ELK/Furnace/FurnaceRT/Config/interlock.xml

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<Interlock xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xmlns:xsd="http://www.w3.org/2001/XMLSchema">

	<!--
	LT(less than)               小于
	LE(less than or equal to)   小于等于
	EQ(equal to)                等于
	NE(not equal to)            不等于
	GE(greater than or equal to)大于等于
	GT(greater than)            大于
	B(bool)
	-->
	<Action do="CHM.DO_ValveAV2" value="true">
		<Limit poll="CHM.VG11.Value" value="812LE" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_ValveAV3" value="true">
		<Limit poll="CHM.VG11.Value" value="812LE" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_ValveAV4" value="true">
		<Limit poll="CHM.VG11.Value" value="812LE" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_ValveAV5" value="true">
		<Limit poll="CHM.VG11.Value" value="812LE" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_ValveAV6" value="true">
		<Limit poll="CHM.VG11.Value" value="812LE" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_ValveAV7" value="true">
		<Limit poll="CHM.VG11.Value" value="812LE" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_ValveAV8" value="true">
		<Limit do="CHM.DO_ValveAV9" value="false" condition="and"/>
	</Action>
	
	<Action do="CHM.DO_T101PowerOn" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_T101TempStatus" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FurnacePowerOnButton" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MainFurnaceCellingTS306" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_HeaterRoomSWS11S12" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_T101PowerOff" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_T101TempStatus" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FurnacePowerOnButton" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MainFurnaceCellingTS306" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_HeaterRoomSWS11S12" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_GaslineHeaterPowerOn" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_GasLineHeaterPowerOnButton" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_ExhaustHeaterPowerOn" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_ExhaustHeaterPowerOnButton" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_FrontBodyPowerOn" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FrontbodyPowerOnButton" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_BlowerMotorPowerOn" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_BlowerMotorPowerOnButton" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_RHCTS305" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_FFUPowerOn" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FFUPowerOnButton" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_T102PowerOn" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_T102TempStatus" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_T102PowerOnButton" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_T103PowerOff" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_T103TempStatus" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_T103PowerOnButton" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_CapHeaterEnable" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_TS34RotationTempSW" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_TS30CapInsideTempSW" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_TS31CapOutsideTempSW" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_RFPowerOn" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_RFPowerOn" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_HPMValveOnOff" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_HCLGasLeak1stAlarm" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_HCLGasLeak2ndAlarm" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_NH3GasLeak1stAlarm" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_NH3GasLeak2ndAlarm" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_F2GasLeak1stAlarm" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_F2GasLeak2ndAlarm" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_GasLeakFault" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_GasBoxLowerDoorSW" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_GasBoxUpperDoorSW" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_GasBoxExhaust1stAlarmMS2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_GasBoxExhaust2ndAlarmMS2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_FOUPRobotEnable1" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FilterBox1DoorSwitch" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBLightCurtainFault" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBLightCurtainOSSD1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBLightCurtainOSSD2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBFrontDoorSwitch" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMS1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMS2" value="true" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_LightCurtainIdle" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBLightCurtainFault" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBLightCurtainOSSD1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBLightCurtainOSSD2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBFrontDoorSwitch" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_BufferMotorHardwareInterlockOk1" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FilterBox1DoorSwitch" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBFrontDoorSwitch" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_BufferMotorHardwareInterlockAlarm" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMS1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMS2" value="true" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_BufferMotorHardwareInterlockOk2" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FilterBox1DoorSwitch" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBFrontDoorSwitch" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_BufferMotorHardwareInterlockAlarm" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMS1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMS2" value="true" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_BoatLiftMotorHardwareInterlockOk1" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FilterBox1DoorSwitch" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBFrontDoorSwitch" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_BoatLiftMotorHardwareInterlockAlarm" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMS1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMS2" value="true" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_BoatLiftMotorHardwareInterlockOk2" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FilterBox1DoorSwitch" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBFrontDoorSwitch" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_BoatLiftMotorHardwareInterlockAlarm" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMS1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMS2" value="true" condition="and"/>
	</Action>
	<Action do="CHM.DO_WaferRobotEnable1" value="true">
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_OPPanelEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FilterBox1DoorSwitch" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBFrontDoorSwitch" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_FBEMO2" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMS1" value="true" condition="and"/>
		<Limit di="CHM.DI_MachineEMS2" value="true" condition="and"/>
	</Action>

</Interlock>