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- JET EFEM 系统更新历史记录
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- 2022-4-20 version 1.8.0.5
- 1.fix :粘包
- 2020-8-17 version 1.8
- 1.增加日志显示Sensor信号恢复的记录
- 2.修改Pressure Error For Robot名字为Air Pressure Error
- 2020-8-10 version 1.7
- 1. 增加了一个延迟时间，通知Cassette取放，默认为0，不延时
- 2. 优化：机械手出错后，可以单独Home机械手，之前只能通过HomeAll来恢复
- 3. 在Maintainence/Robot页面增加了功能，显示robot内部interlock信号，不实时刷新，通过点击按钮执行查询命令
- 4. Home NX100 机械手的时候，自动clear error
- 5. 修改Air Pressure Error for Robot为 Robot Vacuum Error
- 6. FA 报警区分有无盒子和是否突出
- 2020-7-21 version 1.6
- 1. 优化取放到Lift位置的时候，如果已经Pin Up，则不再等待，优化50毫秒
- 2. Cassette Door 打开抛出Event
- 3. Robot上面的Wafer Sensor改变，抛出Event
- 4. 增加配置项，是否可以在PM端使用LOAD/UNLOAD/TRANS指令
- 2020-7-20 version 1.5
- 1. 运行期间打开Cassette门更换Cassette，如果换错的话，Abort掉Robot的动作
- 2020-7-10 version 1.3
- 1. 优化指令间隔
- 2. 增加extend/retract指令
- 2020-7-3 version 1.2
- 1. 增加手动模式可以修改wafer尺寸
- 2. 修改ALIGN指令格式，第一个参数按ALIGN/ALIGN2来处理
- 2020-6-22 version 1.1
- 1. 增加显示wafer尺寸
- 2020-5-2 version 1.0.0.0
- 1. First release version
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