报错
  751. 9.Mini8 AO、DO写优化:原来是每个点上位机修改了才写到Mini8=》改为按照块,一直写AO、DO,不管上位机有没有修改(注意此项修改,需要测试下设定温度和enable是否正常)
  752. 2024-1-26 version 0.0.1.18
  753. 1.机械手报警之后,通讯log不打的问题
  754. 2.Process Log的Pressure增加VG13,VG21,VG22
  755. 3.AV71阀门开关的warning提示问题
  756. 4.Process log导出数据异常的问题
  757. 5.阀门开关显示字体更新
  758. 6.机械手home的时候,不用发reset error
  759. 2024-1-24 version 0.0.1.17
  760. 1.aux保留小数调整
  761. 2.Log下拉框调整为Alarm
  762. 3.temperature correct file is empty不报warning
  763. 4.BWR,DPR,HTR1,HTR2按键功能bug修改
  764. 2024-1-23 version 0.0.1.16
  765. 1.广川机械手CSTP指令改为不发送,由机械手自行终止
  766. 2.广川CCLR改为INIT,1,1,N
  767. 3.广川出错之后查询错误码,显示出来
  768. 4.Top View的log下拉框只显示warning和alarm
  769. 5.data history和data charting页面打开慢的问题
  770. 2024-1-19 version 0.0.1.15
  771. 1.recipe读取速度继续优化
  772. 2.更新Process log
  773. 3.Jump step选择的是call sub的main step时,结束sub,直接执行main step
  774. 2024-1-17 version 0.0.1.14
  775. 1.Wait press,不把Slow vacuum rate清零
  776. 2.Manual Set页面,save按键点不了的问题
  777. 3.Status-》main,点击recipe,recipe打开慢的问题
  778. 4.recipe编辑页面,打开recipe慢的问题
  779. 5.recipe导出异常的问题
  780. 6.Jump step逻辑更新,可以跳到任意的main recipe的step;如果跳到的step有call sub,先执行sub,sub执行结束再执行住recipe step;
  781. 如果当前在执行sub recipe,jump到主recipe的step,可以结束当前的sub执行,跳到主recipe的step
  782. 2024-1-16 version 0.0.1.13
  783. 1.阀门av60/74/77只能查看,不能设定
  784. 2.Boat旋转速度更新
  785. 3.recipe有个别插入StepNo不正确
  786. 4.config为空的问题
  787. 5.aux页面卡顿优化
  788. 6.aux状态显示页面,通过点击status-》Main-》MFC之后弹出显示
  789. 7.更新压力单位根据config显示
  790. 8.recipe过程中,aux的设定值,不写到对应的ao
  791. 9.压力的单位,根据设定更新到1240.5,config为torr的时候,设定false;为pa的时候,设定true
  792. 10.更新加热带heater enable的显示
  793. 2024-1-15 version 0.0.1.12
  794. 1.sub recipe的table copy功能
  795. 2.aux 页面切换卡顿的问题
  796. 3.aux页面打开报错的问题
  797. 4.aux的温度设定,设定到对应的ao
  798. 5.删除不需要的gasline heater点位
  799. 6.更新boat旋转速度设定(按照40个点设定)
  800. 2024-1-14 version 0.0.1.11
  801. 1.更新charge,discharge流程
  802. 2.修改boat上wafer显示slot顺序不对的问题
  803. 2024-1-13 version 0.0.1.10
  804. 1.boat上下运动判断shutter为开和D340.15为true,否则报警
  805. 2.auto shutter运动的超时根据config设置,Boat-》AutoShutter-》MotionTimeout
  806. 3.boat运动的时候,先开shutter,在判断interlock
  807. 4.更新IO版本44
  808. 2024-1-12 version 0.0.1.9
  809. 1.去除temp pid和correct为空的报警
  810. 2.缩小阀门在recipe执行中占有的时间
  811. 3.recipe执行过程中shutter的开关超时改为30s
  812. 4.点击Transfer Main页面-》Init-》Abort(All Initialize那一行的),可以从AutoRunning-》Idle,从AutoIdle-》Idle
  813. 5.AUX更新压力等显示
  814. 6.IO monitor页面显示不全的问题
  815. 7.Recipe编辑过程中阀门状态不对的问题
  816. 8.更新APC wait press功能------注意,recipe要打开重新保存,如果有wait Press的步骤要重新设置
  817. 9.更新IO版本42,43
  818. 10.修改process过程中的APC设置异常
  819. 11.增加process过程中的wait信息log
  820. 12.boat的manual set功能
  821. 13.download apc config写D1240.8,脉冲信号3s
  822. 14.设定APC黄色区域,增加写D1240.10,脉冲信号3s
  823. 15.增加Status-》Pressure-》press页面Command Set和PID table的显示
  824. 16.manual set页面不读ai更新
  825. 2024-1-11 version 0.0.1.8
  826. 1.ManualSet页面更新,去除当前值显示
  827. 2.valve interlock去除
  828. 3.discharge,boat home的过程中,cool complete一直打的问题
  829. 4.当你 command选择 wait press down时,是给D13012这个地址发送的值,这个需要在step切换之后,假如command有切换,需要reset to 0
  830. 5.wait pressure up是大于等于,down是小于等于
  831. 6.MFC,温度的manual set界面设定值根据上次关机前的设定值
  832. 2024-1-10 version 0.0.1.7
  833. 1.Status-》Main页面,FIMS上的wafer数量显示为0
  834. 2.增加data log中加热带的enable信号
  835. 3.process在循环中点skip,结束循环有异常的问题
  836. 4.气路图不启动
  837. 5.去除boat rotate之后的stop
  838. 6.更新IO版本40,41
  839. 7.更新APC Config页面
  840. 8.recipe的rotate速度设定小数
  841. 2024-1-9 version 0.0.1.6
  842. 1.wait pressure up/down 关联D13012地址
  843. 2.LOOP和Jump改为根据step名称跳转
  844. 3.LOOP信息显示
  845. 4.Status-》Main页面,FIMS上的wafer数量显示为0
  846. 5.Recipe command中Loop和Jump step保存和显示删去原来的step序号
  847. 6.Gas页面,manual,monitor,recipe的切换显示功能
  848. 7.VG21点位不对问题
  849. 2024-1-8 version 0.0.1.5
  850. 1.更新return wafer的顺序
  851. 2.更新None stocker类型的使用
  852. 3.增加M1,M2的charge
  853. 4.discharging之后,carrier robot取了foup,停顿了20s才开始执行放动作
  854. 5.AV71关闭,则APC full close;AV71 open,则执行APC的command
  855. 6.更新boat Rotate速度设定
  856. 7.recipe的wait Limit后面加上(+),(-)
  857. 8.更新VAC1,2,3的IO及其显示
  858. 2024-1-6 version 0.0.1.4
  859. 1.process也有一个问题,就是做完工艺discharge的时候,会重复循环。
  860. 2.job ->load,unload,process选择stocker,数字的显示问题
  861. 3.加上temp correct table中flat zone的值
  862. 4.recipe重命名保存文件step清空问题
  863. 5.增加VAC1,2,3状态显示
  864. 6.温度界面显示更新,act值需要pv-profile值
  865. 7.更新了stocker none的设置
  866. 2024-1-5 version 0.0.1.3
  867. 1.更新foreline heater和gasline heater的数据显示
  868. 2.MFC设定问题
  869. 3.RecipeView页面初始化加载卡顿
  870. 2024-1-4 version 0.0.1.2
  871. 1.更新foreline heater和gasline heater的数据显示
  872. 2.mfc不能设置流量问题
  873. 2024-1-3 version 0.0.1.1
  874. 1.sub Recipe第一步选择,按钮可用状态修改
  875. 2.Stocker禁用和序号对应问题
  876. 3.Stocker灰色图片展示问题
  877. 4.FIMS cycle 测试的临时版本
  878. 2024-1-2 version 0.0.1.0
  879. 1.39,40版本IO更新
  880. 2.去除不需要的stocker 19,20,21的设定
  881. 3.Job->Load carrierID重复显示的问题
  882. 4.Proflile结果计算改为HeaterPV-CascadePV,只保留一个小数点
  883. 2023-12-30 version 0.0.0.99
  884. 1.profile页面Dev显示更新
  885. 2.profile页面Total Time,Preheat Time,Check Time显示更新
  886. 3.cj完成之后,wafer robot多次做home报waring的问题
  887. 4.Status-》main job显示信息更新
  888. 5.recipe剩余时间显示问题:remain time的倒计时有bug,2min9second流逝到2min0second后,又从2min59second开始计时
  889. 6.recipe中Profile选择问题更新(原来需要设定default才可以)
  890. 7.Load P时,选择第一个LP,第五个自动选上的问题
  891. 2023-12-29 version 0.0.0.98
  892. 1.不能Load M,ED,SD的问题
  893. 2.charge和discharge结束之后,wafer robot回到home位置
  894. 2023-12-28 version 0.0.0.97
  895. 1.更新温度的显示小数点位数
  896. 2.Temp PID的最大值限制更新为1000
  897. 3.step 时间设置秒带小数
  898. 4.heater导出数据精确到一位小数点
  899. 5.recipe description修改bug更新
  900. 6.return wafer时FIMS反复做load,unload修改
  901. 7.cooling的执行问题
  902. 8.recipe设定秒加上小数点
  903. 2023-12-27 version 0.0.0.96
  904. 1.return wafer时FIMS报wafer robot没缩回的interlock
  905. 2.sub recipe copy问题
  906. 3.气路图字体更新
  907. 4.recipe导出数据的顺序和绿色小框
  908. 5.recipe文件夹浏览页面卡顿的问题
  909. 6.recipe的OverWrite Copy and Prev. step overwrite功能有问题
  910. 7.Profile的Alarm limit设定小数
  911. 2023-12-26 version 0.0.0.95
  912. 1.CarrierID的自动读取
  913. 2.更新return wafer
  914. 3.autorunning,auto idle的情况,FIMS的load、unload不判断wafer机械手
  915. 4.增加FIMS的online offline
  916. 2023-12-25 version 0.0.0.94
  917. 1.增加LP3、4的CarrierID read
  918. 2.N2 Purge页面的手动操作阀门
  919. 3.Recipe中gas panel的阀门显示问题
  920. 4.recipe中apc pressure无法输入的问题
  921. 5.增加Mapping result的显示
  922. 6.增加Recipe执行Hold,Wait的显示
  923. 7.Recipe的MFC detail编辑页面,增加scale的显示
  924. 8.recipe(mfc/temp /press)各种PID Table设置值,软键盘弹出二十六键,不方便输入数字和标点符号
  925. 9.IO页面的滚动条增加
  926. 2023-12-24 version 0.0.0.93
  927. 1.Hold之后,显示hold住的那一步
  928. 2.增加MFC,Heter,APC,AUX的wait
  929. 3.recipe执行报temperature Profile file is empty
  930. 2023-12-23 version 0.0.0.92
  931. 1.更新heater和profile页面的显示
  932. 2.更新recipe的执行
  933. 2023-12-22 version 0.0.0.91
  934. 1.Status->Main显示调整
  935. 2.Recipe中去除MFC51,MFC57,AV54,AV56,AV57,AV58,AV59,AV63,AV64,AV65,AV66,AV67,AV68----注意,recipe需要打开重新save
  936. 3.gasPanel显示修复
  937. 4.temperature correct file is empty重复打印的问题
  938. 5.process recipe中增加aux的编辑
  939. 6.更新AUX的设定和显示(报警还没加)
  940. 2023-12-21 version 0.0.0.90
  941. 1.重做Temp页面
  942. 2.修复profile显示问题
  943. 3.gaspanel页面增加ManualMonitor控制
  944. 4.修改Apcpressure显示
  945. 5.修复SC重复注册问题
  946. 6.修改IO页面打开卡顿
  947. 7.更新heater的up、down rate下发和ramp的界面显示
  948. 8.增加recipe过程中的heater设定log,MFC设定log
  949. 9.增加AUX的设定界面
  950. 2023-12-19 version 0.0.0.89
  951. 1.更新auto profile执行逻辑
  952. 2.更新process recipe的导出功能
  953. 2023-12-18 version 0.0.0.88
  954. 1.更新Sub recipe的执行
  955. 2.更新IO
  956. 3.Unit按配置显示更新,Unit关联IO
  957. 4.MFC raming为零无法设置修复
  958. 5.禁用自动Logoff
  959. 6.pattern管路图更新
  960. 7.mainview页面弹窗改成二级页签
  961. 8.修复recipe无法delete问题
  962. 2023-12-17 version 0.0.0.87
  963. 1.除了process recipe,其他类型recipe去除Standby
  964. 2.增加recipe中Boat等待到位的功能,到位之后才执行下一步
  965. 3.更新Interlock的判断条件,原来是true,改为false
  966. 4.更新34,36版本IO
  967. 5.Manual set页面,heater状态值更新
  968. 6.增加MFC ramp time设定到PLC
  969. 7.Loop时,Next step显示不对的问题
  970. 8.更新Heater IO的名称
  971. 2023-12-14 version 0.0.0.86
  972. 1.更新recipe中command选择的显示
  973. 2.Gas Panel增加按键文字描述
  974. 3.更新profile功能
  975. 4.recipe循环过程中,点了abort,再次执行recipe,不循环的问题
  976. 5.更新33版本IO
  977. 2023-12-13 version 0.0.0.85
  978. 1.更新HTR1的gasline heater10
  979. 2.更新recipe Loop功能
  980. 3.更新不同类型recipe的command按键选项
  981. 2023-12-12 version 0.0.0.84
  982. 1.更新32版本IO
  983. 2.更新HTR1,HTR2按键逻辑
  984. 3.更新Recipe执行command中的jump功能
  985. 2023-12-10 version 0.0.0.83
  986. 1.更新recipe Hold逻辑,当前step执行完才hold
  987. 2.更新Jump step逻辑
  988. 3.recipe执行结束,增加选项可以不执行standby或者idle recipe
  989. 4.更新recipe执行中heater的up/down rate设定
  990. 2023-12-8 version 0.0.0.82
  991. 1.增加recipe的abort,skip,pause,release按键操作
  992. 2.去除阀门的一直报的warning
  993. 3.更新recipe abort
  994. 2023-12-7 version 0.0.0.81
  995. 1.修改GasPanel
  996. 2.修改阀门,管路,MFC,VGPart控件效果
  997. 3.增加Pump的AUCAGVBOTH选择
  998. 4.增加风机控制按键
  999. 2023-12-6 version 0.0.0.80
  1000. 1.更新recipe编辑保存的问题
  1001. 2.更新recipe执行
  1002. 3.增加boat手动功能
  1003. 4.gas背景更新 APC valve angel显示更改 阀门,MFC控件更新 Temp页面UPDownrate自由设置 manualsetsave确认 弹窗居中
  1004. 2023-12-4 version 0.0.0.79
  1005. 1.主页面apc显示更新
  1006. 2.APC弹出页面显示更新
  1007. 3.apc增加home按键
  1008. 4.更新Boat的home,上升下降反复动+旋转一直转
  1009. 2023-12-1 version 0.0.0.78
  1010. 1.Heater 手动设置界面更新
  1011. 2023-11-30 version 0.0.0.77
  1012. 1.APC 手动设置界面更新
  1013. 2.boat手动界面更新
  1014. 2023-11-28 version 0.0.0.76
  1015. 1.温度页面打开报错的问题
  1016. 2.更新APC相关的IO
  1017. 3.更新Boat cycle 测试
  1018. 4.更新Boat E Axis Home按键
  1019. 2023-11-21 version 0.0.0.75
  1020. 1.更新27、28版本IO
  1021. 2.修改不过141,142,147。问题146本来就是按照mapping结果来的
  1022. 3.更新alarm condition
  1023. 4.更新N2 Purge
  1024. 2023-11-16 version 0.0.0.74
  1025. 1.wafer robot 报not ready的问题
  1026. 2023-11-15 version 0.0.0.73
  1027. 1.修改bug 125
  1028. 2.仿真机械手报RPOS超时问题
  1029. 3.process recipe name的选择问题
  1030. 2023-11-14 version 0.0.0.72
  1031. 1.wafer robot cycle数量显示不对的问题
  1032. 2.修改bug 111,114,115,134
  1033. 3.process recipe step copy的bug
  1034. 2023-11-11 version 0.0.0.71
  1035. 1.更新IO
  1036. 2.更新wafer robot cycle模式
  1037. 2023-11-9 version 0.0.0.70
  1038. 1.更新IO
  1039. 2.更新Process Recipe选择SubRecipe,AbortRecipe时的显示
  1040. 3.更新di相关的alarm报警
  1041. 4.更新status点击Press的弹出页面(数据还未绑定)
  1042. 2023-11-7 version 0.0.0.69
  1043. 1.更新Interlock显示
  1044. 2.更新Valve Open Close Interlock
  1045. 3.更新SubRecipe,AlarmRecipe,AbortRecipe的编辑和选择
  1046. 4.更新Io,对DI信号改为true的时候触发报警
  1047. 5.Buffer的旋转到位增加di信号
  1048. 2023-11-2 version 0.0.0.68
  1049. 1.更新Automatic Valve interlock
  1050. 2023-11-1 version 0.0.0.67
  1051. 1.Not Install模块取放的报警
  1052. 2.更新首页Gas及其弹出页面的数据绑定
  1053. 3.Temperature Correction的编辑和保存
  1054. 4.Process Recipe能够选择Temperature Correction文件,再选择相应的表
  1055. 5.修改FOUP循环搬送的bug
  1056. 2023-10-31 version 0.0.0.66
  1057. 1.完善not install模块的取放foup报警
  1058. 2.修改设置温度报警
  1059. 3.更新1:N Carrier ID reader驱动
  1060. 2023-10-30 version 0.0.0.65
  1061. 1.修改bug 70,91,98,109,110,112,120
  1062. 2.Temperature PID的编辑和保存
  1063. 3.Process Recipe能够选择Temperature PID文件,再选择相应的表
  1064. 4.Process Recipe,Loader选择None的bug
  1065. 5.Load过程中执行报错的问题
  1066. 2023-10-25 version 0.0.0.64
  1067. 1.更新首页的UI配色
  1068. 2.增加首页heater的温度显示
  1069. 3.增加heater手动操作页面
  1070. 4.增加RF ID的读取和显示
  1071. 5.更新charge-》Discharge功能
  1072. 2023-10-20 version 0.0.0.63
  1073. 1.增加版本号显示
  1074. 2.Boat 上升下降的到达信号,改用di判断
  1075. 3.Process recipe-》Combination-》能够选择Sub Recipe和Alarm Recipe
  1076. 2023-10-18 version 0.0.0.62
  1077. 1.更新layout recipe boat wafer控件
  1078. 2.在setup recipe时需要在此table内选择step name
  1079. 2023-10-14 version 0.0.0.61
  1080. 1.增加Boat 测试
  1081. 2023-10-11 version 0.0.0.60
  1082. 1.增加DO修改的log
  1083. 2023-07-9 version 0.0.0.4
  1084. 1.机械手协议改为UDP
  1085. 2.增加LP3,Lp4
  1086. 3.更新机械手的报错机制
  1087. 2023-07-8 version 0.0.0.3
  1088. 1.CPU占用率高的问题
  1089. 2.Main页面切换切换到stocker(有些按键改好了)
  1090. 2023-06-24 version 0.0.0.2
  1091. 1.更新transfer job、auto transfer
  1092. 2023-03-01 version 0.0.0.1
  1093. 1.修改bug
  1094. 2023-03-01 version 0.0.0.65
  1095. 1.Alram、Sub、AbortRecipe增加Table功能