--------------------------------------------------------------------------------- VirgoST 系统更新历史记录 --------------------------------------------------------------------------------- 2025-01-02 version 2.0.0.6 1.Water Leak 触发 Chiller OFF. 2024-11-30 version 2.0.0.5 1.修改 SmallGuidePinEnable 和 MediumGuidePinEnable 配置默认为true. 2023-11-29 version 2.0.0.4 1.map时，Loadport 第一片根据配置是否支持(不支持，红色显示) 2023-11-28 version 2.0.0.3 1.增加SmallGuidePinInstalled，MediumGuidePinInstalled. 2023-08-14 version 2.0.0.2 1.修改创建计划，LP slot 1 wafer size根据配置（一个或多个尺寸）是否报警. 2.增加SmallGuidePinInstalled.增加MediumGuidePinInstalled. 2023-06-20 version 2.0.0.1 1.cooling/robot/chamber，有wafer，切换自动模式去create job。实际不能成功create job，没有任何提示信息 2.保存recipe菜单删掉PMB 3.ATM模式不用做工艺，sequence带有温度的recipe不要判断进行加热 4.当efem已经接收到错误信息时，由原来的Post ActionDone 修改为 Post Error. 2023-02-05 version 1.0.96.8 1.修改RF 误报警Turn On failed的问题 2022-12-15 version 1.0.96.7 1.修改因Sequence中使用单一手臂造成PM和Aligner上wafer互锁 2.加强PM放的优先级 3.完善手动拖片时禁用手臂的功能 2022-11-30 version 1.0.96.6 1.auto cooling or aligner 2.EAP-F2S35指令启用。 2022-11-28 version 1.0.96.5 1.警用手臂与指定路径功能升级优化。 2.增加recipesplit配置项，对process文件夹添加config配置，设置为true时使用，设置为false时不使用。 3.DataLog ->Wafer History页面里面的搜索框，输入需要搜索的LotName，点击搜索不能精准查找， 搜索按钮只会按照开始时间，结束时间来查找对应时间段内所有的LotName。 4.针对Virgo A/Virgo-B/Virgo-AB软件，我们UI界面Robot 手指的显示和实际停留位置有一定的偏差， 易对客户使用造成一定的误解，修复动画错位问题。 2022-10-21 version 1.0.96.4 1.在Virgo软件overview->EFEM页面添加一个SMIF设备Reset按钮，并能正常使smif进行reset动作，同步增加ERRORCLEAR指令 2.add lift up/down。 3.home all can not complete system intialization 2022-10-08 version 1.0.96.3 1.update 去除放片到ALigner、Cooling的优先级 2.页面增加GAS备注信息。 3.优化调度逻辑，减少chamber在大气中曝露的时间。 4.新增A+B机台，调用datalog文件有误，若单调用VigroA的配置文件，则缺少了B腔Bias 信息，需添加配置文件。 2022-9-27 version 1.0.96.2 1.优化调度逻辑 2.兼容升级后，没有Process和Clean文件夹的查询 3.自制EFEM模式下tolerance 误报的问题 2022-9-20 version 1.0.96.1 1. 增加Kashiyama 干泵 2. 优化开关门的时间，避免提前开门导致的工艺问题 3.KashiyamaPump add some trace log. 4.使用 BaseDevice：：_SetRealFloat（） 解决浮点数rounding的问题. 5.remove unnessesary messsage, recipe file not found 2022-8-27 version 1.0.96 1. 兼容Open Stage和SMIF 2. 升级双臂版功能 3. 增加统计相关的SVID 2022-8-11 version 1.0.95 1.当前软件支持的pre-job和post-job功能，无法基于idle时间来定义是否需要启用pre-job， 需支持可以根据idle的时间长短来定义是否需要启用pre-job（类似于可以根据idle时间的长短来定义是否启用idle-clean） 2.在recipe setting中分别增加pump和vent的pin up和pin down 功能， Pumping 和 Venting时LiftPin的位置分别可设。 2022-8-9 version 1.0.94 1. 状态机里面不可以 Sleep. 2022-8-4 version 1.0.93 1. SkyPump 兼容 JGM-1000A， 二代泵读数据时， 返回数据包多一个字符。 2022-5-7 version 1.0.92 1. enhancement:Add size WS150 & WS159 2. add recipe step svid 2022-4-7 version 1.0.91 1. enhancement:FA save previous status 2. feature:enable blue signaltower 3. enhancement:robot continuous run pick/place after put wafer on lift 4. feature:EFEM cooling water alarm is configurable by SC 5. enhancement:FA alarm add text 2022-4-7 version 1.0.90 1. fix:post process delay OpenCloseSlitValveTimeout 2022-3-30 version 1.0.89 1. feature:enable lift pin up/down before pump 2. feature:heater temperature set to 0 if do not want to change chamber temperature before process 2022-3-23 version 1.0.88 1. feature:fa smart tag read/write 2. enhancement:enable/disable load/unload according smif status 3. fix:recipe file invalid issue 2022-3-20 version 1.0.87 1. feature:configurable whether pop job complete dialog when job done 2. enhancement: disalbe load/unload when job running 3. fa：add writeID function 4. enhancement: mfc verification enhancement 2022-3-10 version 1.0.86 1. feature:FA 增加SMIF相关控制 2022-3-6 version 1.0.85 1. enhancement:EFEM 兼容自研和广川两种型号 1. enhancement:对Jet EFEM:增加读Carrier ID的功能 1. enhancement:对Jet EFEM:禁止设置Wafer Size 2022-2-28 version 1.0.83 1. enhancement:EFEM connect retry 2021-12-28 version 1.0.82 1. fix: "system is in autorunning stage , can not do cassette leave" warning 2021-12-22 version 1.0.81 1. add: LP status display on overview area 2. enhancement: Wafer status description improved 2021-12-17 version 1.0.80 1. enhancement: Mapping button disable when cassette door opened 2. enhancement: Cassette door display improved 2021-12-16 version 1.0.79 1. enhancement: UI process history compatible with only 1 PM 2021-12-09 version 1.0.78 1. fix: Job complete info - wafer size incorrect 2. add: Wafer size in simulator can be chosen 2021-11-24 version 1.0.77 1. fix: Gas valve turn on/off failed 2021-11-20 version 1.0.76 1. fix: 初始化的时候关闭腔体门 2. enhancement：map条件不满足的时候不进入mapping状态 3. enhancement：clear error as background 2021-11-11 1.0.75 1.add: 优化lot结束弹出的对话框 2021-11-04 1.0.73 1.add: FA mapping cmd return 03 when LP is not ready 2.fix: LotID and recipe select info(by FA) display 2021-11-03 1.0.72 1.fix: Can not switch to cycle mode afer once non-cycle job 2021-10-26 1.0.71 1.add: SMC chiller Modbus LRC check 2021-10-20 1.0.70 1.add: LP wafer count display 2.enhance: Change efem state to error when protrusion 2021-10-20 1.0.69 1.fix: Wafer status always show "InProcess" 2.add: Post pop dialog message when any job done 3.enhance: Check if chamber has wafer before run recipe 4.enhance: Delete alarm view 5.add: Main view alarm combobox 6.enhance: Wafer history display format change 7.add: Signal tower strategy can be config 8.fix: Parallel mode switch 2021-10-09 1.0.68 1.feature: add wafer history FDC function 2.feature: add process history step line 2021-09-10 1.0.67 1.fix: IsTemperatureReady never true when chiller enable 2.fix: UI robot arm movement start&end position incorrect 3.enhance: display different color according pm online and offline 2021-08-09 1.0.66 1.fix:EFEM SIGSTAT alarm & event post 2.fix:EFEM top view 2021-07-31 1.0.65 1.add:Heater temp offset by temp point 2.feature:MFC calibration 3.feature:RF calibartion 4.feature:wafer history by lot 5.fix:hide EPD inforamtion if not installed 2021-07-30 1.0.64 1.fix:Skip current recipe step 2021-07-29 1.0.63 1.add:Slitdoor auto close before clean sequence 2021-07-23 1.0.62 1.fix:EPD connection parameters 2.fix:SC unit 2021-07-21 1.0.61 1.add:BiasRF enable state to PLC 2.fix:Wafer protrusion message : Warning change to Alarm 3.fix:Coolant Inlet/Outlet TC Broken message : Warning change to Alarm 2021-07-20 1.0.60 1.fix:single wafer auto running, two chamber open the door 2021-07-16 1.0.59 1.fix:Transfer stuck when job end 2021-07-11 1.0.58 1.fix:PM "Source Generator Safety Lock" warning change level to info 2021-07-09 1.0.57 1.add:Recipe config:keep vacuum afer process 2.add:RF ignition failed alarm 3.fix:Signal tower light status 2021-06-29 1.0.56 1.fix:CycleModeUI显示跟系统状态不吻合的问题 2.fix:简化部分SC显示 3.add:UI根据RT SC配置自动选择配置文件 2021-06-29 1.0.55 1. fix: 并发模式下有一个腔体空闲的问题 2. fix：one possible deadlock during scheduler 2021-06-19 1.0.53 1. 增加SVID 2021-06-09 1.0.52 1. S7F25 return recipe/sequence body per user suggestion 2021-06-08 1.0.51 1. improvement:epd config ui remove unnecessary items 2021-06-06 1.0.50 1. fix:epd not install cause issue 2021-06-05 1.0.49 1. EPD improvement,add log 2. add lot id information to wafer history 3. FA:S7F26 gave sequence data to eap 2021-06-04 1.0.48 1. link port id/slot to more CEID 2021-05-29 1.0.47 1. FA增加S2F25指令 2. FA增加Cassette Door open/close事件 3. FA增加LP Slotmap数据变量 2021-05-28 1.0.46 1. Configuration-Role中项目设置为只读，实际权限为读写 2021-05-25 1.0.45 1. 增加EPD功能 2021-05-19 1.0.43 1. FA、Clean界面微调 2. fix:自动登录admin账号 2021-05-17 1.0.42 1. SC项目+设定值导出 2021-05-16 1.0.41 1. fix:GasLine不能跳号启用的问题 2021-05-16 1.0.40 1. 功能:激活FA功能 2021-05-12 1.0.39 1. 功能:增加Idle Clean， Pre-job， Post-job clean功能 2. 功能：增加输入Lot Name 2021-05-12 1.0.38 1. fix:UI Cycle数量显示 更新不实时的问题 2021-05-11 1.0.37 1. fix:调度的时候混跑死锁的问题 2021-05-11 1.0.36 1. Virgo系列增加GB Pressure SW、GB Door SW、LE OT SW 2. SC项目+设定值导出功能 2021-05-10 version 1.0.35 1. 新增首页ATM Mode显示 2. 调整Slow Pump Valve图形显示 2021-05-08 version 1.0.34 1. 新增PM Place & Pick的Delay功能 2021-04-27 version 1.0.33 1. 解决4'，6'混合跑的时候，停在手臂上的问题 2021-04-12 version 1.0.29 1. 解决4'，6'混合跑的时候，会报参数错的问题 2. return wafer 上手臂没法传送的问题 2021-04-10 version 1.0.28 1. 解决单片会停住的问题 2. 解决4寸，6寸混合跑，会停住的问题 2021-01-31 version 1.0.0.17 1: EFEM 信息没处理的问题，导致伸进去PM，不动了 2：Cylinder报错 PLC Kept 2021-01-28 version 1.0.0.15 1：Cylinder报错 PLC Kept 2021-01-16 version 1.0.0.8 1：支持并行调度 2021-01-14 version 1.0.0.7 1：调度优化 2021-01-12 version 1.0.0.6 1：准备传片的过程中，会报超时错，而且报错之后，继续传片 2: return wafer， 弹出对话框可选是否cooling，参考Transfer wafer 3：sequence文件里面的cooling时间没生效 4：自动模式下，map不work 5：create job之后，禁止set/remove 6：auto runing-》auto idle 7：数据库没保存carrier信息 8: 提示3寸第一片不能跑货的问题 9：robot动画在Aligner位置有偏差 2020-12-20 version 1.0.0.1 1. 初始版本