撤销 恢复 展开 收拢 优化 导出 设置 属性 创建者 最后修改: 最后修改时间: 设置 备注 工艺参数设置 抽气低压(毫托) 抽气时间阈值(秒) 电极温度(度) 工艺后是否吹扫 工艺后保持真空 电极板报警温度(℃) 输入菜单文件名称 请输入菜单文件的名称: 确认 取消 修改者信息 这个名字会被保存在菜单文件中 请输入修改者名字: