--------------------------------------------------------------------------------- Triton160 系统更新历史记录 --------------------------------------------------------------------------------- 2023-02-12 v1.46.19 1. FA增加支持S7指令 2022-05-07 v1.46.18 1.自动工艺完成时，工艺运行结束的弹窗提示从”射频结束“后变更为”VENT结束“后。 2.扫码功能批次号最多同时显示5个，需要增加到6个以上。 3.工艺次数记录目前会每天自动清零，需变更为不自动清零，且更换指定工艺配方后清零。 4.跑货完成后蜂鸣器一直响， 改为设置时间内响， 并把最大时长增大为10个小时 2021-08-25 v1.46.17 1. add: 跑货完成后蜂鸣器响，按消音解除 2021-08-13 v1.46.16 1. fix: recipe自动运行完成切换权限多次弹框 2. add: 自动运行完成后，弹窗提示工艺运行结束，弹窗不会自动消失，只有手动点确认后才消失 2021-07-12 v1.46.15 1. 清除水冷报警按钮手动自动均使能 2021-06-29 v1.46.14 1. 增加清除水冷报警按钮 2020-9-22 v1.46.12 1. Recipe界面增加.rcp文件拖拽功能 2. Import Recipe 增加文件多选功能 3. 增加清除3个月以上的logs功能 4. 正确配置三路以上流气示意图 2020-8-28 v1.46.11 1. FA增加JobID 2020-8-25 v1.46.10 1. 同一台电脑只允许运行一个UI 2. 在Online Remote的模式下，不允许在本地选择运行Recipe 3. Host下发的Recipe和Lot信息，直接显示在界面上，之前是在进入Process状态的时候才显示 2020-07-22 v1.46.9.3 1. 乾照多台设备做MO 时，切换账户操作，从操作员换成admin，之后出现异常无法登陆的情况，怀疑是HistoryRecipe 文件夹原因， 通知对方删除该文件夹后问题消失。加异常处理 2. Lab中使用过程发现bug，流气控制压力，蝶阀模式从压力模式切换到位置模式，压力值设置空，再点流气按钮会抛异常 2020-06-02 version V1.46.9.2 1.修改，FA页面中英文命名不对称 2020-4-2 version V1.46.8 1.修复，设备记录的日志写到FA日志文件 2.修改，数据库失败后大量记录错误日志的问题，改成只记录一次错误信息 2020-03-16, RT v1.46.7 Issue_1: Fix bug, 3月士兰升级1.46.6 to test FA 功能， 发现软件过期， BackEnd中 License page显示 注册时间：0020/2/28，到期日：0020/4/8，日期：2020/3/14 Root cause, 注册时间从PLC中读出的格式是[0,99] Issue_2: 夏欢在测试triton160 Match的时候发现， 1. overview 界面上“射频适配模式” 下拉里面显示的是Preset/Auto，修改是Manual/Auto 2. C1，C2位置值设定有时起作用有时不起作用 改动： 1. Auto/Manual 是在“设备诊断” 界面里改， 不是在overview上改, 对应AO-2 2. preset/hold 在overview上改， 下拉菜单里显示"preset/hold", 对应AO-3 Issue_3: 夏欢在机台测试中提出建议， “如果真空计的线断开了，或者真空计坏了，则PLC告知上位机的压力值就是0，上位软件这边有Check这个异常的逻辑吗？ 如果没有的话就会当成真空状态，这时候放电就危险了，可能会把东西搞坏。加个警告信息，信息栏里提示真空计线路异常。 逻辑就是压力值信号小于等于2 mtorr,延时1S则认定真空计线路异常。腔体压力很难抽到2 mtorr的，即使是小腔体也只能抽到6 mtorr” 2019-12-19 v1.46.6 Fix bug, 12月份Triton160装机时发现（河南），4台中有两台无法授权，2019年显示0019年，软件读取PLC中的ai_year，这个AI值范围是[0,99] 2019-12-6 version v1.46.5 1.FA增加105,106事件上报 2019-11-21 version v1.46.3 1.支持SECS/GEM 2019-8-30 version v1.46.2 1.增加历史工艺导出功能 2.增加工艺数据导出功能 2019-7-26 version v1.46.1 1. overview页面上，cooling water, pump N2 purge两个信号的报警从check AI(AI-35, level1 pump water flow fb, AI-36, level1 N2 pressure fb)改成check DI (DI-32, Pump N2 pressure alarm, DI-33, pump water flow alarm), 两个DI信号是 电气新加的 [v1.46.1] 2. Hardware config页面上删除pump N2 pressure alarm, water flow alarm有关配置选项 [v1.46.1] 2019-7-9 version v1.46 1. 根据Triton_160_IO_list for sofeware_V2.00更新IO list, 其中DI信号的地址类型从CIO改成了WR 2. 调整页面比例，适应1024*768 2019-7-2 version V1.45 1.客户需求：Recipe运行结束后，页面上输入的recipe名字和barcode不再显示，避免下次继续用同样的recipe运行 2019-6-23 version V1.43 1.更新机器码获取方式，增加MAC地址作为判断 2.修复无法读取PLC时间的问题 3.修复在自动模式下，页面Partial权限无法输入条码的问题 2018-11-23 version V1.42 1.增加日志 2018-09-01 version V1.41 1.增加RF功率调整因子：仅用于显示调整：功率显示值 = 实际硬件读数/调整因子。 2.增加MFC1/2/3/4/5 调整因子：仅用于显示调整：页面显示流量 = 实际硬件读数/调整因子。 2018-08-23 version V1.40 1.Top view页面的信息不能显示问题 2.数据分析弹出的对话框里面含有\n字符 3.解决Throttle valve 压力设置不进去的问题 2018-07-28 version V1.39 1.修复PLC不能连接的问题 2018-07-15 version V1.38 1.二维码码枪每次扫描，可以自动识别输入完成 2.工艺数据页面，增加根据Lot搜索的条件 2018-05-26 version V1.37 1.增加软件授权功能 2018-05-26 version V1.36 1.增加RF Match Preset功能设置，包括overview页面和recipe页面两个地方的设置 2018-05-02 version V1.35 1.IO 更新：增加RF Coefficient；增加Pump Water/N2 报警设定值 2018-04-22 version V1.33 1、取消BackPanel Door的Interlock 2、取消DataLog的显示 3、增加干泵冷却水和氮气压力检测 4、修复在barcode启用后，是否可以手动选择recipe的功能 5、Recipe编辑页面，修改Booster Pressure名字为Chamber Pressure 6、Recipe编辑页面，不再每次修改后提示输入修改者的名字，使用当前登录用户作为修改者保存 7、Recipe编辑页面，删除电极温度的设定 8、增加PM统计是否报警的开关 9、真空系统设定修改为： 将Pressure control与Dry pump放置在Vacuum System栏中，可以通过勾选来设置启用或不启用： 其中Pressure Control就是蝶阀，启用后，在Overview界面，Recipe界面可以设置控压功能。 Dry Pump如果不勾选，就是使用油泵，勾选后就是启用干泵。不启用干泵时，下方的设置栏均为灰色，无法编辑。 启用干泵的话，下方的Dry Pump Settings开始生效，监控干泵的冷却水流量与吹扫氮气的供气压力，看是否符合下方的设定范围。 同时，在Overview界面Pump图标旁，显示干泵冷却水和氮气的interlock是否满足。 10、Datalog的保存按照： Lot ID / Recipe Name / Start Time / End Time / Running Result 的形式进行保存 11、Barcode扫描后保存的时候，进行重复性检查，如果重复则提示修改，无法保存 2018-04-09 version V1.32 1、增加interlock,在pump stop button 按下的时候，pump阀门会关闭 2、暂时隐藏显示Pump的水流量 2018-04-04 version V1.31 1、增加显示Pump的水流量 2018-04-02 version V1.30 1、增加Gas3,Gas4,Gas5的阀门预留 2018-04-01 version V1.29 1、更新IO表，更新到Triton_160_IO_list for sofeware_V1.04.xlsx 2018-03-23 version V1.28 1、扫码枪允许扫入字符。 2018-03-21 version V1.27 1、如果没有激活Purge功能，在工艺结束后，会报错不能打开vent阀门。 2018-03-21 version V1.26 1、IO回退到 1.03，用于客户现场机台的验证 2018-03-15 version V1.25 1、修复PLC数据点无法更新的问题 2018-02-05 version V1.23 1、修复手动模式下，RF无法打开的问题 2、修改Process Config中MatchMode的设定，这个仅用于在自动运行recipe的时候有效，其他手动模式下根据Diagnostics页面的设定 3、Hardware Config页面的Pump Only暂时没有含义，隐藏 4、增加条形码扫描输入的基本功能 1）激活该功能：在HardwareConfig页面，选择Enable Barcode。激活后，在overview页面，可以扫描二维码输入lot id和recipe id，recipeEditor页面可以对每个recipe扫描输入recipe id 2）recipe id 在扫描输入后，自动匹配对应的recipe，如果找不到，则无法显示和运行recipe。如果找到对应的recipe，会自动显示在recipe name的地方 3）lot id目前没有太多的逻辑，只在页面显示。后台会跟着每个run记录到数据库，后续增加根据lot id进行查询等操作。 2018-01-12 version V1.22 1、IO更新到1.04，主要增加boost pump功能IO 1）Hardware config页面，如果选择Independent pressure control，则启用boost pump功能。设置PLC AO_booster_pressure_control_enable=1 2、process config页面， 1）取消RF Match Mode/ c1/ c2 的设置，该功能与Diagnose页面功能重复； 2）Is Preset Mode取消； 3）增加Match mode设置:auto/manual，用于设置在运行recipe的时候RF match是自动还是手动模式。自动模式下recipe里面的C1，C2不起作用。手动模式下Recipe里面的C1，C2起作用 3、process config 页面增加save/load/setall功能 4、统计功能增加提醒功能： 当前逻辑如下：超过设置的PM时间后系统有Warning提示。下次运行工艺的时候会报错，弹出对话框提醒需要PM之后才能继续运行工艺 5、在历史数据History Data页面，增加一次性导出全部字段的功能 2017-12-12 version V1.21 1、增加历史数据功能页面，用于导出数据库中的数据 2017-11-13 version V1.20 1、改进RF误差报警机制 1）Forward Power 持续一段时间不能稳定的情况下，报警。之前是只有在手动RF 的时候有此功能 2）增加对Reflect Power的检测报警机制。如果Reflect Power在一段时间内超出安全范围，报警。 2017-6-25 version V1.19 1、RF Match Mode从1&2，修改为0&1 2、水流量，tc都从界面去掉 3、EMO功能 拍下emo, DI0，0-》1，DI-2，1-》0 转一下EMO，DI0 1->0，拍下reset按钮，DI-2 0-》1 DI-0 EMG stop botton DI-1 EMO relay DI-2 Main conctactor 增加EMO被拍下的检测功能，目前的处理逻辑为： EMO拍下，软件检测到DI-0【0-1】，DI-2【1-0】 ，信号跳变，软件处于ERROR状态 EMO转一下，拍下RESET，软件检测到DI-0【1-0】，DI-2【0-1】，信号跳变，软件恢复正常状态 4、RESET功能调用 2017-5-8 version V1.18 1、RF增加,C1，C2设置，IO已经更新到1.03 2、增加设备总的RF Time与Pump Time的统计功能 2017-4-25 version V1.17 1、中文版本修复0410测试发现的几个页面未汉化的地方 2017-3-31 version V1.16 1、中英文版本 2017-2-8 version V1.15 1、手动/自动 Vent的时候，在关闭Pump 阀门后，等待2秒之后，再打开Vent阀门 2016-12-29 version V1.13 1、软件自动模式跑完，间歇声音提醒，持续3秒钟 2、vent模式修改为vent阀门打开后持续设定的时间。 3、修复在手动模式下，操作流气，报错退出。 2016-12-19 version V1.12 1、HardWare Config页面 射频模式 选择为非脉冲时，主界面上RF Mode下拉框无法选择，运行时报错。信息如下图（需改为 非脉冲模式下 默认为continus） 2、MFC设置的流量报警功能 无效，如图下 设置了MFC1的报警功能 然后将MFC1气管堵上 超过了设定报警时间后 报警未触发。 3、增加 Process Pressure 报警功能,当主界面 ChamberPresssure（mTorr）数值超出Recipe界面设置Pressure 和 Maintenance-》Process Config页面 GasFlowPressureAlarmRange数值 及限定的Time（S）后 报警。 2016-10-06 version V1.11 1、MFC配置联动： overview页面，气路图，MFC显示为 MFC*（Gas Name），同时根据HardwareConfig中定义的名称和是否Enable来显示【需重启生效】 overview页面，参数列表，MFC显示为 MFC*(Gas Name)，同时根据HardwareConfig中定义的名称和是否Enable来显示【需重启生效】 charting页面，参数列表，MFC显示为MFC*(Gas Name)，同时根据HardwareConfig中定义的名称和是否Enable来显示【需重启生效】 DataLog页面，参数列表，MFC显示为MFC*(Gas Name)，同时根据HardwareConfig中定义的名称和是否Enable来显示【需重启生效】 Recipe Editor页面，参数列表，MFC显示为MFC*(Gas Name)，同时根据HardwareConfig中定义的名称和是否Enable来显示【需重启生效】 2、RF配置联动 Overview页面，监视画面上面，RF Power Range 根据HardwareConfig约束 Overview页面，参数列表，RF Power Range根据HardwareConfig约束 Recipe Editor页面，RF Power Range根据HardwareConfig约束 Overview页面，参数列表，RF Pulsing Frequency/DC 根据HardwareConfig来确定是否显示 recipe editor页面，RF Pulsing功能根据HardwareConfig约束 3、Leakcheck 页面，增加显示leakcheck状态、腔体压力、leakchecktime 4、HardwareConfig页面增加TestMode，只有在TestMode下面，Overview页面上的设备可以手工操作，否则禁止操作。 5、权限控制：overview页面Partial权限，可以控制auto/manual，recipe选择，运行。其他所有的权限被禁止。 6、权限控制：recipeEditor页面readonly权限，可以查看recipe，不可以编辑recipe 7、Overview参数列表，增加一行，显示Chamber压力 2016-09-29 version v1.10 1、增加设置AO MFC Range 2016-09-22 version v1.9 1、Leak Check页面激活 2、 见文档《软件更改需求1.8 - feedback》 3、 2016-09-19 version v1.8 1、event页面激活 2、data LOG 页面激活 3、需要在当前用户边增加log out按钮，在点击 log out后，再弹出log in界面，输入用户名和密码后可以继续操作。 2016-09-17 version v1.7 1、通过配置来实现Hz设备的控制 2、修复没有导航按钮的问题 2016-09-14 version v1.6 1、Maintenance/HarewareConfig 增加MFC，Vapor， RF 功能设置。 2016-09-10 version v1.5 1、recipe editor里面 RFmode切换，TV mode切换的时候，对应的选择项变灰/激活 2、recipe editor step mode切换的时候，对应的选择项变灰/激活 2016-09-07 version 1.3 本次修复： 1、Monitor/Charting页面，分成两个轴，压力一个轴，其他在另外一个轴 2、recipe创建的时候，默认把EC的值设定的值，复制到recipe的setting选项中；修改后，新创建的recipe会默认BasePressure=EC设置；PumpDownLimit=EC设置；PurgeActive=true；ElectrodeTemp=20； 3、增加账号管理，用户登录，权限管理功能；默认用户名，密码 admin、admin 4、软件Recipe菜单的修改需求，其中有一项是把StepInfo里的time选项替换成两种step mode ;然后End by pressure < 可以取消，因为可能会和recipe头里的base pressure设置混淆 5、RF Power ON/OFF从recipe editor里面移除，只要设置的power>0就是power on 2016-09-03 version 1.2 本次修复： 1、vent结束通过EC设定的时间，100Torr之后继续vent EC设定的时间来完成Vent动作。 2、运行recipe的时候，process status显示，preprocess修改为pumping 3、Process的postprocess显示为purge，vent结束后显示，recipe completed。目前运行完信息就直接清除了。 4、Recipe结束后做Vent，Vent到100torr,然后继续delay EC的时间。然后关闭vent。 5、overview页面的Process time没有显示 6、manual 切换到auto的时候，setpoint列表里面的值清0，同时根据recipe里面的设定在这里显示。 7、Pump time在运行recipe的时候，flow gas之前要在界面上显示具体pump的时间。如果pump超时报alarm停止recipe。 8、RF time在run recipe的时候需要统计显示。在RF结束后保留在上面。 2016-09-02 version 1.0.0.1 本次修复： 1.overview 界面：显示的压力，最大显示到100000mTorr，界面上修改了两个地方，腔体图下方的压力表的地方，右侧feedback列表中有一个栏显示压力的地方。 2.overivew 界面：TV旁边的提示文字，只显示Valve的开度。之前是根据TV的控制模式，pressure和Valve切换显示。 3.4个door打开的时候有warning提示，之前信号和实际反掉了。之前关门显示warning，现在修复为开门提示warning。 4.overview界面：pump按钮功能和状态显示定义， 1）pumping valve未打开的时候，pump按钮显示常态；点击后执行pumping动作，pumping过程中，按钮闪烁。 2）pumping valve打开，pump显示绿色，表示pumping进行中；点击后执行关闭pump valve的动作。 5.overview界面：之前的逻辑：点击pump，如果pressure没有输入值，会提示没有输入TV pressure 修改为：pump不检查TV 的输入和设置。 6.purge的时候检查是否在pumping，如果没有在pumping的状态，弹出对话框提醒，不执行purge 7.signal tower灯的颜色定义： 有alarm是红灯 满足有伐是开的，或者RF开着，就是绿灯 其他都是黄灯 8.step number在没有run recipe的时候，不显示。目前没有运行recipe也会显示1（0+1） 9.gas flow 之前检查了压力需要低于base pressure。修改为只检查处于pumping状态。只要在pumping就可以gas flow