text/microsoft-resx
2.0
System.Resources.ResXResourceReader, System.Windows.Forms, Version=4.0.0.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089
System.Resources.ResXResourceWriter, System.Windows.Forms, Version=4.0.0.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089
基准压力设定值{0}无效,应该在0到1000毫托之间
射频打开时间{0}无效
射频功率{0}无效,应该介于0到{1}瓦之间
射频模式{0}无效,请先选择合适的射频模式
射频频率值设定{0}无效,应该在0到1000之间
射频duty设定值{0}无效,应该在0到100之间
是否确认停止运行当前工艺?
跳到下一步?
射频打开,不能吹扫
流气之前,需要先设定流量
蝶阀位置{0}无效,应该在0到100之间
压力控制模式{0}无效,先选择模式
压力设定值{0}无效,应该介于0到756000之间
设定值'{0}'无效
是否确认停止检漏?
请先选择要删除的检漏记录
是否确认删除当前检漏记录?
C1设定值应该在0到100之间,当前设定
C2设定值应该在0到100之间,当前设定
警告
抽气时间应该在0到1200之间,当前设定值{0}
射频PM周期输入值{0}无效
泵PM周期输入值{0}无效
射频适配位置C1设定值{0}无效,应该在0到100之间
射频适配位置C2设定值{0}无效,应该在0到100之间
工艺设置射频适配模式不是手动模式,C1/C2值无效
增压泵压力设定值{0}无效,应该在0到1000之间
已经连接上设备实时控制系统
正在连接设备实时控制系统
没有数据,先从列表中选择一个批次
批次
菜单名
开始时间
结束时间
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