--------------------------------------------------------------------------------- VirgoA 系统更新历史记录 --------------------------------------------------------------------------------- 2025-07-27 version 1.0.0.81 1.PMA 增加430068,430069,430070,430071,430073,430074 SVID 2.PMB 增加440068,440069,440070,440071,440073,440074 SVID 2023-02-5 version 1.0.0.80 1. fix: EAP查询recipe内容，会报warning的问题 2. add：DVID增加支持lot id，关联到recipe执行的event 3. fix: 误报RF turn on failed 2022-09-20 version 1.0.0.79 1. fix: 混合跑片会卡住不动的问题 2022-09-06 version 1.0.0.78 1. fix: can not open door if not vent after process 2022-08-28 version 1.0.0.77 1. enhancement:door open with robot extend 2022-07-17 version 1.0.0.75 1. enhancement:界面显示chamber pressure gauge value 2. fix: 温度偏差都用同一个校准系数 2022-06-24 version 1.0.0.73 1. enhancement:在recipe setting中分别增加pump和vent的pin up和pin down 功能 2. enhancement:基于idle时间来定义是否需要启用pre-job或post-job，需支持可以根据idle的时间长短来定义是否需要启用pre-job和post-job 2022-06-12 version 1.0.0.72 1. enhancement:fdc add step summary data 2. feature:增加chamber wall控温需求 3. feature:增加Grid控温需求 4. 改进：单数wafer跑双chamber的时候，最后一片跑一个chamber， 另一个chamber门一直是开着的。结果导致开门的chamber受大气影响ER变快 2022-06-09 version 1.0.0.71 1. EAP alarm enable all 2. 增加lot作业完成lot id，sequence name自动清除功能 2022-05-16 version 1.0.0.70 1."增加lot作业完成sequence记录自动清除功能： 当前lot作业完成时，该lot所调用的Sequence自动清楚，再run下一个lot时，需再次从新调用sequence" 2.当Job 未完成时，误把Cassette 拿走，Virgo 软件无任何报警，且没有任何提示，建议加此项报警管控(报Alarm，腔体内部wafer继续作业） 3.目前采用post-job recipe（setting Temp），如果客户端出现同一chamber run设置不同Recipe温度的Sequence，会出现by chamber的 pro-job后heater温度会不断的变化，致使heater temp不够稳定，现建议在执行pre-job和post-job时不卡控温度 4.软件在auto 状态下，不应该有wafer creat /delete功能，只有在手动情况下才可以运行该功能; 5. 另外在Auto run下，Recipe & Sequence 参数也不应该具有修改或删除功能 6. 在Virgo建立等级权限时，需区分：none、read、write功能,当前read功能并未完全作用。 2022-04-23 version 1.0.0.69 1. fix: some time reprot recipe file content not valid 2. fix: remove efem warning, EFEM Track wafer present return invalid value,should be 6 characters 3. enhancement: add alarm id: 24 = recipe file invalid 2022-04-16 version 1.0.0.68 1. enhancement: alarm add text 2. enhancement: add alarm id : 23 = efem error 3. enhancement: merge VirgoB累积更新到当前版本 2022-04-12 version 1.0.0.67 1. enhancement: default enable all FA alarm 2022-03-23 version 1.0.0.66 1. enhancement: enable FA alarm 2022-02-09 version 1.0.0.65 1. enhancement: Mapping button disable when cassette door opened 2. enhancement: Cassette door display improved 3. add: LP status display on overview area 4. enhancement: Wafer status description improved 5. feature: 修改在cooling位置的取放逻辑。修改后，机械手不再等待lift pin落下，可以继续去执行其他动作。 2021-12-09 version 1.0.0.64 1. fix: Job complete info - wafer size incorrect 2. add: Wafer size in simulator can be chosen 3. add: ATM mode on display 2021-11-21 version 1.0.0.63 1. fix: 混合跑的时候死锁的问题 2. enhancement：去掉大量的RF和Pump的串口通讯日志记录 2021-11-21 version 1.0.0.62 1. fix: 单片任务的时候开了两个门 2021-11-20 version 1.0.0.61 1. fix: 单片任务的时候开了两个门 2. fix：初始化的时候关闭腔体门 3. enhancement：map条件不满足的时候不进入mapping状态 2021-11-10 version 1.0.0.60 1. fix: efem挂住不执行动作 2. fix：efem 停留在动作状态，无法恢复 3. enhancement：弹出对话框 4：enhancement：蜂鸣器的配置修改 2021-10-19 version 1.0.0.59 1. fix: Wafer status always show "InProcess" 2021-10-19 version 1.0.0.58 1. add: LP wafer count display 2. enhance: Change efem state to error when protrusion 3. add: FDC function 4. enhance: Wafer history display format change 5. add: Process history data chart step line 6. enhance: Delete alarm view 7. add: Signal tower strategy can be config 8. fix: Parallel mode switch 2021-10-12 version 1.0.0.57 1. add: Buzzer on when job done 2. fix: Job done pop dialog message text adjustment 2021-10-11 version 1.0.0.56 1. add: LotID input 2021-09-11 version 1.0.0.55 1. fix: process data history no end time of PMA 2021-08-27 version 1.0.0.53 1. add:post pop dialog message when any job done 2. enhance: disable clean job between cycle jobs. 3. enhance: display different color according pm online and offline 2021-08-23 version 1.0.0.52 1. fix:run stuck when cycle mode + clean 2. add:main view alarm combobox 2021-08-06 version 1.0.0.51 1. fix:同时跑两个Port的时候，有一个chamber会空闲的问题 2. fix：SVID 1101查询设备是否在自动模式 3. Enhancement：默认和EAP连接之后的状态online remote可以通过配置来完成。 2021-07-25 version 1.0.0.50 1. fix: DVID value not correct 2021-07-22 version 1.0.0.49 1.add:Recipe config:keep vacuum afer process 2.add:RF ignition failed alarm 3.fix:Signal tower light status 4.fix:Wafer protrusion、crossed and double change error level from warning to alarm 2021-07-19 version 1.0.0.48 1. FA add CEID 2021-06-29 version 1.0.0.47 1. enable FA 2021-06-16 version 1.0.0.46 1. add:Idle & PreJob/PostJob condition 2. add:GuidePin movement log 3. add:GuidePin state check before wafer placement 2021-05-28 version 1.0.0.45 1. fix:Recipe不能跳步的问题 2021-05-25 version 1.0.0.43 1. fix:GasLine不能跳号启用的问题 2021-05-17 1.0.0.42 1. SC项目+设定值导出 2021-05-12 version 1.0.0.41 1. Virgo系列增加GB Pressure SW、GB Door SW、LE OT SW 2.SC项目+设定值导出功能 2021-05-08 version 1.0.0.40 1. 新增PM Place & Pick的Delay功能 2021-01-31 version 1.0.0.17 1: EFEM 信息没处理的问题，导致伸进去PM，不动了 2：Cylinder报错 PLC Kept 2021-01-28 version 1.0.0.15 1：Cylinder报错 PLC Kept 2021-01-16 version 1.0.0.8 1：支持并行调度 2021-01-14 version 1.0.0.7 1：调度优化 2021-01-12 version 1.0.0.6 1：准备传片的过程中，会报超时错，而且报错之后，继续传片 2: return wafer， 弹出对话框可选是否cooling，参考Transfer wafer 3：sequence文件里面的cooling时间没生效 4：自动模式下，map不work 5：create job之后，禁止set/remove 6：auto runing-》auto idle 7：数据库没保存carrier信息 8: 提示3寸第一片不能跑货的问题 9：robot动画在Aligner位置有偏差 2020-12-20 version 1.0.0.1 1. 初始版本