1. Robort 在chamber中，Pick & Place wafer delay time 不可以单独设置，只能同时设置delay time，现需增加单独设置功能。（有时会有放片延时，改善PR baking均匀性，但pick不需要延时 2. Process data log中，温度显示要求为补偿后的实际温度，现在显示温度为补偿前温度； 3. 需要LP 的 Overview 界面加上醒目的提示或者颜色变换，来提醒此LP的job 是否已完成；【右上角的LP*改成绿色，表示完成】 4. wafer history : FDC 中无工艺压力数据,【加上Pressure】 5. 在EAP自动run货时，EFEM 门未关好，但EAP会下达指令给机台跑货，但由于EFEM门未关好，不会进行Mapping动作，设备不做任何动作； 实际应该是EAP下达开始run货前，需要检查硬件条件是否满足，如果不满足，需要报警提示； 6. 主页overview里面工艺腔需要有可编辑腔体工艺提示，方便用户端工艺卡控，例如PMA (ashing-250-SIC）PMB(discum-90-GaAs） 7. wafer history : FDC气体流量显示栏为 MFC Gas 1\2\3 feedback,需进行调整为 MFC Gas O2\N2\CF4feedback,以实际气路名称命名，以便客户查看数据 8. 当前job作业完成后，有提示对话框弹出、但需要手动关闭，希望升级为：提示对话框关闭时间可设定，同时支持对应完成的cassette被取走时，提示框就自动关闭 --------------------------------------------------------------------------------- Virgo T 定义版本号从 2.00 开始 --------------------------------------------------------------------------------- 2024-07-31 version 2.0.1.16 1. Enhance the EFEM module design for handling load foup issue while wafer on robot arm 2024-02-29 version 2.0.1.14 1. Add the functionality for home Brooks EFEM single axis. 2023-11-27 version 2.0.1.12 1. Force PM to Error state while home lift pin failed. 2023-8-17 version 2.0.1.10 1. fix: FA carrier ID not correct 2023-2-21 version 2.0.1.8 1. fix: EAP read recipe failed caused by path 2. fix: EAP creat job not support 26 slot 3. feature: support configurable scanner reader 2023-2-16 version 2.0.1.7 1. fix: wafer still there if manually remove wafer 2023-2-15 version 2.0.1.6 1. eap add lot VID 2023-2-13 version 2.0.1.5 1. carrier slot为26片 2. slot 1在最上面 2022-11-07 version 2.0.00.0 1. 初始版本 2022-6-20 version 1.0.82.6 1. Jet Virgo软件升级需求汇总 New 20220606.xls => Item 38: 当前软件支持的pre-job和post-job功能，无法基于idle时间来定义是否需要启用pre-job，需支持可以根据idle的时间长短来定义是否需要启用pre-job（类似于可以根据idle时间的长短来定义是否启用idle-clean） 2022-6-10 version 1.0.82.5 1. fix:svid data delay several seconds to update data 2. fix:RecipeProcessTime data format is incorrect 2022-6-10 version 1.0.82.3 1. feature:add recipe related DVID, recipe step end FDC summary data 2. feature: 在recipe setting中分别增加pump和vent的pin up和pin down 功能， Pumping 和 Venting时LiftPin的位置分别可设 3. fix:1) To chart 跳转到 Process History 中 没有End Time。 2) Cycle模式-LOT ID内容中时间显示不正确, LOT ID 内产生内容完全相同（时间状态应为不同，第二循环产生LOT ID 内容时间应偏后） 2022-5-23 version 1.0.82.2 1. feature:add recipe related SVID 2022-5-4 version 1.0.82.1 1. fix: 两个LP跑货，第一批跑完，蜂鸣器不响 2. fix:工艺之前检测chiller状态 3. fix: 腔体初始化的时候，检查有wafer，guidepin不下降 2021-12-28 version 1.0.82 1. fix: "system is in autorunning stage , can not do cassette leave" warning 2021-12-22 version 1.0.81 1. add: LP status display on overview area 2. enhancement: Wafer status description improved 2021-12-17 version 1.0.80 1. enhancement: Mapping button disable when cassette door opened 2. enhancement: Cassette door display improved 2021-12-16 version 1.0.79 1. enhancement: UI process history compatible with only 1 PM 2021-12-09 version 1.0.78 1. fix: Job complete info - wafer size incorrect 2. add: Wafer size in simulator can be chosen 2021-11-24 version 1.0.77 1. fix: Gas valve turn on/off failed 2021-11-20 version 1.0.76 1. fix: 初始化的时候关闭腔体门 2. enhancement：map条件不满足的时候不进入mapping状态 3. enhancement：clear error as background 2021-11-11 1.0.75 1.add: 优化lot结束弹出的对话框 2021-11-04 1.0.73 1.add: FA mapping cmd return 03 when LP is not ready 2.fix: LotID and recipe select info(by FA) display 2021-11-03 1.0.72 1.fix: Can not switch to cycle mode afer once non-cycle job 2021-10-26 1.0.71 1.add: SMC chiller Modbus LRC check 2021-10-20 1.0.70 1.add: LP wafer count display 2.enhance: Change efem state to error when protrusion 2021-10-20 1.0.69 1.fix: Wafer status always show "InProcess" 2.add: Post pop dialog message when any job done 3.enhance: Check if chamber has wafer before run recipe 4.enhance: Delete alarm view 5.add: Main view alarm combobox 6.enhance: Wafer history display format change 7.add: Signal tower strategy can be config 8.fix: Parallel mode switch 2021-10-09 1.0.68 1.feature: add wafer history FDC function 2.feature: add process history step line 2021-09-10 1.0.67 1.fix: IsTemperatureReady never true when chiller enable 2.fix: UI robot arm movement start&end position incorrect 3.enhance: display different color according pm online and offline 2021-08-09 1.0.66 1.fix:EFEM SIGSTAT alarm & event post 2.fix:EFEM top view 2021-07-31 1.0.65 1.add:Heater temp offset by temp point 2.feature:MFC calibration 3.feature:RF calibartion 4.feature:wafer history by lot 5.fix:hide EPD inforamtion if not installed 2021-07-30 1.0.64 1.fix:Skip current recipe step 2021-07-29 1.0.63 1.add:Slitdoor auto close before clean sequence 2021-07-23 1.0.62 1.fix:EPD connection parameters 2.fix:SC unit 2021-07-21 1.0.61 1.add:BiasRF enable state to PLC 2.fix:Wafer protrusion message : Warning change to Alarm 3.fix:Coolant Inlet/Outlet TC Broken message : Warning change to Alarm 2021-07-20 1.0.60 1.fix:single wafer auto running, two chamber open the door 2021-07-16 1.0.59 1.fix:Transfer stuck when job end 2021-07-11 1.0.58 1.fix:PM "Source Generator Safety Lock" warning change level to info 2021-07-09 1.0.57 1.add:Recipe config:keep vacuum afer process 2.add:RF ignition failed alarm 3.fix:Signal tower light status 2021-06-29 1.0.56 1.fix:CycleModeUI显示跟系统状态不吻合的问题 2.fix:简化部分SC显示 3.add:UI根据RT SC配置自动选择配置文件 2021-06-29 1.0.55 1. fix: 并发模式下有一个腔体空闲的问题 2. fix：one possible deadlock during scheduler 2021-06-19 1.0.53 1. 增加SVID 2021-06-09 1.0.52 1. S7F25 return recipe/sequence body per user suggestion 2021-06-08 1.0.51 1. improvement:epd config ui remove unnecessary items 2021-06-06 1.0.50 1. fix:epd not install cause issue 2021-06-05 1.0.49 1. EPD improvement,add log 2. add lot id information to wafer history 3. FA:S7F26 gave sequence data to eap 2021-06-04 1.0.48 1. link port id/slot to more CEID 2021-05-29 1.0.47 1. FA增加S2F25指令 2. FA增加Cassette Door open/close事件 3. FA增加LP Slotmap数据变量 2021-05-28 1.0.46 1. Configuration-Role中项目设置为只读，实际权限为读写 2021-05-25 1.0.45 1. 增加EPD功能 2021-05-19 1.0.43 1. FA、Clean界面微调 2. fix:自动登录admin账号 2021-05-17 1.0.42 1. SC项目+设定值导出 2021-05-16 1.0.41 1. fix:GasLine不能跳号启用的问题 2021-05-16 1.0.40 1. 功能:激活FA功能 2021-05-12 1.0.39 1. 功能:增加Idle Clean， Pre-job， Post-job clean功能 2. 功能：增加输入Lot Name 2021-05-12 1.0.38 1. fix:UI Cycle数量显示 更新不实时的问题 2021-05-11 1.0.37 1. fix:调度的时候混跑死锁的问题 2021-05-11 1.0.36 1. Virgo系列增加GB Pressure SW、GB Door SW、LE OT SW 2. SC项目+设定值导出功能 2021-05-10 version 1.0.35 1. 新增首页ATM Mode显示 2. 调整Slow Pump Valve图形显示 2021-05-08 version 1.0.34 1. 新增PM Place & Pick的Delay功能 2021-04-27 version 1.0.33 1. 解决4'，6'混合跑的时候，停在手臂上的问题 2021-04-12 version 1.0.29 1. 解决4'，6'混合跑的时候，会报参数错的问题 2. return wafer 上手臂没法传送的问题 2021-04-10 version 1.0.28 1. 解决单片会停住的问题 2. 解决4寸，6寸混合跑，会停住的问题 2021-01-31 version 1.0.0.17 1: EFEM 信息没处理的问题，导致伸进去PM，不动了 2：Cylinder报错 PLC Kept 2021-01-28 version 1.0.0.15 1：Cylinder报错 PLC Kept 2021-01-16 version 1.0.0.8 1：支持并行调度 2021-01-14 version 1.0.0.7 1：调度优化 2021-01-12 version 1.0.0.6 1：准备传片的过程中，会报超时错，而且报错之后，继续传片 2: return wafer， 弹出对话框可选是否cooling，参考Transfer wafer 3：sequence文件里面的cooling时间没生效 4：自动模式下，map不work 5：create job之后，禁止set/remove 6：auto runing-》auto idle 7：数据库没保存carrier信息 8: 提示3寸第一片不能跑货的问题 9：robot动画在Aligner位置有偏差 2020-12-20 version 1.0.0.1 1. 初始版本