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晶圆数
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状态
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晶圆尺寸
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手动
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暂停
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返回晶圆
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卸载
映射
匹配
批次
数据记录
工艺次数
扫描输入工艺
选择工艺
开始
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反应腔门:
干泵门:
抽气
进水口
出水口
充气
液态源箱门:
后面板门:
工艺状态
参数列表
反馈值
设定值
工艺时间(秒)
工艺步骤
工艺步骤时间
腔体压力(毫托)
节流阀模式
节流阀位置(%)
节流阀反馈压力(毫托)
增压泵压力(毫托)
射频时间(秒)
射频模式
射频功率(瓦)
反射功率(瓦)
脉冲频率(Hz)
直流脉冲(%)
射频适配模式
射频适配位置C1
射频适配位置C2
Vapor MFC1(sccm)
Vapor MFC2(sccm)
Electrode Temp(c)
维护操作
手动模式
自动模式
工作模式
手动操作
低压(毫托)
抽气时间阈值(秒)
抽气时间(秒)
抽气
流气
射频
吹扫
充气
腔体状态
工艺处理参数设定
充气时间阈值(秒)
吹扫抽气时间阈值(秒)
吹扫抽气压力(毫托)
吹扫充气时间阈值(秒)
吹扫充气压力(毫托)
吹扫次数
流气压力报警时间(秒)
流气压力报警阈值(毫托)
射频功率波动报警范围(瓦)
射频功率波动报警时间(秒)
射频反射功率波动报警范围(瓦)
射频反射功率波动报警时间(秒)
充气时间(秒)
设置
RF Match运行模式
RF Match C1位置
RF Match C2位置
自动运行工艺时的RF适配模式
气体设置
启用
气路名
N2量程
量程因子
偏差报警范围
偏差报警时间
是否偏差报警
设置
气路 1
气路 2
气路 3
气路 4
气路 5
带脉冲功能
最大功率
启用扫码枪
自动模式下允许手动选择菜单
真空系统
独立压力控制
干泵
干泵设置
冷却水流量
氮气压力
独立控压
最小值
最大值
设备控制
测试模式
统计
射频打开时间
泵运行时间
上次清零时间
自上次清零后
清零
总共
维护周期(天)
菜单列表
当前菜单:
重新加载
保存
新建菜单文件
导入菜单文件
新建文件夹
导出菜单文件
删除菜单文件
导出菜单文件为Excel格式
另存为
重命名菜单文件
重命名文件夹
删除文件夹
是否保存当前菜单文件?
{0}
{0}
加载菜单文件出现异常错误,请检查日志文件查找详细描述.
菜单文件编辑
{0}
导出失败
'{0}'文件导出到
{1}
Excel文件(.xls)|*.xls
{0}
导出失败
菜单文件(.rcp)|*.rcp
重命名菜单文件失败
'{0}'
{0}
重命名菜单文件异常错误,请检查日志文件查找详细描述.
重命名菜单文件"{0}"为:
输入菜单文件名
菜单文件存在错误,是否仍然保存?
保存菜单文件出现异常错误,请检查日志文件查找详细描述.
重新加载会丢失当前的修改,是否继续?
输入菜单文件名
另存为
'{0}'
失败
{0}
另存为操作异常,请检查日志文件查找详细描述.
输入文件夹名称
{0}
新建文件夹异常,请检查日志文件查找详细描述.
创建菜单文件
'{0}'
失败.
创建菜单文件
'{0}'
异常错误,请检查日志文件查找详细描述.
是否确认删除文件夹 "{0}"?
该文件夹下面的所有文件和文件夹都会被一起删除.
{0}
删除文件夹操作异常,请检查日志文件查找详细描述.
重命名文件夹"{0}"为
重命名文件夹失败
{0}
重命名文件夹操作异常,请检查日志文件查找详细描述.
导入文件:
导入并重命名菜单文件
"{0}"
失败!
{0}
导入菜单文件操作异常,请检查日志文件查找详细描述.
是否确认删除菜单文件"{0}"?
{0}
删除菜单文件操作异常,请检查日志文件查找详细描述.
Liquid Level:
Standing Time:
Name
Set
Real
Alarm Range
Alarm Time
Enable Alarm
Precursor Temp
Precursor Container Temp
Vapor Line Temp
Pumping Line Temp
Precursor High Limit
Precursor Low Limit
Vapor Pressure
Container Vacuum Pressure
Maintenance Control
Tank Pump
Status:
Pumping
Container Pump
Vapor line Pump
Precursor Feed
检漏设置
抽气时间(m)
检漏时间(m)
检漏模式
状态
检漏
终止
删除
日期
起始压力值
结束压力值
漏率
当前压力
射频适配设置
射频功率开关
设定功率(w)
适配模式
C1设定值(%)
C2设定值(%)
打开
关闭
查询条件
选择时间
菜单名称
查询
查询结果记录
菜单名
结束时间
开始时间
菜单运行结果
批次
数据曲线
来源 LoadPort
目的 LoadPort
传输选项
Reader 选项:
Job选项:
快速选择
全部清除
开始传输
移除
放置模式:
Pre Align
Post Align
读取激光标记
翻转
在PA前翻转
增加...
重命名
另存为
删除
程式选择:
保存
取消
程式类型:
模块:
增加
清空
OK
取消
增加...
重命名
另存为
删除
程式选择:
保存
取消
程式类型:
默认程式:
设置默认程式
刷新
设置
Pre-Align Angle:
激光标记1:
激光标记2:
读取工作文件表:
激光标记1工作文件:
激光标记2工作文件:
Post Align:
翻转:
在PA前翻转
读取
验证
验证校验和
加载
卸载
手动
存在
放置
自动
保留
告警
系统状态
模式
初始位
操作状态
错误码
料盒状态
夹持位置
上锁位置
真空状态
门位置
晶圆凸出
升降轴位置
停驻位置
映射位置
映射状态
模块
Fosb模式
状态机
命令选项:
执行命令
加载
卸载
回原点
重置
停止
强制Home
读状态
Fosb打开
Fosb关闭
端口预留:
端口状态:
Carrier编号:
Slot映射:
Access模式:
Access状态:
CarrierIDStatus:
Slot映射状态:
设置AMHS
设置手动
进入服务
退出服务
Carrier编号选项:
读取
写入
有效状态:
转移请求:
Busy状态:
转移完成:
CS_0:
CS_1:
连续转移:
装载请求:
卸载请求:
准备转移:
切换可用:
紧急停止:
放置超时状态
E84状态监视
E84状态:
E84输入信号
E84输出信号
超时设置
E84错误恢复
重试
完成
访问模式错误
设置
LoadPort状态
E87状态
Carrier编号读取
Pod 存在状态 :
Pod 放置状态 :
Pod 锁状态 :
Pod 停驻状态 :
Pod 打开状态 :
In Service :
放置
采取
夹持
自动模式
In Service
Robot 位置
Z轴(μm):
EX轴(μm):
TH轴(μm):
H1轴(0.001deg):
H2轴(0.001deg):
状态
错误编码
手臂1目标
手臂2目标
速度
读取速度(%)
设置速度(%)
初始化
回原点
重置
停止
低速
中速
高速
夹持
释放
采取
放置
查询位置
读取速度
设置速度
吸附
释放
读取
设置
读指令
设置指令
读取位置
写入位置
写入当前数据
寻边器
状态
历时
角度
是否有晶圆
错误码
角度(Degree)
校准角度
校准
回原点
重置
停止
Move To Prepare
上升
下降
初始化
夹持
释放
夹持
激光标记阅阅读器
状态
重置
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LM1工作
LM2工作
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