Triton160/Common/Core/RT/Event/EventEnum.cs

using System;
using System.Collections.Generic;
using System.Linq;
using System.Text;
using System.Runtime.Serialization;
using Aitex.Common.Util;

namespace Aitex.Core.RT.Event
{
    [DataContract]
    [Serializable]
    public enum EventEnum
    {
        /// <summary>
        /// {0}，已经超过{1}天，需要做PM
        /// Need PM before run recipe
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PMNeededInformation = 7,

        /// <summary>
        /// {0}，已经超过{1}天，需要做PM
        /// Need PM before run recipe
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PMNeededWarning = 8,

        /// <summary>
        /// 操控权限：{0}
        /// Only authorized account can execute operation and control command
        /// </summary>
        [EnumMember]
        OperationAuthorization = 9,

        /// <summary>
        /// '{0}' 退出系统。
        /// 用户退出系统。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        UserLoggedOff = 10,

        /// <summary>
        /// '{0}' 登录系统。
        /// 用户登录
        /// </summary>
        [EnumMember]
        UserLoggedIn = 11,

        /// <summary>
        /// 用户帐号'{0}'的内容被修改。
        /// 用户帐号改变
        /// </summary>
        [EnumMember]
        AccountChanged = 12,

        /// <summary>
        /// 用户账号'{0}'的密码被修改。
        /// 用户账号密码变更
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PasswordChanged = 13,

        /// <summary>
        /// 用户帐号'{0}'已被删除。
        /// 用户帐号删除
        /// </summary>
        [EnumMember]
        AccountDeleted = 14,

        /// <summary>
        /// 用户帐号'{0}'已被创建。
        /// 用户帐号创建
        /// </summary>
        [EnumMember]
        AccountCreated = 15,

        /// <summary>
        /// {0}托盘信息被创建：{0}有托盘。
        /// 
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ChamberRecordCreated = 16,

        /// <summary>
        /// {0}托盘信息被删除：{0}无托盘
        /// 腔体内托盘和托盘信息不一致：腔体内无托盘，但有托盘信息，托盘信息被删除。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ChamberRecordDeleted = 17,

        /// <summary>
        /// 机械臂找原位过程：{0}
        /// 抛出机械臂各步骤提示信息
        /// </summary>
        [EnumMember]
        HomingRobot = 18,
 

        /// <summary>
        /// 向{0}传盘操作开始。
        /// This event is posted right before putting a susceptor to a chamber.
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PuttingWaferToChamberBegins = 20,

        /// <summary>
        /// 从{0}取盘操作已成功完成。
        /// This event is posted right after the operation of picking a susceptor from  a chamber.
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PickingWaferFromChamberEnds = 21,

        /// <summary>
        /// 从{0}取盘操作开始。
        /// This event is posted right before  picking a suseceptor from some chamber,
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PickingWaferFromChamberBegins = 22,

        /// <summary>
        /// {0}模式下，序列"{1}"{2}循环结束。
        /// When the sequence cycle completes, it posts this informational event.
        /// </summary>
        [EnumMember]
        WaferCycleCompleted = 23,

        /// <summary>
        /// 传送腔机械臂开始寻找原位。
        /// When robot begins homing, it issues this informational event.
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotHomingBeins = 24,

        /// <summary>
        /// 压力伺服成功：设定压力为{0}帕，当前压力为{1}帕。
        /// When chamber pressure is servoed to the target pressure, this event will be thrown.
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PressureServoSucceeds = 25,

        /// <summary>
        /// 压力伺服终止。
        /// When chamber pressure servo stops, thie event will be thrown.
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PressureServoEnds = 26,

        /// <summary>
        /// 当前压力为{0}帕，开始伺服压力至{1}帕。
        /// When a chamber begins to servo chamber pressure to some value, this event will be thrown.
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PressureServoBegins = 27,

        /// <summary>
        /// 机械臂开始执行‘{0}’命令; R = {1}mm, Theta = {2}°, Z = {3}mm。
        /// When robot starts executing some movement command, this event will be logged.
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotExecutesCommand = 28,

        /// <summary>
        /// {0}初始压力为{1}帕，{2}分钟后压力为{3}帕，压差{4}小于容许值{5}帕。
        /// 当运行泄露检查服务程序时，如果泄露检查成功，发出此消息事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        LeakCheckSucceeded = 36,

        /// <summary>
        /// 机械臂成功执行命令‘{0}’; R = {1}mm, Theta = {2}°, Z = {3}mm。
        /// 当机械臂成功执行某一命令时，发出此消息事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotCommandExecuted = 37,

        /// <summary>
        /// 传送腔机械臂已归原位。
        /// 当传送腔机械臂已归原位时，发出此消息事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        TransferRobotHomed = 38,

        /// <summary>
        /// 装卸腔门已上锁。
        /// 当装卸腔门上锁时，发出此消息事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        LoadlockDoorLocked = 41,

        /// <summary>
        /// 装卸腔门已解锁。
        /// 当装卸腔门解锁时，发出此消息事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        LoadlockDoorUnlocked = 42,

        /// <summary>
        /// {0}闸板阀已关闭。
        /// 当某一腔的闸板阀关闭时，发出此消息事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SlitValveIsClosed = 43,

        /// <summary>
        /// {0}闸板阀已打开。
        /// 当某一腔的闸板阀打开时，发出此消息事件。{0}为该腔的标识符。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SlitValveIsOpened = 44,

        /// <summary>
        /// 托盘'{0}'已从{1}中删除。
        /// 当从一个腔中删除托盘时，发出该事件。{0}是托盘标识符，{1}是腔体名。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SusceptorDeletedFromChamber = 45,

        /// <summary>
        /// 在{0}中创建了托盘'{1}'。
        /// 当创建一托盘时，发出该事件。{0}是腔体名，{1}是托盘标识符。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SusceptorCreatedInChamber = 46,

        /// <summary>
        /// 在{0}中修改了托盘'{1}'。
        /// 当修改一托盘时，发出该事件。{0}是腔体名，{1}是托盘标识符。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SusceptorEditedInChamber = 47,

        /// <summary>
        /// 序列'{0}'开始执行。
        /// 当某一序列开始时，发出该信息事件。{0}是序列名。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SequenceIsStarted = 52,

        /// <summary>
        /// {0}
        /// 默认事件类型(通用)
        /// </summary>
        [EnumMember]
        DefaulEventValue = 55,

        /// <summary>
        /// {0}
        /// 默认事件类型(通用)
        /// </summary>
        [EnumMember]
        GeneralInfo = 1000,

        /// <summary>
        /// {0} 排气环已升至上位。
        /// 硬件DI-50触发时，发出该警告
        /// </summary>
        [EnumMember]
        CylinderAtTop = 1001,

        /// <summary>
        /// {0} 排气环已降至下位。
        /// 硬件DI-49触发时，发出该警告
        /// </summary>
        [EnumMember]
        CylinderAtBottom = 1002,

        /// <summary>
        /// 气缸警告：{0}。
        /// 气缸发生硬件错误，发出该警告
        /// </summary>
        [EnumMember]
        CylinderWarning = 1003,

        /// <summary>
        /// {0} 反应腔盖已全开。
        /// 硬件DI-74触发时，发出该警告
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorLidFullyOpen = 1004,

        /// <summary>
        /// {0} 已联机。
        /// 当某一腔联机时，发出该信息事件。{0}是传送腔、装卸腔或反应腔的名字。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ChamberIsPutOnline = 1014,

        /// <summary>
        /// {0} 菜单名称。
        ///  
        /// </summary>
        [EnumMember]
        AlarmedRunRecipe = 1019,

        /// <summary>
        /// {0} 工艺程序'{1}'开始运行。
        /// 当某一反应腔开始执行某菜单时，发出该信息事件。{0}是反应腔名，{1}是菜单名。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RecipeStart = 1020,

        /// <summary>
        /// {0} 服务程序'{1}'开始。
        /// When a service routine of a chamber starts, this informational event is issued.
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ServiceRoutineStarted = 1021,

        /// <summary>
        /// {0} 服务程序'{1}'结束。
        /// When service routine of a chamber stops, this informational event is issued.
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ServiceRoutineStopped = 1022,

        /// <summary>
        /// {0} 服务程序'{1}'被终止，原因：{2}。
        /// where {0} is the chamber name, while {1} is the service name. When service routine is aborted, this event will be posted.
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ServiceRoutineAborted = 1023,

        /// <summary>
        /// {0} 工艺程序被终止运行：{1}。
        /// 当用户手动终止正在运行的菜单时，发出该信息事件。{0}是反应腔，{1}是该反应腔中运行的菜单。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RecipeAborted = 1024,

        /// <summary>
        /// {0} 工艺程序'{1}'第{2}步开始：{3}。
        /// 当某一反应腔开始执行某菜单某步时，发出该信息事件。{0}是反应腔名，{1}是菜单名，{2}时步数，{3}当前步说明。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RecipeStepStart = 1025,

        /// <summary>
        /// {0} 工艺程序'{1}'第{2}步结束。
        /// 当某一反应腔完成执行某菜单第几步，发出该信息事件。{0}是反应腔名，{1}是菜单名，{2}时步数。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RecipeStepComplete = 1026,

        /// <summary>
        /// {0} 工艺程序'{1}'第{2}步暂停。
        /// 当某一反应腔执行某菜单过程中被暂停，发出该信息事件。{0}是反应腔名，{1}是菜单名，{2}当前执行第几步。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RecipePaused = 1027,

        /// <summary>
        /// {0} 工艺程序'{1}'第{2}步继续。
        /// 当某一反应腔执行某菜单第X步过程中取消暂停，继续执行菜单，发出该信息事件。{0}是反应腔名，{1}是菜单名，{2}当前执行第几步。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RecipeResumed = 1028,

        /// <summary>
        /// {0} 工艺程序'{1}'当前第{2}步跳到下一步。
        /// 当某一反应腔执行某菜单第X步过程中跳出当前步，执行下一步，发出该信息事件。{0}是反应腔名，{1}是菜单名，{2}当前执行第几步，{3}跳到第几步。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RecipeStepSkipped = 1029,

        /// <summary>
        /// {0} 运行工艺程序'{1}'第{2}步时更新工艺程序为'{3}'。
        /// 当某一反应腔执行某菜单第X步过程时更新了新的菜单程序，发出该信息事件。{0}是反应腔名，{1}是菜单名，{2}当前执行第几步，{3}新的工艺程序名。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RecipeUpdated = 1030,

        /// <summary>
        /// {0} 传盘准备：{1}。
        /// 当反应腔进行传盘准备时，用于显示腔体当前正在进行的动作。{0}反应腔名，{1}当前动作名。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PreTransferInfo = 1031,

        /// <summary>
        /// {0} 运行工艺程序准备：{1}。
        /// 反应腔菜单运行准备时，用于显示腔体当前正在进行的动作。{0}反应腔名，{1}当前动作名。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PreProcessInfo = 1032,

        /// <summary>
        /// {0} {1}：{2}。
        /// 用于显示在服务程序运行过程中的信息显示，{0}反应腔名，{1}服务程序名，{2}当前动作名。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ServiceRoutineInfo = 1033,

        /// <summary>
        /// {0} 工艺程序收尾过程：{1}。
        /// 当反应腔运行的工艺程序正常结束，或者用户运行abort工艺按钮后，自动跳转至post process阶段。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PostProcessInfo = 1034,

        /// <summary>
        /// {0} 反应腔温度>限定值1。
        /// 经过硬件（变送器）比较，实际值（对应热电偶）>警告设定值（对应变送器），DI-51触发，发出该警告。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorTempOverLimit1 = 1035,

        /// <summary>
        /// {0} 反应腔温度>限定值2。
        /// 经过硬件（变送器）比较，实际值（对应热电偶）>警告设定值（对应变送器），DI-52触发，发出该警告。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorTempOverLimit2 = 1036,

        /// <summary>
        /// {0} 压力回至大气压。
        /// 经过硬件（Baratron）比较，实际值（对应压力计@Baratron）>报警设定值（对应变送器@Baratron），DI-47触发，发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorPressureATM = 1037,

        /// <summary>
        /// {0} 工艺程序正常运行完毕，{1}。
        /// {0}反应腔名，{1}辅助信息。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ProcessSuccEnd = 1039,

        /// <summary>
        /// {0} {1}。
        /// 当收到用户界面命令，并成功执行时，发出该事件。{0}反应腔名，{1}命令解释。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        GuiCmdExecSucc = 1040,

        /// <summary>
        /// {0} 排气环运动轴到达{1}。
        /// 当Lid Motion触发上限位，下限位置sensor时发出该信息。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        LidLimitTrigged = 1050,

        /// <summary>
        /// {0} 闸板阀{1}。
        /// 当PM闸板阀打开或者关闭时发出该信息。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PmGtValveChanged = 1051,

        /// <summary>
        /// {0} {1}。
        /// 当发生软件互锁时，发出该警告信息。{0}反应腔名，{1}具体软件互锁原因。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SwInterlock = 1052,

        /// <summary>
        /// {0} 双O圈压力回复至ATM。
        /// 当反应腔双O圈压力回复至ATM时，发出该信息提示。{0}反应腔名。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorDORAtm = 1053,

        /// <summary>
        /// {0} 完成和TM工控机的系统时间同步：{1}。
        /// 当反应腔处于Idle状态，并且距离上一次和TM工控机的成功时间同步超过5小时，则再次开始时间同步一次。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        TimeSync = 1054,

        /// <summary>
        /// {0} 执行N2吹扫程序：{1}。
        /// 反应腔切换到N2吹扫服务时，发出该消息，用于提示用户当前正在执行的动作。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        N2PurgeInfo = 1055,

        /// <summary>
        /// {0} 传盘收尾：{1}。
        /// 当反应腔处于传盘收尾状态时发出的消息。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PostTransferInfo = 1056,

        /// <summary>
        /// [目标腔{2}] {0}内的托盘"{1}"，自动传盘优先级设为最高。
        /// 目标腔的第一个排队托盘改变时，发出此信息。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        FirstQueueingSusceptorChanged = 1057,

        /// <summary>
        /// {0} 增加维护任务：{1}。
        /// 当增加反应腔维护任务时发出该信息事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        AddScheduleMaintenanceTask = 1058,

        /// <summary>
        /// {0} 删除维护任务：{1}。
        /// 当删除反应腔维护任务时发出该信息事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RemoveScheduleMaintenanceTask = 1059,

        /// <summary>
        /// {0} 修改维护任务：{1}。
        /// 当修改反应腔维护任务时发出该信息事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ModifyScheduleMaintenanceTask = 1060,


        /// <summary>
        /// {0}马达运动轴到达{1}。
        /// 当马达触发上限位，下限位置sensor时发出该信息。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        MotorLimitTrigged = 1070,


        /// <summary>
        /// {0}马达运动轴警告，{1}。
        /// 当马达运动出错时，发出此警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        MotorAlarm = 1071,

        /// <summary>
        /// {0}马达停止运动。
        /// 马达停止运动
        /// </summary>
        [EnumMember]
        MotorStop = 1072,

        /// <summary>
        /// {0}马达停止运动出错，{1}。
        /// 当马达停止运动出错时，发出此警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        MotorStopAlarm = 1073,

        /// <summary>
        /// 传送腔氮气压力过低。
        /// 当传送腔氮气压力过低时，发出此警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        TmN2PressureLow = 2030,

        /// <summary>
        /// 压缩空气压力过低。
        /// 当压缩空气压力过低时，发出此警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        CdaPressureLow = 2032,

        /// <summary>
        /// 双密封圈泵吹扫压力过低。
        /// 当双密圈吹扫压力过低时，发出此警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        DorPurgePressureLow = 2033,

        /// <summary>
        /// TM冷却水流量过低。
        /// 当TM冷却水流量过低时，发出此警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        BufferWaterFlowLow = 2034,

        /// <summary>
        /// {0}电脑硬盘{1}分区可用空间为{2}GB，已小于{3}GB。
        /// 电脑硬盘可用空间过小。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        DiskFreeSpaceLack = 2035,

        /// <summary>
        /// {0}有托盘，但无托盘信息，请创建托盘信息。
        /// 装卸腔有托盘，无托盘信息
        /// </summary>
        [EnumMember]
        LoadlockSusceptorWithoutRecord = 2036,

        /// <summary>
        /// {0}运行中，不能创建/删除托盘
        /// 腔体在忙，不能创建/删除托盘
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ChamberBusy = 2037,

        /// <summary>
        /// {0}的压力未达ATM，不能传盘。
        /// 大气传盘前，各相关腔体压力必须在ATM状态下，否则不能进行大气传盘。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        FailureToXferDuetoNotInAtm = 2038,

        /// <summary>
        /// 定序器不能运行：{0}。
        /// 启动定序器的前提条件没有完全满足时，会抛出该事件
        /// </summary>
        [EnumMember]
        FailedToStartSequencer = 2039,

        /// <summary>
        /// {0}初始压力为{1}帕，{2}秒钟后压力为{3}帕，压差{4}大于容许值{5}帕。
        /// 当运行泄露检查服务程序时，如果压差大于容许值，则发出此警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        LeakCheckFailed = 2045,

        /// <summary>
        /// {0}在'{1}'状态下不能执行'{2}'命令
        /// 反应腔在当前状态下不能执行当前队列中的命令时发出该消息。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ServiceRoutineCmdRejected = 2046,

        /// <summary>
        /// 系统没有联机的反应腔，定序器停止运行。
        /// 当定序器在自动方式下运行、而系统中没有联机的反应腔时，发出此警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        NoReactorOnline = 2048,

        /// <summary>
        /// 用户 {0} 无操控权，请先获取操控权
        /// 只有拥有操控权的用户，才能进行操控
        /// </summary>
        [EnumMember]
        AccountWithoutAuthorization = 2052,

        /// <summary>
        /// {0}。
        /// 警告范围2000~3999，如果系统反馈的警告事件没有指定事件ID，或者ID编号范围有误，则使用当前默认的警告代码作为该事件的警告代码。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        DefaultWarning = 2053,

        /// <summary>
        /// {0} 工艺程序{1}重载失败：{2}。
        /// 当用户在工艺监控页面执行工艺程序Reload操作发生异常时，发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReloadRecipeFailed = 2054,

        /// <summary>
        /// {0} {1}：{2}。
        /// 用于显示在服务程序运行过程中的信息显示，{0}反应腔名，{1}服务程序名，{2}当前动作名。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ServiceRoutineWarning = 2055,

        /// <summary>
        /// {0} 氢气露点异常。
        /// 经过软件比较，当氢气的露点实际值大于警告设定值（系统参数）时，发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        H2DewpointAbnormal = 3003,

        /// <summary>
        /// {0} 氮气露点异常。
        /// 经过软件比较，当氮气露点的实际值大于警告设定值（系统参数）时，发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        N2DewpointAbnormal = 3004,

        /// <summary>
        /// {0} {1}加热带温度报警，当前实际温度为{2}℃。
        /// 当反应腔加热带温度偏离系统参数设定的允许范围时，发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        LineHeaterAbnormal = 3005,

        /// <summary>
        /// {0} 水浴槽{1}通讯错误。
        /// 与水浴槽的串行通信发生错误时，发出该警告事件（具体异常情况可以在RS485协议编写时配置）。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ThermoBathFail = 3006,

        /// <summary>
        /// {0} 主泵发出警告。
        /// 当反应腔主泵的警告信号被触发时，发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ProcessPumpWarning = 3007,

        /// <summary>
        /// {0} 尾气柜门未关闭。
        /// 当反应腔尾气柜门未关闭时，发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ExhaustCabinetDoorOpenWarning = 3008,

        /// <summary>
        /// {0} 在'{1}'状态下不能执行'{2}'命令
        /// 反应腔在当前状态下不能执行当前队列中的命令时发出该消息。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorCmdReject = 3009,

        /// <summary>
        /// {0} 气柜门打开。
        /// 当反应腔的气柜门打开时，发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        GasDoorOpen = 3010,

        /// <summary>
        /// {0} 警告：电源柜门打开。
        /// 当打开电源柜门时，发出该警告消息。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PSUDrOpen = 3011,

        /// <summary>
        /// {0} 加热带控制器通讯异常。
        /// 当PLC与加热带控制器之间的通讯发生异常时发出该消息。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        LineHeaterConnFail = 3012,

        /// <summary>
        /// {0} UPS运行在旁路模式（机台不处于UPS保护状态）。
        /// 当反应腔UPS处于ByPass模式时，发出该消息。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PmUpsByPass = 3013,

        /// <summary>
        /// {0} UPS电池电量低。
        /// 当反应腔电池电量不足的是否，发出该警告。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PmUpsBatteryLow = 3014,

        /// <summary>
        /// {0} 不处于UPS保护状态。
        /// 当反应腔不处于UPS保护状态时，发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PmUpsNotProtected = 3015,

        /// <summary>
        /// {0} 加热器控制程序警告：{1}。
        /// 当Smart PLC程序运行过程中发出报警代码，则发送该警告事件到界面显示。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SmartSendWarning = 3016,

        /// <summary>
        /// {0} 旋转机构转速跟随警告：{1}。
        /// 当旋转机构的转速软件规划值和实际转速值相差超过设定范围并维持一定时间的情况下，发出该警告。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SpindleToleranceWarning = 3017,

        /// <summary>
        /// {0} DeviceNet网络中的{1}节点报警：{2}。
        /// 当DeviceNet网络节点中的MacStatus异常时，发出该警告。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        DNetNodeMacStatusException = 3018,

        /// <summary>
        /// {0} 压力报警：当前值{1},连续{2}秒{3}{4}。
        ///  
        /// </summary>
        [EnumMember]
        Pressure_Sensor_Alarm = 3019,

        /// <summary>
        /// {0} 压力预警：当前值{1},连续{2}秒{3}{4}。
        ///  
        /// </summary>
        [EnumMember]
        Pressure_Sensor_Warning = 3020,

        /// <summary>
        ///{0} 流量报警：当前值{1},连续{2}秒{3}{4}。
        ///  
        /// </summary>
        [EnumMember]
        WT_Flow_Alarm = 3021,

        /// <summary>
        /// {0} 流量预警：当前值{1},连续{2}秒{3}{4}。
        ///  
        /// </summary>
        [EnumMember]
        WT_Flow_Warning = 3022,

        /// <summary>
        /// {0} 温度预警：当前值{1}℃,连续{2}秒{3}{4}℃。
        ///  
        /// </summary>
        [EnumMember]
        TC_Temp_Warning = 3023,

        /// <summary>
        /// {0} 温度报警：当前值{1}℃,连续{2}秒{3}{4}℃。
        ///  
        /// </summary>
        [EnumMember]
        TC_Temp_Alarm = 3024,

        /// <summary>
        /// {0} 水浴槽报警，设备运行停止。
        /// 当水浴槽停止工作时，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        BathCutOff = 3025,

        /// <summary>
        /// {0} 不可识别的工艺程序控制命令{1}。
        /// 当工艺程序运行引擎发现不可识别的工艺程序命令时，则发出该警告。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RecipeItemUnknow = 3026,

        /// <summary>
        /// {0} {1}。
        /// 当用户命令执行失败时发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        GuiCmdExecFailed = 3027,

        /// <summary>
        /// {0} 反应腔柜门打开。
        /// 当反应腔柜门打开时发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PmDorOpened = 3028,

        /// <summary>
        /// {0} 旋转轴参数错误，{1}。
        /// 当反应腔旋转轴的参数设定不正确时发出该警告。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SpindleParamIncorrect = 3029,

        /// <summary>
        /// {0} {1}误差警告：{2}。
        /// 当设备模块的设定量和实际反馈量的误差比较报警时发出该警告。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ToleranceWarning = 3030,

        /// <summary>
        /// {0} Smart测量服务程序通信中断。
        /// Smart温度采集高级语言程序和Flywheel程序之间的通信断开时发出该连接失败警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SmartServerHeartBeatFail = 3031,

        /// <summary>
        /// {0} {1}H2浓度警告，H2浓度{2}ppm。
        /// 当反应腔的3个H2检测传感器的4~20mA读值转换后超出H2浓度报警值，则发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        H2LeakDetected = 3032,

        /// <summary>
        /// {0} 水浴槽液位警告。
        /// 当水浴槽液位低时发出该警告。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        BathLevelWarning = 3033,

        /// <summary>
        /// {0} 数据库连接失败。
        /// 当控制程序与数据库连接断开时发出该事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        DbConnFailed = 3034,

        /// <summary>
        /// {0} 排气环轴同步警告，{1}。
        /// 当排气环的2个运动轴位置反馈值的差异大于系统设定参数值时，发出该警告。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ShutterPosSyncWarning = 3035,

        /// <summary>
        /// {0} 加热带控制器运行异常。
        /// 当加热带控制器的硬件DI点异常时，发出警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        LineHeaterNotRunning = 3036,

        /// <summary>
        /// {0} 主泵出口压力超压警告。
        /// 当反应腔的主真空泵出口压力超过警告设定值时，触发对应的硬件DI信号点，从而发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ProcessPumpOutletPresWarning = 3037,

        /// <summary>
        /// {0} {1}。
        /// 当安全PLC的安全逻辑将某DO设定值拦截下来的时候发出该警告信息。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SafePlcInterlock = 3038,

        /// <summary>
        /// {0} 阀门{1}{2}失败，原因{3}。
        /// 当阀门打开或关闭超时的时候发出该警告信息。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ValveOperationFail = 3039,

        /// <summary>
        /// {0} GMS_WT_Leak信号报警。
        /// 检测到气柜漏水传感器信号异常时发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        GMSWTLeak = 3041,

        /// <summary>
        /// {0} Reactor_WT_Leak信号报警。
        /// 检测到应腔柜内漏水传感器信号异常时发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorWTLeak = 3042,

        /// <summary>
        /// {0} PSU_WT_Leak信号报警。
        /// 检测到尾气柜漏水传感器信号异常时发出该警告事件
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ExhaustWTLeak = 3043,

        /// <summary>
        /// {0} PCW_WT_Leak信号报警。
        /// 检测到供电柜内漏水传感器信号异常时发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PCWWTLeak = 3044,

        /// <summary>
        /// {0} EtherCat网络警告：{1}。
        /// 检测到EtherCat网络存在警告时发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        EtherCatWarning = 3045,

        /// <summary>
        /// {0} EtherCat从站设备警告：{1}。
        /// 检测到EtherCat网络从站设备存在警告时发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        EtherCatSlaveDeviceWarning = 3046,

        /// <summary>
        /// {0} 直流电源柜实际温度{1}，超出温度警告设定值{2}。
        /// 经过软件比较，实际值温度读值高于警告设定值发出该警告。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PSUCabinetTempHighWarning = 3047,

        /// <summary>
        /// {0} 热交换机工艺冷却水温度异常
        /// 当热交换机工艺冷却水温度硬件DI信号点触发时，发出该警告。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        HX1_ProcessWaterTempAbnormalWarning = 3048,

        /// <summary>
        /// {0} 热交换机工艺冷却水液位异常
        /// 当热交换机工艺冷却水液位硬件DI信号点触发时，发出该警告。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        HX1_ProcessWaterLevelAbnormalWarning = 3049,

        /// <summary>
        /// {0} 尾气过滤器前后端压差警告。
        /// 经过软件比较，尾气过滤后端实际压力值与报警设定值（系统参数）差异过大时，发出该警告。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ExhaustFilterDifferentialPressureWarning = 3050,

        /// <summary>
        /// {0} 各加热区温度差异过大警告，最低温度{1}℃，最高温度{2}℃，加热区域的最大温差为{3}℃。
        /// 当各加热区（最高温度 - 最低温度）超过30度（可参数设定），发出该警告。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorTempDTWarning = 3051,

        /// <summary>
        /// {0} 直流电源{1}未就绪。
        /// 当直流电源没有准备就绪时，发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PSUiNotReady = 3052,

        /// <summary>
        /// {0} 维护任务到期警告：{1}。
        /// 当反应腔维护任务到期时，发出该警告。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ScheduleMaintanceTimeoutWarning = 3053,

        /// <summary>
        /// {0} {1}维护任务‘{2}’失败。
        /// 当反应腔维护任务操作失败时，发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ModifyScheduleMaintanceFailedWarning = 3054,



        /// <summary>
        /// {0} 真空泵发出警告。
        /// 当反应腔真空泵的警告信号被触发时，发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        TurboPumpWarning = 3055,

        /// <summary>
        /// {0} 真空泵停止运行。
        /// 当反应腔真空泵停止运行时发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        TurboPumpStop = 3056,


        /// <summary>
        /// 机械臂急停按钮被触发
        /// 机械臂EMO_Ready按钮被触发。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotEmoReadyAlarm = 4001,

        /// <summary>
        /// 系统EMO按钮被触发
        /// 系统EMO按钮被触发时，会触发该事件
        /// </summary>
        [EnumMember]
        EmoReadyAlarm = 4002,

        /// <summary>
        /// 传送腔和{0}的通信中断。
        /// 当TM和PMxx反应腔之间的通信中断时，由TM发出该报警消息。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PmDisconnected = 4003,

        /// <summary>
        /// 系统UPS动作报警。
        /// 外部电源停电等原因，会导致系统UPS进行供电。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        TmUpsAlm = 4010,

        /// <summary>
        /// 机械臂控制器出错。错误码：{0}，错误描述：{1}。
        /// 当机械臂控制器出错时，系统抛出此事件。通常，必须重启机械手控制器才能排除此错误。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotControllerError = 4048,

        /// <summary>
        /// {0} 信号报警
        /// 系统监测到此类信号，系统停止，且系统置错。必须排除该问题，系统才能运行，否则重置后还会继续报错。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SystemSignalMonitor = 4049,

        /// <summary>
        /// 传盘条件不具备：{0}。
        /// 在点击"开始"按钮后，预检各Chamber门、闸阀是否关闭、压力是否满足真空/Atm要求。若不具备，抛出事件，传盘不能进行
        /// </summary>
        [EnumMember]
        TransferPrepareFailed = 4050,

        /// <summary>
        /// {0}未检测到托盘，且无托盘记录，不能取出托盘
        /// 只有目标腔同时检测到托盘和托盘记录，才能取出托盘。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        WaferAbsentWithoutRecord = 4051,

        /// <summary>
        /// {0}检测到托盘，且有托盘记录，无法送入托盘。
        /// 只有目标腔无托盘且无托盘记录时，才能送入托盘。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        WaferPresentWithRecord = 4052,

        /// <summary>
        /// {0}未检测到托盘，但有托盘记录，无法{1}托盘。
        /// 只有托盘和托盘记录一致时，序列才能正常运行。作为起始腔时，必须有托盘和托盘记录。作为目标腔时，必须无托盘且无托盘记录。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        WaferAbsentWithRecord = 4053,

        /// <summary>
        /// 向{0}传盘操作失败。
        /// 因某种原因，传送腔向某腔体传盘失败。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PuttingWaferToChamberFails = 4054,

        /// <summary>
        /// 从{0}取盘操作失败。
        /// 因某种原因，传送腔从某腔体取盘失败。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PickingWaferFromChamberFails = 4055,

        /// <summary>
        /// {0}检测到托盘，但无托盘记录，无法{1}托盘。
        /// 只有托盘和托盘记录一致时，序列才能正常运行。作为起始腔时，必须有托盘和托盘记录。作为目标腔时，必须无托盘且无托盘记录。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        WaferPresentWithoutRecord = 4056,

        /// <summary>
        /// {0}未检测到托盘，但有托盘记录。
        /// 腔体内未检测到托盘，但有托盘信息。托盘和托盘信息不一致。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        WaferNotPresentWithRecord = 4057,

        /// <summary>
        /// {0}检测到托盘，但无相应的托盘记录。
        /// 腔体内检测到托盘，但没有创建托盘信息。托盘和托盘信息要不一致。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        WaferPresenceWithoutRecord = 4058,

        /// <summary>
        /// 定序器异常终止：{0}。
        /// 定序器运行时，因某种原因，导致其异常终止。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SequencerAbnormallyStopped = 4059,

        /// <summary>
        /// 机械臂不能进入{0}。
        /// 机械臂控制器没有发出允许机械臂进入的信号。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotCannotEnter = 4060,

        /// <summary>
        /// 送盘后机械臂上检测到托盘。
        /// 在送盘后机械臂上检测到托盘时，发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        WaferDetectedAfterSend = 4061,

        /// <summary>
        /// 送盘前机械臂上未检测到托盘。
        /// 在送盘前机械臂上未检测到托盘时，发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        WaferNotDetectedBeforeSend = 4062,

        /// <summary>
        /// 取盘后机械臂上未检测到托盘。
        /// 在取盘后机械臂上未检测到托盘时，发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        WaferNotDetectedAfterPick = 4063,

        /// <summary>
        /// 取盘前机械臂上检测到托盘。
        /// 在取盘前机械臂上检测到托盘时，发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        WaferDetectedBeforePick = 4064,

        /// <summary>
        /// 机械臂执行命令‘{0}’失败。
        /// 当机械臂执行某一命令失败时，发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotCommandFailed = 4065,

        /// <summary>
        /// 传送腔机械臂回归原位操作失败。
        /// 当传送腔机械臂回归原位操作失败时，发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotHomingFailed = 4066,

        /// <summary>
        /// 系统尾气泄漏。
        /// 当系统尾气泄漏时，发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ScrubberFail = 4068,

        /// <summary>
        /// 系统检测到地震。
        /// 当系统检测到地震时，发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        EarthquakeDetected = 4069,

        /// <summary>
        /// 系统硅烷泄漏。
        /// 当系统硅烷泄漏时，发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SilaneLeak = 4070,

        /// <summary>
        /// 系统氨气泄漏。
        /// 当系统氨气泄漏时，发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        Nh3Leak = 4071,

        /// <summary>
        /// 系统氢气泄漏。
        /// 当系统氢气泄漏时，发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        H2Leak = 4072,

        /// <summary>
        /// 发生火警。
        /// 当发生火警时，发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        FireDetected = 4073,

        /// <summary>
        /// {0}双密圈压力过高。
        /// 当某一反应腔双密圈压力过高时，发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        DorPressureHigh = 4074,

        /// <summary>
        /// 缓冲管压力过高。
        /// 当缓冲管压力过高时，发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        TubePressureHigh = 4075,

        /// <summary>
        /// 未能在{0}秒内关闭装卸腔门。
        /// 当关闭装卸腔门时，若装卸腔门在指定时间内未关闭，则发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        FailedToCloseLoadlockDoor = 4076,

        /// <summary>
        /// 未能在{0}秒内打开装卸腔门。
        /// 当开启装卸腔门时，若在指定时间内腔门未开，则发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        FailedToOpenLoadlockDoor = 4077,

        /// <summary>
        /// 系统发生死锁：请手动将托盘取出。
        /// 当系统中塞满了托盘，定序器无法移动任何一个托盘时，发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SequencerIsDeadlocked = 4079,

        /// <summary>
        /// 机械臂未完成HOMING操作。
        /// 当机械臂未完成HOMING操作、而试图对机械臂进行其他操作时，发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotIsNotHomed = 4080,

        /// <summary>
        /// 机械臂伺服未打开。
        /// 当机械臂伺服未打开、而试图对机械臂进行操作时，发出此错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotServoNotOn = 4081,

        /// <summary>
        /// TCP通讯出错：{0}。
        /// 检查电脑IP是否连通。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PcSocketError = 4082,

        /// <summary>
        /// 压力伺服失败：经过{0}分钟后，腔体压力为{1}帕，未达设定压力{2}帕。
        /// 传送腔压力伺服未能在规定时间内，伺服到规定压力。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PressureServoFails = 4083,

        /// <summary>
        /// 传送腔主泵未打开。
        /// 当运行传送腔或装卸腔服务程序时，如果传送腔真空泵没有运行，则抛出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        TmPumpNotRun = 4084,

        /// <summary>
        /// {0}闸板阀未关闭。
        /// 当反应腔闸板阀未关闭时，将抛出该报警事件，同时定序器停止工作。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SlitValveNotClosed = 4085,

        /// <summary>
        /// 打开{0}闸板阀失败：{1}。
        /// 传送腔打开闸板阀失败时发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        FailureToOpenSlitValve = 4086,

        /// <summary>
        /// 关闭{0}闸板阀失败: {1}。
        /// 传送腔关闭闸板阀失败时发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        FailureToCloseSlitValve = 4087,

        /// <summary>
        /// 报警事件:{0}。
        /// 警告范围4000~4000+，如果系统反馈的警告事件没有指定事件ID，或者ID编号范围有误，则使用当前默认的报警代码作为该事件的警告代码。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        DefaultAlarm = 4093,

        /// <summary>
        /// {0} 腔柜风管内外压差不足。
        /// 检测到柜风管内外压差不足硬件DI点报警，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorCabinetVentilationLowAlarm = 5001,

        /// <summary>
        /// {0} 热电偶报警，温度超温。
        /// 检测到热电偶超温硬件DI点报警，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorOverTemp = 5002,

        /// <summary>
        /// {0} 压力计报警，腔体压力过高。
        /// 检测到腔体压力过高硬件DI点报警，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorOverPressure = 5003,

        /// <summary>
        /// {0} 腔盖未关闭。
        /// 检测到反应腔盖没有关闭时，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorLidNotClosed = 5004,

        /// <summary>
        /// {0} 双O圈密封性报警。
        /// 经过硬件（Baratron）比较，实际值和报警设定值差异过大时，触发DI硬件输入点报警，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorDORAbnormal = 5005,

        /// <summary>
        /// {0} 气柜风管内外压差不足。
        /// 检测到气柜风管内外压差不足的DI硬件输入点报警，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        GasCabinetVentilationLowAlarm = 5006,

        /// <summary>
        /// {0} 气柜烟雾监测异常。
        /// 检测到气柜烟雾报警传感器报警，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        GasCabinetSmokeDetected = 5007,

        /// <summary>
        /// {0} 工艺氮气供应压力不足。
        /// 检测到工艺氮气供应压力DI硬件输入点报警，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ProcessN2PressureLow = 5008,

        /// <summary>
        /// {0} 工艺氢气供应压力不足。
        /// 检测到工艺氢气供应压力DI硬件输入点报警，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ProcessH2PressureLow = 5009,

        /// <summary>
        /// {0} 工艺氨气供应压力不足。
        /// 检测到工艺氨气供应压力DI硬件输入点报警，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ProcessNH3PressureLow = 5010,

        /// <summary>
        /// {0} 工艺硅烷供应压力不足。
        /// 检测到工艺硅烷供应压力DI硬件输入点报警，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ProcessSiH4PressureLow = 5011,

        /// <summary>
        /// {0} 动力氮气供应压力不足。
        /// 检测到动力氮气供应压力DI硬件输入点报警，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PneumaticPressureLow = 5012,

        /// <summary>
        /// {0} 直流电源柜实际温度{1}，超出温度报警设定值{2}。
        /// 经过软件比较，实际值温度读值和报警设定值（系统参数）差异过大时，发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PSUCabinetTempHighAlarm = 5013,

        /// <summary>
        /// {0} 尾气柜风管内外压差不足
        /// 检测到尾气柜风管内外压差不足DI硬件输入点报警，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ExhaustCabinetVentilationLowAlarm = 5014,

        /// <summary>
        /// {0} 主泵出口压力超压报警。
        /// 当主真空泵出口压力超过硬件设定值后，对应的硬件DI信号点变为0，触发报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ProcessPumpOutletOverPressure = 5016,

        /// <summary>
        /// {0} 热交换机工艺冷却水流量异常
        /// 当热交换机工艺冷却水流量硬件DI信号点触发时，发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        HX1_ProcessWaterFlowAbnormal = 5017,

        /// <summary>
        /// {0} 热交换机工艺冷却水温度异常
        /// 当热交换机工艺冷却水温度硬件DI信号点触发时，发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        HX1_ProcessWaterTempAbnormal = 5018,

        /// <summary>
        /// {0} 热交换机工艺冷却水液位异常
        /// 当热交换机工艺冷却水液位硬件DI信号点触发时，发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        HX1_ProcessWaterLevelAbnormal = 5019,

        /// <summary>
        /// {0} 蝶阀工作异常。
        /// 当蝶阀工作状态异常时，发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ThrottleValveAbnormal = 5020,

        /// <summary>
        /// {0} 尾气过滤器前后端压差异常。
        /// 经过软件比较，尾气过滤后端实际压力值与报警设定值（系统参数）差异过大时，发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ExhaustFilterDifferentialPressureAbnormal = 5021,

        /// <summary>
        /// {0} 反应腔体冷却水流量不足。
        /// 当反应腔体冷却水流量不足的硬件DI信号点被触发时，发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorWaterFlowLow = 5022,

        /// <summary>
        /// {0} 腔体冷却水回水温度过高。
        /// 当反应腔体冷却水回水温度过高的硬件DI信号点被触发时，发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorWaterTempHighAlarm = 5023,

        /// <summary>
        /// {0} 工艺程序执行第{1}步异常：{2}。
        /// 当反应腔执行菜单程序过程中发生菜单解释异常，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RecipeProcessException = 5024,

        /// <summary>
        /// {0} 不能运行工艺程序：{1}。
        /// 反应腔准备运行工艺菜单运行出错时，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PrepareProcessErr = 5025,

        /// <summary>
        /// {0} 传盘出错：{1}。
        /// 反应腔准备传盘过程超时的情况下，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PrepareTransferTimeout = 5026,

        /// <summary>
        /// {0} PLC运行失败，请检查PLC运行情况。
        /// PLC运行时需不断向C#程序发送心跳包消息，如果消息发送超时，则向GUI发送该错误消息。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PlcHeartBeatFail = 5027,

        /// <summary>
        /// {0} 压力设定值和实际值差值过大报警。
        /// 当蝶阀设定压力值和实际读值差异超过系统设定值并维持一定时间时，触发报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        DPReactorOverLimit = 5028,

        /// <summary>
        /// {0} 各加热区温度差异过大报警，最低温度{1}℃，最高温度{2}℃，加热区域的最大温差为{3}℃。
        /// 当各加热区（最高温度 - 最低温度）超过50度（可参数设定），发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorTempDTAlarm = 5029,

        /// <summary>
        /// {0} 供电异常，UPS动作保护。
        /// 当反应腔UPS电源发生动作时，发出该警告。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PmUpsPowrInFail = 5030,

        /// <summary>
        /// {0} 工艺程序收尾处理错误：{1}。
        /// 当反应腔执行菜单完毕后，进行降温等后续处理过程中发生错误。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PostProcessErr = 5031,

        /// <summary>
        /// {0} 读取工艺程序'{1}'发生错误。
        /// 当读取解析recipe file 时发生异常发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReadRecipeFail = 5032,

        /// <summary>
        /// {0} 加热控制程序出错：{1}。
        /// 当Smart温控PLC程序的错误代码不为0时，触发生成对应的报警代码及报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SmartSendAlarm = 5033,

        /// <summary>
        /// {0} EtherCat网络出错：{1}。
        /// 检测到EtherCat网络存在错误时发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        EtherCatFail = 5034,

        /// <summary>
        /// {0} 加热器控制程序通讯错误。
        /// 当加热器控制程序通讯中断时，并且菜单运行条件中包含加热器状态检查时，则发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SmartDisconnectAlarm = 5035,

        /// <summary>
        /// {0} 主泵停止运行。
        /// 当反应腔主泵停止运行时发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ProcessPumpStop = 5036,

        /// <summary>
        /// {0} 代码运行异常，{1}。
        /// 当控制程序运行检测到异常时，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        CSharpException = 5037,

        /// <summary>
        /// {0} 工艺程序'{1}'运行出错。
        /// 工艺程序运行过程中发生异常，工艺程序出错终止，并触发该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ProcessError = 5038,

        /// <summary>
        /// {0} 工艺运行因软件互锁而终止：{1}。
        /// DO-500为软件互锁给出的菜单继续运行的控制信号，如果该信号被强制为0，则工艺程序执行会被停止。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RecipeAbortedByInterlock = 5039,

        /// <summary>
        /// {0} H2气体泄露报警。
        /// 当反应腔发生氢气泄漏时发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorH2Leak = 5040,

        /// <summary>
        /// {0} NH3气体泄露报警。
        /// 当反应腔发生氨气泄漏时发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorNH3Leak = 5041,

        /// <summary>
        /// {0} SiH4气体泄露报警。
        /// 当反应腔发生硅烷气体泄漏时发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorSiH4Leak = 5042,

        /// <summary>
        /// {0} 尾气处理报警。
        /// 当反应腔的Scrubber尾气处理DI硬件信号点异常时，发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ReactorScrubberFail = 5043,

        /// <summary>
        /// {0} ProcessStop按钮被触发。
        /// 当反应腔的Process Stop按钮被触发时发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ProcessStopTrigged = 5045,

        /// <summary>
        /// {0} 软件互锁定义文件错误：{1}。
        /// 当控制程序读取某腔体的软件互锁定义文件失败时发出该报警信息。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        InterlockFileBad = 5046,

        /// <summary>
        /// {0} 主接触器断开报警。
        /// 当反应腔主接触器断开时发出该报警。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PmPowerContactAlarm = 5047,

        /// <summary>
        /// {0} 石墨盘存档文件损坏，请检查腔内石墨盘状态并重建石墨盘数据。
        /// 反应腔控制程序启动后，从磁盘读取上次关机时记录的石墨盘数据发生错误时，发出该错误事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PmSusceptorDataCorrupted = 5052,

        /// <summary>
        /// {0} 安全逻辑运行异常：{1}。
        /// 当安全逻辑运行异常时，发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SafeLogicAbnormal = 5053,

        /// <summary>
        /// {0} 和PLC之间的I/O数据同步出错。
        /// 当反应腔控制程序与PLC程序之间进行I/O数据同步出错时发出该事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PmIoUpdateErr = 5054,

        /// <summary>
        /// {0} 旋转轴出错，{1}。
        /// 当反应腔出错时发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        SpindleAlarm = 5055,

        /// <summary>
        /// {0} 腔体压力上升过快报警。
        /// 当腔体压力上升速度超过系统设置参数值，发出报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PmPresRiseTooFast = 5056,

        /// <summary>
        /// {0} DeviceNet网络中从站设备通讯异常。
        /// 当某反应腔的DeviceNet网络中某子设备发生问题时，发出该报警信息。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        DeviceNetFail = 5057,

        /// <summary>
        /// {0} 传盘收尾出错：{1}。
        /// 当反应腔传盘收尾出错时，触发发出该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        PostTransferErr = 5058,

        /// <summary>
        /// {0} 旋转机构出错。
        /// 当旋转轴驱动器的硬件DI信号点异常时，触发该报警事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RotationFail = 5059,

        /// <summary>
        /// {0} EtherCat从站设备报警：{1}。
        /// 检测到EtherCat网络从站设备存在报警时发出该警告事件。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        EtherCatSlaveDeviceAlarm = 5060,

        /// <summary>
        /// 伺服包N报警代码N,错误码{0}
        /// 伺服驱动器N有错误报警
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotServoPackAlarm = 5061,

        /// <summary>
        /// 控制柜急停未解除,错误码{0}
        /// 控制柜急停按钮未旋起
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotControlCabinetStopBtnNoCancelled = 5062,

        /// <summary>
        /// 示教盒急停未解除,错误码{0}
        /// 示教盒急停按钮未旋起
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotTeachingNotClosed = 5063,

        /// <summary>
        /// 位控板1：+错误字内容,错误码{0}
        /// 控制柜内部错误
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotControlCabinetError1 = 5064,

        /// <summary>
        /// 位控板1：+错误字内容,错误码{0}
        /// 控制柜内部错误
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotControlCabinetError2 = 5065,

        /// <summary>
        /// 位控板1：+错误字内容,错误码{0}
        /// 控制柜内部错误
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotControlCabinetError3 = 5066,

        /// <summary>
        /// 位控板N返回数据超时,错误码{0}
        /// 控制柜内部错误
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotPCBNDataTimeout = 5067,

        /// <summary>
        /// 位控板1：+错误字内容,错误码{0}
        /// 控制柜内部错误
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotControlCabinetError4 = 5068,

        /// <summary>
        /// 系统发生碰撞,错误码{0}
        /// 机械手发生碰撞
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotSysOfCollision = 5069,

        /// <summary>
        /// 旋转信号不允许,错误码{0}
        /// 传输腔传感器未遮盖或用户IO故障
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotRotationSignalNotAllowed = 5070,

        /// <summary>
        /// 伸缩信号不允许,错误码{0}
        /// 阀门未打开（传输腔通往其他腔室)或用户IO故障
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotTelescopicSignalNotAllowed = 5071,

        /// <summary>
        /// 请发送RESET启动,错误码{0}
        /// 产生报警后停止运行，系统为停止状态
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotNeedResetAfterAlarm = 5072,

        /// <summary>
        /// 请切换成执行模式,错误码{0}
        /// 当前为示教模式，无法接收串口指令
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotInTeach = 5073,

        /// <summary>
        /// 温度过高，伸展不允许,错误码{0}
        /// 腔室温度没有降下来
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotHighTempStetchNotAllowed = 5074,

        /// <summary>
        /// 输出端口NO.不存在,错误码{0}
        /// 输出端口号越界或没有配置
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotOutPutPortNotExist = 5075,

        /// <summary>
        /// 关节N位置超界,错误码{0}
        /// 关节值超软限位
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotJointNOutOfPositionLimit = 5076,

        /// <summary>
        /// 关节N速度超界,错误码{0}
        /// 关节运动速度超界
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotJointNOutOfSpeedLimit = 5077,

        /// <summary>
        /// GOTO工位号超范围,错误码{0}
        /// GOTO指令工位号超出指定范围
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotGotoSlotOutOfRange = 5078,

        /// <summary>
        /// RQ STN工位号超范围,错误码{0}
        /// RQ STN指令工位号超出指定范围
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotRqSinSlotOutOfRange = 5079,

        /// <summary>
        /// RQ命令不支持的参数,错误码{0}
        /// RQ指令某字段输入错误
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotRqParamNotSupported = 5080,

        /// <summary>
        /// STORE STN指令工位号大于20,错误码{0}
        /// STORE STN指令工位号超出指定范围
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotStoreSinSlotMoreThan20 = 5081,

        /// <summary>
        /// STORE STN命令手臂参数错误,错误码{0}
        /// 机械手无法识别用户所发的手臂指令
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotStoreSinParamError = 5082,

        /// <summary>
        /// STORE指令输入不完整,错误码{0}
        /// STORE 指令字段名字错误
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotStoreCmdIncomplete = 5083,

        /// <summary>
        /// 指令拼写错误,错误码{0}
        /// 发出的指令拼写错误
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotCmdSpellingError = 5084,

        /// <summary>
        /// HOME参数未指定,错误码{0}
        /// HOME指令未指定参数
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotHomeParamNotSpecified = 5085,

        /// <summary>
        /// GOTO指令R轴参数未指定,错误码{0}
        /// GOTO指令R字段后未指定具体参数或错误参数
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotGotoRNotSpecified = 5086,

        /// <summary>
        /// GOTO指令Z轴参数未指定,错误码{0}
        /// GOTO指令Z字段后未指定具体参数或错误参数
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotGotoZNotSpecified = 5087,

        /// <summary>
        /// ARM参数错误,错误码{0}
        /// GOTO指令/MOVE指令/PICK指令/PLACE指令中ARM字段后未指定具体手臂
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotArmParamError = 5088,

        /// <summary>
        /// GOTO指令未指定参数,错误码{0}
        /// GOTO指令中字段名字错误
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotGotoFiledNameError = 5089,

        /// <summary>
        /// MOVE指令未指定模式或轴,错误码{0}
        /// MOVE指令中未指定具体轴或运动模式
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotMoveModeNotSpecified = 5090,

        /// <summary>
        /// MOVE 指令中字段名字错,错误码{0}
        /// MOVE指令中字段名字错误
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotMoveFiledNameError = 5091,

        /// <summary>
        /// 指令执行未结束,错误码{0}
        /// 机械手正在执行动作指令时，上位机重复发送动作指令
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotCmdExecNotFinshed = 5092,

        /// <summary>
        /// GOTO指令未指定工位号,错误码{0}
        /// GOTO指令未指定具体的工位号
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotGotoSlotNoSpecified = 5093,

        /// <summary>
        /// ABS未指定数值,错误码{0}
        /// MOVE指令中的ABS字段后没有指定数值
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotAbsNoSpecified = 5094,

        /// <summary>
        /// REL未指定数值,错误码{0}
        /// MOVE指令中的REL字段后没有指定数值
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotMoveRelNoSpecified = 5095,

        /// <summary>
        /// REL未指定数值,错误码{0}
        /// UMOVE指令中的REL字段后没有指定数值
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotUmoveRelNoSpecified = 5096,

        /// <summary>
        /// 没有指定主程序,错误码{0}
        /// RESET指令后，当前系统没有配置主作业
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotNoSpecifyMainProject = 5097,

        /// <summary>
        /// 当前没有打开作业,错误码{0}
        /// RESET指令后，当前系统没有打开主作业
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotCurrentNoOpenWork = 5098,

        /// <summary>
        /// 当前作业不是主作业,错误码{0}
        /// RESET指令后，当前系统运行的作业不是主作业
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotCurrentNotMainWork = 5099,

        /// <summary>
        /// 手臂电源上电失败,错误码{0}
        /// 在发RESET时，系统不是上电状态
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotServoFailed = 5100,

        /// <summary>
        /// place动作前:未检测到晶圆,错误码{0}
        /// 放片时，手指上没有负载
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotNotDetectedWaferBeforePick = 5101,

        /// <summary>
        /// pick动作前:检测到晶圆,错误码{0}
        /// 手指上有负载情况下，发送PICK指令
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotDetectedWaferBeforePick = 5102,

        /// <summary>
        /// pick动作后:检测到晶圆,错误码{0}
        /// 机械手没有把晶圆放倒指定位置或示教位置不正确
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotDetectedWaferAfterPick = 5103,

        /// <summary>
        /// pick动作后:未检测到晶圆,错误码{0}
        /// 机械手没有到正确的位置去取片或者工位示教不正确
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotNotDetectedWaferAfterPick = 5104,

        /// <summary>
        /// 手指上可能有晶圆,错误码{0}
        /// 手指上可能有晶圆
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotHasWafer = 5105,

        /// <summary>
        /// 手指上可能无晶圆,错误码{0}
        /// 手指上可能无晶圆
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotNoWafer = 5106,

        /// <summary>
        /// load当前状态为ON，不正确,错误码{0}
        /// load当前状态为ON，不正确
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotCurrentStationOn = 5107,

        /// <summary>
        /// load当前状态为OFF，不正确,错误码{0}
        /// load当前状态为OFF，不正确
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotCurrentStationOff = 5108,

        /// <summary>
        /// 当前slot不存在,错误码{0}
        /// 当前slot不存在
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RobotNoSlot = 5109,

        /// <summary>
        /// TCP连接成功,IP:{0} Port:{1}
        /// 当TCP连接成功时，发出此消息事件
        /// </summary>
        [EnumMember]
        TCPConnSucess = 5120,


        /// <summary>
        /// RF不能满足打开条件: {0}
        /// 当RF Power On Interlock 不满足时，发出此消息
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RFFailedOn = 5121,

        /// <summary>
        /// {0} 射频比率警告：{1}。
        /// 当射频的规划值和实际值相差超过设定范围并维持一定时间的情况下，发出该警告。
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RFToleranceWarning = 5122,

        [EnumMember]
        RFInterlockFailed = 5123,

        [EnumMember]
        ProcessPressureToleranceAlarm = 5125,

        [EnumMember]
        ToleranceAlarm = 5126,

        /// <summary>
        /// 当前射频适配模式设置为自动，在自动模式下菜单文件中的适配位置C1/C2不起作用。
        /// 
        /// </summary>
        [EnumMember]
        ProcessRFMatchModeSetToAuto = 5127,

                /// <summary>
        /// 温度计 {0} 坏了。
        /// 
        /// </summary>
        [EnumMember]
        TCBroken = 5128,

                /// <summary>
        /// RF 温度过高。
        /// 
        /// </summary>
        [EnumMember]
        RfOverTemp = 5129,

                [EnumMember]
        RunningModeChanged = 5130,
    }
}