7 {0}, More than {1} days since last PM {0}, More than {1} days since last PM {0}，已经超过{1}天，需要做PM Information PMNeededInformation Need PM before run recipe 8 {0}, More than {1} days since last PM {0}, More than {1} days since last PM {0}，已经超过{1}天，需要做PM Warning PMNeededWarning Need PM before run recipe 9 操控权限：{0} Information OperationAuthorization Only authorized account can execute operation and control command 10 '{0}' 退出系统。 Information UserLoggedOff 用户退出系统。 11 User {0} login Information UserLoggedIn 用户登录 User {0} login 账号{0}登录 12 用户帐号'{0}'的内容被修改。 Information AccountChanged 用户帐号改变 13 用户账号'{0}'的密码被修改。 Information PasswordChanged 用户账号密码变更 14 用户帐号'{0}'已被删除。 Information AccountDeleted 用户帐号删除 15 用户帐号'{0}'已被创建。 Information AccountCreated 用户帐号创建 16 {0}托盘信息被创建：{0}有托盘。 Information ChamberRecordCreated 17 {0}托盘信息被删除：{0}无托盘 Information ChamberRecordDeleted 腔体内托盘和托盘信息不一致：腔体内无托盘，但有托盘信息，托盘信息被删除。 18 机械臂找原位过程：{0} Information HomingRobot 抛出机械臂各步骤提示信息 20 向{0}传盘操作开始。 Information PuttingWaferToChamberBegins This event is posted right before putting a susceptor to a chamber. 21 从{0}取盘操作已成功完成。 Information PickingWaferFromChamberEnds This event is posted right after the operation of picking a susceptor from a chamber. 22 从{0}取盘操作开始。 Information PickingWaferFromChamberBegins This event is posted right before picking a suseceptor from some chamber, 23 {0}模式下，序列"{1}"{2}循环结束。 Information WaferCycleCompleted When the sequence cycle completes, it posts this informational event. NA 24 传送腔机械臂开始寻找原位。 Information RobotHomingBeins When robot begins homing, it issues this informational event. N/A. 25 压力伺服成功：设定压力为{0}帕，当前压力为{1}帕。 Information PressureServoSucceeds When chamber pressure is servoed to the target pressure, this event will be thrown. 26 压力伺服终止。 Information PressureServoEnds When chamber pressure servo stops, thie event will be thrown. 27 当前压力为{0}帕，开始伺服压力至{1}帕。 Information PressureServoBegins When a chamber begins to servo chamber pressure to some value, this event will be thrown. 28 机械臂开始执行‘{0}’命令; R = {1}mm, Theta = {2}°, Z = {3}mm。 Information RobotExecutesCommand When robot starts executing some movement command, this event will be logged. 36 {0}初始压力为{1}帕，{2}分钟后压力为{3}帕，压差{4}小于容许值{5}帕。 Information LeakCheckSucceeded 当运行泄露检查服务程序时，如果泄露检查成功，发出此消息事件。 37 机械臂成功执行命令‘{0}’; R = {1}mm, Theta = {2}°, Z = {3}mm。 Information RobotCommandExecuted 当机械臂成功执行某一命令时，发出此消息事件。 38 传送腔机械臂已归原位。 Information TransferRobotHomed 当传送腔机械臂已归原位时，发出此消息事件。 41 装卸腔门已上锁。 Information LoadlockDoorLocked 当装卸腔门上锁时，发出此消息事件。 42 装卸腔门已解锁。 Information LoadlockDoorUnlocked 当装卸腔门解锁时，发出此消息事件。 43 {0}闸板阀已关闭。 Information SlitValveIsClosed 当某一腔的闸板阀关闭时，发出此消息事件。 44 {0}闸板阀已打开。 Information SlitValveIsOpened 当某一腔的闸板阀打开时，发出此消息事件。{0}为该腔的标识符。 45 托盘'{0}'已从{1}中删除。 Information SusceptorDeletedFromChamber 当从一个腔中删除托盘时，发出该事件。{0}是托盘标识符，{1}是腔体名。 46 在{0}中创建了托盘'{1}'。 Information SusceptorCreatedInChamber 当创建一托盘时，发出该事件。{0}是腔体名，{1}是托盘标识符。 47 在{0}中修改了托盘'{1}'。 Information SusceptorEditedInChamber 当修改一托盘时，发出该事件。{0}是腔体名，{1}是托盘标识符。 52 序列'{0}'开始执行。 Information SequenceIsStarted 当某一序列开始时，发出该信息事件。{0}是序列名。 55 {0} Information DefaulEventValue 默认事件类型(通用) 1222 1000 {0} Information GeneralInfo 默认事件类型(通用) 1222 1001 {0} 气缸已升至上位。 Information CylinderAtTop 硬件DI-50触发时，发出该警告 1002 {0} 气缸已降至下位。 Information CylinderAtBottom 硬件DI-49触发时，发出该警告 1003 气缸警告：{0}。 Warning CylinderWarning 气缸发生硬件错误，发出该警告 1004 {0} 反应腔盖已全开。 Information ReactorLidFullyOpen 硬件DI-74触发时，发出该警告 1014 {0} 已联机。 Information ChamberIsPutOnline 当某一腔联机时，发出该信息事件。{0}是传送腔、装卸腔或反应腔的名字。 1019 Alarmed during running recipe {0} Alarmed during running recipe {0} 运行工艺{0}期间发生报警 Information AlarmedRunRecipe 当运行工艺的时候出现报警事件。 1020 {0} recipe start run'{1}' Information RecipeStart 当某一反应腔开始执行某菜单时，发出该信息事件。{0}是反应腔名，{1}是菜单名。 {0} recipe start run'{1}' {0} 开始运行工艺'{1}'。 1021 {0} start run '{1}'. Information ServiceRoutineStarted When a service routine of a chamber starts, this informational event is issued. 1022 {0} complete run '{1}'. Information ServiceRoutineStopped When service routine of a chamber stops, this informational event is issued. {0} complete run '{1}'. {0}运行'{1}'结束。 1023 {0} '{1}' stopped，reason: {2}。 Information ServiceRoutineAborted where {0} is the chamber name, while {1} is the service name. When service routine is aborted, this event will be posted. 1024 {0} recipe was aborted: {1} {0} recipe was aborted: {1} {0} 工艺运行被终止: {1} Information RecipeAborted 当用户手动终止正在运行的菜单时，发出该信息事件。{0}是反应腔，{1}是该反应腔中运行的菜单。 1025 {0} recipe'{1}' start run step {2}：{3}。 {0} recipe'{1}' start run step {2}：{3}. {0} 工艺'{1}'开始运行第{2}步：{3}. Information RecipeStepStart 当某一反应腔开始执行某菜单某步时，发出该信息事件。{0}是反应腔名，{1}是菜单名，{2}时步数，{3}当前步说明。 1026 {0} recipe'{1}' end step {2} {0} recipe'{1}' end step {2}. {0} 工艺'{1}'结束运行第{2}步 Information RecipeStepComplete 当某一反应腔完成执行某菜单第几步，发出该信息事件。{0}是反应腔名，{1}是菜单名，{2}时步数。 1027 {0} 工艺程序'{1}'第{2}步暂停。 Information RecipePaused 当某一反应腔执行某菜单过程中被暂停，发出该信息事件。{0}是反应腔名，{1}是菜单名，{2}当前执行第几步。 1028 {0} 工艺程序'{1}'第{2}步继续。 Information RecipeResumed 当某一反应腔执行某菜单第X步过程中取消暂停，继续执行菜单，发出该信息事件。{0}是反应腔名，{1}是菜单名，{2}当前执行第几步。 1029 {0} recipe'{1}'current in step {2}, skip to next step Information RecipeStepSkipped 当某一反应腔执行某菜单第X步过程中跳出当前步，执行下一步，发出该信息事件。{0}是反应腔名，{1}是菜单名，{2}当前执行第几步，{3}跳到第几步。 1030 {0} 运行工艺程序'{1}'第{2}步时更新工艺程序为'{3}'。 Information RecipeUpdated 当某一反应腔执行某菜单第X步过程时更新了新的菜单程序，发出该信息事件。{0}是反应腔名，{1}是菜单名，{2}当前执行第几步，{3}新的工艺程序名。 1031 {0} 传盘准备：{1}。 Information PreTransferInfo 当反应腔进行传盘准备时，用于显示腔体当前正在进行的动作。{0}反应腔名，{1}当前动作名。 1032 {0} Prepare for running recipe：{1}。 Information PreProcessInfo 反应腔菜单运行准备时，用于显示腔体当前正在进行的动作。{0}反应腔名，{1}当前动作名。 {0} Prepare for running recipe：{1}. {0} 运行工艺准备：{1}。 1033 {0} {1}：{2}。 Information ServiceRoutineInfo 用于显示在服务程序运行过程中的信息显示，{0}反应腔名，{1}服务程序名，{2}当前动作名。 1034 {0} recipe after running, {1} {0} recipe after running, {1} {0} 工艺收尾, {1} Information PostProcessInfo 当反应腔运行的工艺程序正常结束，或者用户运行abort工艺按钮后，自动跳转至post process阶段。 1035 {0} 反应腔温度>限定值1。 Information ReactorTempOverLimit1 经过硬件（变送器）比较，实际值（对应热电偶）>警告设定值（对应变送器），DI-51触发，发出该警告。 1036 {0} 反应腔温度>限定值2。 Information ReactorTempOverLimit2 经过硬件（变送器）比较，实际值（对应热电偶）>警告设定值（对应变送器），DI-52触发，发出该警告。 1037 {0} 压力回至大气压。 Information ReactorPressureATM 经过硬件（Baratron）比较，实际值（对应压力计@Baratron）>报警设定值（对应变送器@Baratron），DI-47触发，发出该报警。 1039 {0} Recipe run completed，{1} {0} Recipe run completed，{1} {0} 工艺运行结束，{1} Information ProcessSuccEnd {0}反应腔名，{1}辅助信息。 1040 {0} {1}。 Information GuiCmdExecSucc 当收到用户界面命令，并成功执行时，发出该事件。{0}反应腔名，{1}命令解释。 1050 {0} 排气环运动轴到达{1}。 Information LidLimitTrigged 当Lid Motion触发上限位，下限位置sensor时发出该信息。 1051 {0} 闸板阀{1}。 Information PmGtValveChanged 当PM闸板阀打开或者关闭时发出该信息。 1052 {0} {1}。 Information SwInterlock 当发生软件互锁时，发出该警告信息。{0}反应腔名，{1}具体软件互锁原因。 1053 {0} 双O圈压力回复至ATM。 Information ReactorDORAtm 当反应腔双O圈压力回复至ATM时，发出该信息提示。{0}反应腔名。 1054 {0} 完成和TM工控机的系统时间同步：{1}。 Information TimeSync 当反应腔处于Idle状态，并且距离上一次和TM工控机的成功时间同步超过5小时，则再次开始时间同步一次。 无。 1055 {0} 执行N2吹扫程序：{1}。 Information N2PurgeInfo 反应腔切换到N2吹扫服务时，发出该消息，用于提示用户当前正在执行的动作。 1056 {0} 传盘收尾：{1}。 Information PostTransferInfo 当反应腔处于传盘收尾状态时发出的消息。 当反应腔处于传盘收尾状态时发出的消息。 1057 [目标腔{2}] {0}内的托盘"{1}"，自动传盘优先级设为最高。 Information FirstQueueingSusceptorChanged 目标腔的第一个排队托盘改变时，发出此信息。 目标腔的第一个排队托盘改变时，发出此信息。 1058 {0} 增加维护任务：{1}。 Information AddScheduleMaintenanceTask 当增加反应腔维护任务时发出该信息事件。 1059 {0} 删除维护任务：{1}。 Information RemoveScheduleMaintenanceTask 当删除反应腔维护任务时发出该信息事件。 1060 {0} 修改维护任务：{1}。 Information ModifyScheduleMaintenanceTask 当修改反应腔维护任务时发出该信息事件。 1070 {0} 马达运动轴到达{1}。 Information MotorLimitTrigged 当马达触发上限位，下限位置sensor时发出该信息。 1071 {0} 马达运动轴警告，{1}。 Warning MotorAlarm 当马达运动出错，发出此警告事件。 1072 {0} 马达停止运动。 Information MotorStop 马达停止运动。 1073 {0} 马达停止运动出错，{1}。 Warning MotorStopAlarm 当马达停止运动出错时，发出此警告事件。 2030 传送腔氮气压力过低。 Warning TmN2PressureLow 当传送腔氮气压力过低时，发出此警告事件。 1.检查厂务氮气。 2.检查氮气露点仪是否正常。 2032 压缩空气压力过低。 Warning CdaPressureLow 当压缩空气压力过低时，发出此警告事件。 1.检查压力计是否工作正常。 2.检查PLC信号是否正确接入。 2033 双密封圈泵吹扫压力过低。 Warning DorPurgePressureLow 当双密圈吹扫压力过低时，发出此警告事件。 1.检查双密封圈泵是否工作正常。 2.检查PLC信号是否正确接入。 2034 TM冷却水流量过低。 Warning BufferWaterFlowLow 当TM冷却水流量过低时，发出此警告事件。 1.检查厂务水流。 2.检查PLC信号是否正确接入。 2035 {0}电脑硬盘{1}分区可用空间为{2}GB，已小于{3}GB。 Warning DiskFreeSpaceLack 电脑硬盘可用空间过小。 清理硬盘，释放更多磁盘空间 2036 {0}有托盘，但无托盘信息，请创建托盘信息。 Warning LoadlockSusceptorWithoutRecord 装卸腔有托盘，无托盘信息 创建托盘信息 2037 {0}运行中，不能创建/删除托盘 Warning ChamberBusy 腔体在忙，不能创建/删除托盘 只有腔体不忙时，才可创建/删除托盘 2038 {0}的压力未达ATM，不能传盘。 Warning FailureToXferDuetoNotInAtm 大气传盘前，各相关腔体压力必须在ATM状态下，否则不能进行大气传盘。 给腔体充气到ATM状态。 2039 定序器不能运行：{0}。 Warning FailedToStartSequencer 启动定序器的前提条件没有完全满足时，会抛出该事件 1.请点击事件下拉列表框，查看具体原因。 2.检查导致失败的原因，使其满足条件。 2045 {0}初始压力为{1}帕，{2}秒钟后压力为{3}帕，压差{4}大于容许值{5}帕。 Warning LeakCheckFailed 当运行泄露检查服务程序时，如果压差大于容许值，则发出此警告事件。 1.请检查腔体是否有泄漏点。 2046 {0}在'{1}'状态下不能执行'{2}'命令 Warning ServiceRoutineCmdRejected 反应腔在当前状态下不能执行当前队列中的命令时发出该消息。 1.请点击事件下拉列表框，查看具体原因。 2.检查导致失败的原因，使其满足条件。 2048 系统没有联机的反应腔，定序器停止运行。 Warning NoReactorOnline 当定序器在自动方式下运行、而系统中没有联机的反应腔时，发出此警告事件。 1.联机传送腔。 2.联机其它需要传盘的腔体。 2052 用户 {0} 无操控权，请先获取操控权 Warning AccountWithoutAuthorization 只有拥有操控权的用户，才能进行操控 获取操控权限 2053 {0}。 Warning DefaultWarning 警告范围2000~3999，如果系统反馈的警告事件没有指定事件ID，或者ID编号范围有误，则使用当前默认的警告代码作为该事件的警告代码。 默认的警告代码。 2054 {0} 工艺程序{1}重载失败：{2}。 Warning ReloadRecipeFailed 当用户在工艺监控页面执行工艺程序Reload操作发生异常时，发出该警告事件。 检查Reload的Recipe文件是否存在语法错误，或参数设定错误。 2055 {0} {1}：{2}。 Warning ServiceRoutineWarning 用于显示在服务程序运行过程中的信息显示，{0}反应腔名，{1}服务程序名，{2}当前动作名。 3003 {0} 氢气露点异常。 Warning H2DewpointAbnormal 经过软件比较，当氢气的露点实际值大于警告设定值（系统参数）时，发出该警告事件。 1.检查厂务氢气。 2.检查氢气露点仪是否正常。 3004 {0} 氮气露点异常。 Warning N2DewpointAbnormal 经过软件比较，当氮气露点的实际值大于警告设定值（系统参数）时，发出该警告事件。 1.检查厂务氮气。 2.检查氮气露点仪是否正常。 3005 {0} {1}加热带温度报警，当前实际温度为{2}℃。 Warning LineHeaterAbnormal 当反应腔加热带温度偏离系统参数设定的允许范围时，发出该警告事件。 1.检查加热带是否正常。 2.检查加热带供电是否正常。 3.检查加热带温度警告范围的参数设定是否合理。 3006 {0} 水浴槽{1}通讯错误。 Warning ThermoBathFail 与水浴槽的串行通信发生错误时，发出该警告事件（具体异常情况可以在RS485协议编写时配置）。 1.检查水浴槽是否在运行。 2.检查水浴槽通讯线是否连接准确可靠。 3007 {0} 主泵发出警告。 Warning ProcessPumpWarning 当反应腔主泵的警告信号被触发时，发出该警告事件。 1.通过主泵操作面板，确认主泵当期的设置和运行状态。 3008 {0} 尾气柜门未关闭。 Warning ExhaustCabinetDoorOpenWarning 当反应腔尾气柜门未关闭时，发出该警告事件。 1.检查尾气柜门是否关闭。 2.确认尾气柜门传感器工作是否正常。 3009 {0} 在'{1}'状态下不能执行'{2}'命令 Warning ReactorCmdReject 反应腔在当前状态下不能执行当前队列中的命令时发出该消息。 1.检查当前操作是否符合设备操作要求。 3010 {0} 气柜门打开。 Warning GasDoorOpen 当反应腔的气柜门打开时，发出该警告事件。 1.检查气柜门是否关闭。 2.确认气柜门sensor工作是否正常。 3011 {0} 警告：电源柜门打开。 Warning PSUDrOpen 当打开电源柜门时，发出该警告消息。 1.检查电源柜门是否关闭。 2.确认电源柜门sensor工作是否正常。 3012 {0} 加热带控制器通讯异常。 Warning LineHeaterConnFail 当PLC与加热带控制器之间的通讯发生异常时发出该消息。 1.检查加热带控制器是否在运行。 2.检查加热带控制器通讯线是否连接准确可靠。 3.确认PLC控制程序是否运行。 3013 {0} UPS运行在旁路模式（机台不处于UPS保护状态）。 Warning PmUpsByPass 当反应腔UPS处于ByPass模式时，发出该消息。 1.检查UPS的参数设置。 3014 {0} UPS电池电量低。 Warning PmUpsBatteryLow 当反应腔电池电量不足的是否，发出该警告。 1.检查UPS的电池是否已经老化。 2.检查UPS的进线端是否已经掉电。 3015 {0} 不处于UPS保护状态。 Warning PmUpsNotProtected 当反应腔不处于UPS保护状态时，发出该报警。 1.检查UPS的运行状态以及参数设置。 3016 {0} 加热器控制程序警告：{1}。 Warning SmartSendWarning 当Smart PLC程序运行过程中发出报警代码，则发送该警告事件到界面显示。 1.参考加热器控制程序返回的警告信息进行诊断分析。 3017 {0} 旋转机构转速跟随警告：{1}。 Warning SpindleToleranceWarning 当旋转机构的转速软件规划值和实际转速值相差超过设定范围并维持一定时间的情况下，发出该警告。 1.检查转速或升降速速率设定是否超出范围。 3018 {0} DeviceNet网络中的{1}节点报警：{2}。 Warning DNetNodeMacStatusException 当DeviceNet网络节点中的MacStatus异常时，发出该警告。 1.产生该报警的原因是DeviceNet网络中当前节点设备的通讯发生异常，请检查System Manager中该设备状态，同时检查该设备通信是否异常。 3019 {0} pressure alarm: current feedback {1}, {3}{4} continuous for {2} seconds. {0} pressure alarm: current feedback {1} {3}{4} continuous for {2} seconds. {0} 压力报警：当前值{1},连续{2}秒{3}{4}。 Alarm Pressure_Sensor_Alarm 当气体的压力不在指定范围内时，发出该警告。 1.检查气体供应。 3020 {0} pressure warning: current feedback {1}, {3}{4} continuous for {2} seconds. {0} pressure warning: current feedback {1} {3}{4} continuous for {2} seconds. {0} 压力预警：当前值{1},连续{2}秒{3}{4}。 Warning Pressure_Sensor_Warning 当气体的压力不在指定范围内时，发出该预警。 1.检查气体供应。 3021 {0} alarm: current feedback {1}, {3}{4} continuous for {2} seconds. {0} alarm: current feedback {1} {3}{4} continuous for {2} seconds. {0} 流量报警：当前值{1},连续{2}秒{3}{4}。 Alarm WT_Flow_Alarm 当反应腔某路冷却水流量在设定流量范围之外时发出该警告。注：水流量设定值可在反应腔的参数页面设置。 1.检查冷却水流量设定以及实际水量。 3022 {0} warning: current feedback {1}, {3}{4} continuous for {2} seconds. {0} warning: current feedback {1} {3}{4} continuous for {2} seconds. {0} 流量预警：当前值{1},连续{2}秒{3}{4}。 Warning WT_Flow_Warning 当反应腔某路冷却水流量在设定流量范围之外时发出该警告。注：水流量设定值可在反应腔的参数页面设置。 1.检查冷却水流量设定以及实际水量。 3023 {0} temperature warning: current feedback {1}℃, {3}{4}℃ continuous for {2} seconds. {0} temperature warning: current feedback {1}℃, {3}{4}℃ continuous for {2} seconds. {0} 温度预警：当前值{1}℃,连续{2}秒{3}{4}℃。 Warning TC_Temp_Warning 当反应腔某路冷却水温在设定流量范围之外时发出该警告。注：水温设定值可在反应腔的参数页面设置。 1.检查冷却水温报警设定以及实际水温度。 3024 {0} temperature alarm: current feedback {1}℃, {3}{4}℃ continuous for {2} seconds. {0} temperature alarm: current feedback {1}℃, {3}{4}℃ continuous for {2} seconds. {0} 温度报警：当前值{1}℃,连续{2}秒{3}{4}℃。 Alarm TC_Temp_Alarm 当反应腔某路冷却水温在设定流量范围之外时发出该警告。注：水温设定值可在反应腔的参数页面设置。 1.检查冷却水温报警设定以及实际水温度。 3025 {0} 水浴槽报警，设备运行停止。 Warning BathCutOff 当水浴槽停止工作时，发出该报警事件。 1.检查水浴槽是否正在运行。 2.检查水浴槽是否过热保护。 3.检查水浴槽控制器是否正常运行。 3026 {0} 不可识别的工艺程序控制命令{1}。 Warning RecipeItemUnknow 当工艺程序运行引擎发现不可识别的工艺程序命令时，则发出该警告。 1.检查工艺程序文件的版本设置是否正确。 2.检查工艺程序文件内容是否合法。 3027 {0} {1}。 Warning GuiCmdExecFailed 当用户命令执行失败时发出该警告事件。 1.检查操作指令是否符合设备操作要求。 2.检查当前操作是否触发软件互锁。 3028 {0} 反应腔柜门打开。 Warning PmDorOpened 当反应腔柜门打开时发出该警告事件。 1.请检查反应腔柜门是否关闭。 3029 {0} 旋转轴参数错误，{1}。 Warning SpindleParamIncorrect 当反应腔旋转轴的参数设定不正确时发出该警告。 1.检查旋转设定值是否超出范围。 3030 {0} {1}Tolerance Warning：{2}。 Warning ToleranceWarning 当设备模块的设定量和实际反馈量的误差比较报警时发出该警告。 1.检查发生跟随误差的器件工作是否正常。 2.检查设定值或变化速率是否超出范围。 3031 {0} Smart测量服务程序通信中断。 Warning SmartServerHeartBeatFail Smart温度采集高级语言程序和Flywheel程序之间的通信断开时发出该连接失败警告事件。 请检查温控服务程序是否已经在反应腔工控机上运行。 3032 {0} {1}H2浓度警告，H2浓度{2}ppm。 Warning H2LeakDetected 当反应腔的3个H2检测传感器的4~20mA读值转换后超出H2浓度报警值，则发出该警告事件。 检查对应位置是否发生泄漏。 3033 {0} 水浴槽液位警告。 Warning BathLevelWarning 当水浴槽液位低时发出该警告。 1.检查水浴槽中水位高度。 3034 {0} 数据库连接失败。 Warning DbConnFailed 当控制程序与数据库连接断开时发出该事件。 1.请检查数据库连接配置参数。 2.请检查网线是否已联通。 3035 {0} 排气环轴同步警告，{1}。 Warning ShutterPosSyncWarning 当排气环的2个运动轴位置反馈值的差异大于系统设定参数值时，发出该警告。 1.检查排气环运动轴是否被异物卡住。 2.检查排气环运动轴的同步差异参数设定值是否过小。 3036 {0} 加热带控制器运行异常。 Warning LineHeaterNotRunning 当加热带控制器的硬件DI点异常时，发出警告事件。 1.检查加热带控制器状态。 2.检查反应腔PLC程序是否已运行。 3037 {0} 主泵出口压力超压警告。 Warning ProcessPumpOutletPresWarning 当反应腔的主真空泵出口压力超过警告设定值时，触发对应的硬件DI信号点，从而发出该警告事件。 1.检查厂务排气系统工作是否正常。 2.检查主泵情况。 3038 {0} {1}。 Warning SafePlcInterlock 当安全PLC的安全逻辑将某DO设定值拦截下来的时候发出该警告信息。 检查软件互锁逻辑与硬件互锁逻辑内容，检查互锁发生原因。 3039 {0} 阀门{1}{2}失败，原因{3}。 Warning ValveOperationFail 当阀门打开或关闭超时的时候发出该警告信息。 1.检查当前阀门动作是否满足软件互锁规则。 2.如果当前阀门为安全阀门，检查安全PLC是否正常运行。 3041 {0} GMS_WT_Leak信号报警。 Warning GMSWTLeak 检测到气柜漏水传感器信号异常时发出该警告事件。 1.检查气柜内是否有漏水。 3042 {0} Reactor_WT_Leak信号报警。 Warning ReactorWTLeak 检测到应腔柜内漏水传感器信号异常时发出该警告事件。 1.检查反应腔柜内是否有漏水。 3043 {0} Exhaust_WT_Leak信号报警。 Warning ExhaustWTLeak 检测到直流电源柜柜内漏水传感器信号异常时发出该警告事件 1.检查直流电源柜柜内水箱是否有漏水。 3044 {0} PCW_WT_Leak信号报警。 Warning PCWWTLeak 检测到供电柜内漏水传感器信号异常时发出该警告事件。 1.检查供电柜内是否有漏水。 3045 {0} EtherCat网络警告：{1}。 Warning EtherCatWarning 检测到EtherCat网络存在警告时发出该警告事件。 1.检查PLC网络连接。 3046 {0} EtherCat从站设备警告：{1}。 Warning EtherCatSlaveDeviceWarning 检测到EtherCat网络从站设备存在警告时发出该警告事件。 1.检查PLC网络连接。 3047 {0} 直流电源柜实际温度{1}，超出温度警告设定值{2}。 Warning PSUCabinetTempHighWarning 经过软件比较，实际值温度读值高于警告设定值发出该警告。 1.检查直流电源柜风扇工作是否正常。 2.检查直流电源柜冷却水流量是否正常。 3.检查直流电源柜热电阻工作是否正常。 3048 {0} 热交换机工艺冷却水温度异常 Warning HX1_ProcessWaterTempAbnormalWarning 当热交换机工艺冷却水温度硬件DI信号点触发时，发出该警告。 1.检查热交换机工作是否正常。 2.检查对应温度设置是否合理。 3.检查对应温度计工作是否正常。 3049 {0} 热交换机工艺冷却水液位异常 Warning HX1_ProcessWaterLevelAbnormalWarning 当热交换机工艺冷却水液位硬件DI信号点触发时，发出该警告。 1.检查热交换机工作是否正常。 2.检查热交换机水箱内液位高度是否正常。 3050 {0} 尾气过滤器前后端压差警告。 Warning ExhaustFilterDifferentialPressureWarning 经过软件比较，尾气过滤后端实际压力值与报警设定值（系统参数）差异过大时，发出该警告。 1.检查尾气过滤器。 3051 {0} 各加热区温度差异过大警告，最低温度{1}℃，最高温度{2}℃，加热区域的最大温差为{3}℃。 Warning ReactorTempDTWarning 当各加热区（最高温度 - 最低温度）超过30度（可参数设定），发出该警告。 1.检查工艺程序各区温度设定值是否合理。 3052 {0} 直流电源{1}未就绪。 Warning PSUiNotReady 当直流电源没有准备就绪时，发出该警告事件。 来源：SMART PLC的第i个PSU的状态，正常工作状态值为1，否则为0。 该信号从SMART PLC传至C#程序，C#检测到该信号从1变为0，则发送该警告事件到用户界面。 3053 {0} 维护任务到期警告：{1}。 Warning ScheduleMaintanceTimeoutWarning 当反应腔维护任务到期时，发出该警告。 1.检查定期维护界面是否存在待处理的任务。 3054 {0} {1}维护任务‘{2}’失败。 Warning ModifyScheduleMaintanceFailedWarning 当反应腔维护任务操作失败时，发出该警告事件。 1.检查定期维护界面任务设置是否正确。 3055 {0} 分子泵发出警告。 Warning TurboPumpWarning 当反应腔分子泵的警告信号被触发时，发出该警告事件。 1.通过分子泵操作面板，确认分子泵当期的设置和运行状态。 3056 {0} 分子泵停止运行。 Warning TurboPumpStop 当反应腔分子泵停止运行时发出该报警。 1.检查分子泵对应开关是否打开。 2.查看分子泵操作面板信息，确认分子泵是否已运行。 4001 机械臂急停按钮被触发 Alarm RobotEmoReadyAlarm 机械臂EMO_Ready按钮被触发。 1.检查、排除问题后，点“Reset”按钮 4002 系统EMO按钮被触发 Alarm EmoReadyAlarm 系统EMO按钮被触发时，会触发该事件 1.检查并排除错误后，点Reset按钮重置状态 4003 传送腔和{0}的通信中断。 Alarm PmDisconnected 当TM和PMxx反应腔之间的通信中断时，由TM发出该报警消息。 1.检查反应腔的网络连接。 4010 系统UPS动作报警。 Alarm TmUpsAlm 外部电源停电等原因，会导致系统UPS进行供电。 1.检查系统供电是否正常。 4048 机械臂控制器出错。错误码：{0}，错误描述：{1}。 Alarm RobotControllerError 当机械臂控制器出错时，系统抛出此事件。通常，必须重启机械手控制器才能排除此错误。 1.检查机械臂控制器是否工作正常。 2.根据事件下拉列表框提示，进行针对检查和设置。 4049 {0} 信号报警 Alarm SystemSignalMonitor 系统监测到此类信号，系统停止，且系统置错。必须排除该问题，系统才能运行，否则重置后还会继续报错。 1.检查信号对应的硬件，排除此信号出现。 4050 传盘条件不具备：{0}。 Alarm TransferPrepareFailed 在点击"开始"按钮后，预检各Chamber门、闸阀是否关闭、压力是否满足真空/Atm要求。若不具备，抛出事件，传盘不能进行 使提示条件具备 4051 {0}未检测到托盘，且无托盘记录，不能取出托盘 Alarm WaferAbsentWithoutRecord 只有目标腔同时检测到托盘和托盘记录，才能取出托盘。 1.检查腔体是否有托盘。 2.检查腔体是否有托盘信息。若有托盘，但无托盘信息，请先创建该托盘的信息。 4052 {0}检测到托盘，且有托盘记录，无法送入托盘。 Alarm WaferPresentWithRecord 只有目标腔无托盘且无托盘记录时，才能送入托盘。 1.目标腔体必须无托盘。若有，请先取走托盘。 2.目标腔体必须无托盘信息。若无托盘，但已有托盘信息，请删除该托盘信息。 4053 {0}未检测到托盘，但有托盘记录，无法{1}托盘。 Alarm WaferAbsentWithRecord 只有托盘和托盘记录一致时，序列才能正常运行。作为起始腔时，必须有托盘和托盘记录。作为目标腔时，必须无托盘且无托盘记录。 1.删除托盘信息。 4054 向{0}传盘操作失败。 Alarm PuttingWaferToChamberFails 因某种原因，传送腔向某腔体传盘失败。 1.请点击事件下拉列表框，查看具体原因。 2.检查导致失败的原因，使其满足条件。 4055 从{0}取盘操作失败。 Alarm PickingWaferFromChamberFails 因某种原因，传送腔从某腔体取盘失败。 1.请点击事件下拉列表框，查看具体原因。 2.检查导致失败的原因，使其满足条件。 4056 {0}检测到托盘，但无托盘记录，无法{1}托盘。 Alarm WaferPresentWithoutRecord 只有托盘和托盘记录一致时，序列才能正常运行。作为起始腔时，必须有托盘和托盘记录。作为目标腔时，必须无托盘且无托盘记录。 1.创建该腔体的托盘信息。 4057 {0}未检测到托盘，但有托盘记录。 Alarm WaferNotPresentWithRecord 腔体内未检测到托盘，但有托盘信息。托盘和托盘信息不一致。 1.删除该腔体的托盘信息 4058 {0}检测到托盘，但无相应的托盘记录。 Alarm WaferPresenceWithoutRecord 腔体内检测到托盘，但没有创建托盘信息。托盘和托盘信息要不一致。 1.创建该腔体的托盘信息。 4059 定序器异常终止：{0}。 Alarm SequencerAbnormallyStopped 定序器运行时，因某种原因，导致其异常终止。 1.分析具体原因，使该原因不再发生。 4060 机械臂不能进入{0}。 Alarm RobotCannotEnter 机械臂控制器没有发出允许机械臂进入的信号。 1.检查机械臂控制器是否工作正常。 2.检查互锁是否满足。 4061 送盘后机械臂上检测到托盘。 Alarm WaferDetectedAfterSend 在送盘后机械臂上检测到托盘时，发出此错误事件。 1.检查腔体对应的托盘传感器信号是否工作正常。 2.检查机械臂/机械臂控制器是否工作正常。 4062 送盘前机械臂上未检测到托盘。 Alarm WaferNotDetectedBeforeSend 在送盘前机械臂上未检测到托盘时，发出此错误事件。 1.检查腔体对应的托盘传感器信号是否工作正常。 2.送盘前，机械臂上需要有托盘。 4063 取盘后机械臂上未检测到托盘。 Alarm WaferNotDetectedAfterPick 在取盘后机械臂上未检测到托盘时，发出此错误事件。 1.检查腔体对应的托盘传感器信号是否工作正常。 2.检查是否因外力作用，托盘在传盘过程中，从机械臂上滑落。 4064 取盘前机械臂上检测到托盘。 Alarm WaferDetectedBeforePick 在取盘前机械臂上检测到托盘时，发出此错误事件。 1.取盘前，机械臂上必须无托盘和托盘信息。 4065 机械臂执行命令‘{0}’失败。 Alarm RobotCommandFailed 当机械臂执行某一命令失败时，发出此错误事件。 1.检查机械臂控制器是否工作正常。 2.检查机械臂是否工作正常。 4066 传送腔机械臂回归原位操作失败。 Alarm RobotHomingFailed 当传送腔机械臂回归原位操作失败时，发出此错误事件。 1.检查机械臂控制器是否工作正常。 2.重新Home。 4068 系统尾气泄漏。 Alarm ScrubberFail 当系统尾气泄漏时，发出此错误事件。 1.检查信号是否工作正常。 2.检查系统，排除泄漏。 4069 系统检测到地震。 Alarm EarthquakeDetected 当系统检测到地震时，发出此错误事件。 1.地震了，您自己决定吧。 4070 系统硅烷泄漏。 Alarm SilaneLeak 当系统硅烷泄漏时，发出此错误事件。 1.检查系统，排除泄漏。 2.检查硬件信号是否工作正常。 4071 系统氨气泄漏。 Alarm Nh3Leak 当系统氨气泄漏时，发出此错误事件。 1.检查系统，排除泄漏。 2.检查硬件信号是否工作正常。 4072 系统氢气泄漏。 Alarm H2Leak 当系统氢气泄漏时，发出此错误事件。 1.检查系统，排除泄漏。 2.检查硬件信号是否工作正常。 4073 发生火警。 Alarm FireDetected 当发生火警时，发出此错误事件。 1.灭火。 2.检查硬件信号是否工作正常。 4074 {0}双密圈压力过高。 Alarm DorPressureHigh 当某一反应腔双密圈压力过高时，发出此错误事件。 1.检查厂务压力。 2.检查双密封圈压力计是否工作正常。 4075 缓冲管压力过高。 Alarm TubePressureHigh 当缓冲管压力过高时，发出此错误事件。 1.检查厂务压力。 2.检查缓冲管压力计是否工作正常。 4076 未能在{0}秒内关闭装卸腔门。 Alarm FailedToCloseLoadlockDoor 当关闭装卸腔门时，若装卸腔门在指定时间内未关闭，则发出此错误事件。 1.检查装卸腔门关闭信号是否工作正常。 4077 未能在{0}秒内打开装卸腔门。 Alarm FailedToOpenLoadlockDoor 当开启装卸腔门时，若在指定时间内腔门未开，则发出此错误事件。 1.检查装卸腔门打开信号是否工作正常。 4079 系统发生死锁：请手动将托盘取出。{0} Alarm SequencerIsDeadlocked 当系统中塞满了托盘，定序器无法移动任何一个托盘时，发出此错误事件。 1.系统内托盘过多，请减少托盘数量。 4080 机械臂未完成HOMING操作。 Alarm RobotIsNotHomed 当机械臂未完成HOMING操作、而试图对机械臂进行其他操作时，发出此错误事件。 1.检查机械臂控制器是否工作正常。 2.重新尝试Home。 4081 机械臂伺服未打开。 Alarm RobotServoNotOn 当机械臂伺服未打开、而试图对机械臂进行操作时，发出此错误事件。 1.检查机械臂控制器是否工作正常。 2.重新Home。 4082 TCP通讯出错：{0}。 Alarm PcSocketError 检查电脑IP是否连通。 1.检查电脑IP是否已经连通。 4083 压力伺服失败：经过{0}分钟后，腔体压力为{1}帕，未达设定压力{2}帕。 Alarm PressureServoFails 传送腔压力伺服未能在规定时间内，伺服到规定压力。 1.检查传送腔真空泵是否工作正常。 2.检查传送腔MFC是否工作正常。 4084 传送腔主泵未打开。 Alarm TmPumpNotRun 当运行传送腔或装卸腔服务程序时，如果传送腔真空泵没有运行，则抛出该报警事件。 1.开启传送腔真空泵。 4085 {0}闸板阀未关闭。 Alarm SlitValveNotClosed 当反应腔闸板阀未关闭时，将抛出该报警事件，同时定序器停止工作。 1.关闭反应腔闸板阀。 4086 打开{0}闸板阀失败：{1}。 Alarm FailureToOpenSlitValve 传送腔打开闸板阀失败时发出该报警事件。 1.检查闸板阀是否工作正常。 4087 关闭{0}闸板阀失败: {1}。 Alarm FailureToCloseSlitValve 传送腔关闭闸板阀失败时发出该报警事件。 1.检查闸板阀是否工作正常。 4093 Alarm event:{0}. Alarm event:{0}. 报警事件:{0}。 Alarm DefaultAlarm 警告范围4000~4000+，如果系统反馈的警告事件没有指定事件ID，或者ID编号范围有误，则使用当前默认的报警代码作为该事件的警告代码。 默认报警事件 5001 {0} 腔柜风管内外压差不足。 Alarm ReactorCabinetVentilationLowAlarm 检测到柜风管内外压差不足硬件DI点报警，发出该报警事件。 1.检查厂务排风是否正常。 2.检查对应压差计设定是否正常。 5002 {0} 热电偶报警，温度超温。 Alarm ReactorOverTemp 检测到热电偶超温硬件DI点报警，发出该报警事件。 1.检查反应腔实际温度是否超出设定值。 2.检查热电偶是否连接准确，可靠。 5003 {0} 压力计报警，腔体压力过高。 Alarm ReactorOverPressure 检测到腔体压力过高硬件DI点报警，发出该报警事件。 1.检查反应腔实际压力是否超出设定值。 2.检查压力计通讯线是否连接准确，可靠。 5004 {0} 腔盖未关闭。 Alarm ReactorLidNotClosed 检测到反应腔盖没有关闭时，发出该报警事件。 1.检查反应腔盖是否完全关闭。 2.检查对应传感器是否工作正常。 5005 {0} 双O圈密封性报警。 Alarm ReactorDORAbnormal 经过硬件（Baratron）比较，实际值和报警设定值差异过大时，触发DI硬件输入点报警，发出该报警事件。 1.检查反应腔双O圈密封性是否存在问题。 5006 {0} 气柜风管内外压差不足。 Alarm GasCabinetVentilationLowAlarm 检测到气柜风管内外压差不足的DI硬件输入点报警，发出该报警事件。 1.检查厂务排风是否正常。 2.检查对应压差计设定是否正常。 5007 {0} 气柜烟雾监测异常。 Alarm GasCabinetSmokeDetected 检测到气柜烟雾报警传感器报警，发出该报警事件。 1.检查是否发生着火等异常情况。 2.检查气柜烟雾报警器的运行状态是否正常。 5008 {0} 工艺氮气供应压力不足。 Alarm ProcessN2PressureLow 检测到工艺氮气供应压力DI硬件输入点报警，发出该报警事件。 1.检查厂务供气压力是否正常。 2.检查氮气管路前入口端阀门是否为打开状态。 3.检查氮气压力报警值设定是否合适。 5009 {0} 工艺氢气供应压力不足。 Alarm ProcessH2PressureLow 检测到工艺氢气供应压力DI硬件输入点报警，发出该报警事件。 1.检查厂务供气压力是否正常。 2.检查氢气管路前入口端阀门是否为打开状态。 3.检查氢气压力报警值设定是否合适。 5010 {0} 工艺氨气供应压力不足。 Alarm ProcessNH3PressureLow 检测到工艺氨气供应压力DI硬件输入点报警，发出该报警事件。 1.检查厂务供气压力是否正常。 2.检查氨气管路前入口端阀门是否为打开状态。 3.检查氨气压力报警值设定是否合适。 5011 {0} 工艺硅烷供应压力不足。 Alarm ProcessSiH4PressureLow 检测到工艺硅烷供应压力DI硬件输入点报警，发出该报警事件。 1.检查厂务供气压力是否正常。 2.检查硅烷管路前入口端阀门是否为打开状态。 3.检查硅烷压力报警值设定是否合适。 5012 {0} 动力氮气供应压力不足。 Alarm PneumaticPressureLow 检测到动力氮气供应压力DI硬件输入点报警，发出该报警事件。 1.检查厂务供气压力是否正常。 2.检查动力氮气管路前入口端阀门是否为打开状态。 3.检查动力氮气压力报警值设定是否合适。 5013 {0} 直流电源柜实际温度{1}，超出温度报警设定值{2}。 Alarm PSUCabinetTempHighAlarm 经过软件比较，实际值温度读值和报警设定值（系统参数）差异过大时，发出该报警。 1.检查直流电源柜风扇工作是否正常。 2.检查直流电源柜冷却水流量是否正常。 3.检查直流电源柜热电阻工作是否正常。 5014 {0} 尾气柜风管内外压差不足 Alarm ExhaustCabinetVentilationLowAlarm 检测到尾气柜风管内外压差不足DI硬件输入点报警，发出该报警事件。 1.检查厂务排风是否正常。 2.检查对应压差计设定是否正常。 5016 {0} 主泵出口压力超压报警。 Alarm ProcessPumpOutletOverPressure 当主真空泵出口压力超过硬件设定值后，对应的硬件DI信号点变为0，触发报警。 1.检查厂务排气系统工作是否正常。 2.检查主泵情况。 5017 {0} 热交换机工艺冷却水流量异常 Alarm HX1_ProcessWaterFlowAbnormal 当热交换机工艺冷却水流量硬件DI信号点触发时，发出该报警。 1.检查热交换机工作是否正常。 2.检查对应阀门是否开启。 3.检查对应流量计工作是否正常。 5018 {0} 热交换机工艺冷却水温度异常 Alarm HX1_ProcessWaterTempAbnormal 当热交换机工艺冷却水温度硬件DI信号点触发时，发出该报警。 1.检查热交换机工作是否正常。 2.检查对应温度设置是否合理。 3.检查对应温度计工作是否正常。 5019 {0} 热交换机工艺冷却水液位异常 Alarm HX1_ProcessWaterLevelAbnormal 当热交换机工艺冷却水液位硬件DI信号点触发时，发出该报警。 1.检查热交换机工作是否正常。 2.检查热交换机水箱内液位高度是否正常。 5020 {0} 蝶阀工作异常。 Alarm ThrottleValveAbnormal 当蝶阀工作状态异常时，发出该报警。 1. 检查蝶阀运行状态。 5021 {0} 尾气过滤器前后端压差异常。 Alarm ExhaustFilterDifferentialPressureAbnormal 经过软件比较，尾气过滤后端实际压力值与报警设定值（系统参数）差异过大时，发出该报警。 1.检查尾气过滤器。 5022 {0} 反应腔体冷却水流量不足。 Alarm ReactorWaterFlowLow 当反应腔体冷却水流量不足的硬件DI信号点被触发时，发出该报警。 1.检查冷却水流量预警设定值是否合理。 2.检查厂务供水水流量是否合理。 5023 {0} 腔体冷却水回水温度过高。 Alarm ReactorWaterTempHighAlarm 当反应腔体冷却水回水温度过高的硬件DI信号点被触发时，发出该报警。 1.检查冷却水温度预警设定值是否合理。 2.检查厂务供水温度是否合理。 5024 {0} 工艺程序执行第{1}步异常：{2}。 Alarm RecipeProcessException 当反应腔执行菜单程序过程中发生菜单解释异常，发出该报警事件。 1.检查工艺程序内容是否合法。 5025 {0} Can not run recipe：{1}。 Alarm PrepareProcessErr 反应腔准备运行工艺菜单运行出错时，发出该报警事件。 1.对照工艺程序运行失败原因，调取charting数据对设备进行诊断分析。 5026 {0} 传盘出错：{1}。 Alarm PrepareTransferTimeout 反应腔准备传盘过程超时的情况下，发出该报警事件。 1.对照传盘出错原因，调取charting数据对设备进行诊断分析。 5027 {0} PLC heart beat check failed，please confirm PLC still running Alarm PlcHeartBeatFail PLC运行时需不断向C#程序发送心跳包消息，如果消息发送超时，则向GUI发送该错误消息。 1.检查反应腔工控机上的PLC程序是否已运行。 5028 {0} 压力设定值和实际值差值过大报警。 Alarm DPReactorOverLimit 当蝶阀设定压力值和实际读值差异超过系统设定值并维持一定时间时，触发报警事件。 1.检查蝶阀工艺状态是否正常。 5029 {0} 各加热区温度差异过大报警，最低温度{1}℃，最高温度{2}℃，加热区域的最大温差为{3}℃。 Alarm ReactorTempDTAlarm 当各加热区（最高温度 - 最低温度）超过50度（可参数设定），发出该报警。 1.检查工艺程序各区温度设定值是否合理。 5030 {0} 供电异常，UPS动作保护。 Alarm PmUpsPowrInFail 当反应腔UPS电源发生动作时，发出该警告。 1.检查厂务供电是否发生异常。 2.检查UPS运行状态是否正常。 5031 {0} 工艺程序收尾处理错误：{1}。 Alarm PostProcessErr 当反应腔执行菜单完毕后，进行降温等后续处理过程中发生错误。 1.通过charting、事件等工具分析工艺程序收尾阶段发生错误的原因。 5032 {0} 读取工艺程序'{1}'发生错误。 Alarm ReadRecipeFail 当读取解析recipe file 时发生异常发出该报警。 1.检查运行的工艺程序内容是否合法。 5033 {0} 加热控制程序出错：{1}。 Alarm SmartSendAlarm 当Smart温控PLC程序的错误代码不为0时，触发生成对应的报警代码及报警事件。 1.检查错误代码对应的内容，分析温控报警原因。 5034 {0} EtherCat网络出错：{1}。 Alarm EtherCatFail 检测到EtherCat网络存在错误时发出该警告事件。 1.检查反应腔System Manager程序的运行状态。 2.联系JetPlasma，寻求技术支持。 5035 {0} 加热器控制程序通讯错误。 Alarm SmartDisconnectAlarm 当加热器控制程序通讯中断时，并且菜单运行条件中包含加热器状态检查时，则发出该报警。 1.检查反应腔工控机上的Smart PLC， Smart Console程序是否已运行。 5036 {0} 主泵停止运行。 Alarm ProcessPumpStop 当反应腔主泵停止运行时发出该报警。 1.检查主泵对应开关是否打开。 2.查看主泵操作面板信息，确认主泵是否已运行。 5037 {0} 代码运行异常，{1}。 Alarm CSharpException 当控制程序运行检测到异常时，发出该报警事件。 1.将控制程序的运行日志寄回JetPlasma，帮助JetPlasma进行程序调试。 2.联系JetPlasma寻求技术支持。 5038 {0} 工艺程序'{1}'运行出错。 Alarm ProcessError 工艺程序运行过程中发生异常，工艺程序出错终止，并触发该报警事件。 1.查找事件日志，分析工艺程序运行失败的原因。 5039 {0} 工艺运行因软件互锁而终止：{1}。 Alarm RecipeAbortedByInterlock DO-500为软件互锁给出的菜单继续运行的控制信号，如果该信号被强制为0，则工艺程序执行会被停止。 1.查找事件日志，分析触发软件互锁的原因。 5040 {0} H2气体泄露报警。 Alarm ReactorH2Leak 当反应腔发生氢气泄漏时发出该报警。 检查H2管线是否发生泄漏。 5041 {0} NH3气体泄露报警。 Alarm ReactorNH3Leak 当反应腔发生氨气泄漏时发出该报警。 检查NH3气路是否发生泄漏。 5042 {0} SiH4气体泄露报警。 Alarm ReactorSiH4Leak 当反应腔发生硅烷气体泄漏时发出该报警。 检查SiH4管线是否发生泄漏。 5043 {0} 尾气处理报警。 Alarm ReactorScrubberFail 当反应腔的Scrubber尾气处理DI硬件信号点异常时，发出该报警。 1. 检查厂务排气系统运行是否正常。 5045 {0} ProcessStop按钮被触发。 Alarm ProcessStopTrigged 当反应腔的Process Stop按钮被触发时发出该报警事件。 1.检查反应腔的process stop按钮是否被按下。 5046 {0} 软件互锁定义文件错误：{1}。 Alarm InterlockFileBad 当控制程序读取某腔体的软件互锁定义文件失败时发出该报警信息。 1.检查软件互锁定义文件语法是否有错。 2.检查Interlock.cfg文件是否存在。 3.联系JetPlasma寻求技术支持。 5047 {0} 主接触器断开报警。 Alarm PmPowerContactAlarm 当反应腔主接触器断开时发出该报警。 1.检查系统关机按钮是否被按下。 2.检查系统EMO回路是否正常。 3.检查系统是否有短路或漏电。 5052 {0} 石墨盘存档文件损坏，请检查腔内石墨盘状态并重建石墨盘数据。 Alarm PmSusceptorDataCorrupted 反应腔控制程序启动后，从磁盘读取上次关机时记录的石墨盘数据发生错误时，发出该错误事件。 1.检查反应腔内是否放置石墨盘。 2.在系统监控页面对该反应腔重建石墨盘记录操作。 5053 {0} 安全逻辑运行异常：{1}。 Alarm SafeLogicAbnormal 当安全逻辑运行异常时，发出该报警事件。 1.检查System Manager是否运行异常。 2.联系JetPlasma寻求技术支持。 5054 {0} 和PLC之间的I/O数据同步出错。 Alarm PmIoUpdateErr 当反应腔控制程序与PLC程序之间进行I/O数据同步出错时发出该事件。 1.检查System Manager是否运行异常。 2.联系JetPlasma寻求技术支持。 5055 {0} 旋转轴出错，{1}。 Alarm SpindleAlarm 当反应腔出错时发出该报警事件。 检查旋转轴的PLC代码，以及旋转轴驱动器状态。 5056 {0} 腔体压力上升过快报警。 Alarm PmPresRiseTooFast 当腔体压力上升速度超过系统设置参数值，发出报警事件。 反应腔的参数配置页面，检查反应腔压力控制参数。 5057 {0} DeviceNet网络中从站设备通讯异常。 Alarm DeviceNetFail 当某反应腔的DeviceNet网络中某子设备发生问题时，发出该报警信息。 检查所有DeviceNet的MFC，PC，TV通信是否正常。 5058 {0} 传盘收尾出错：{1}。 Alarm PostTransferErr 当反应腔传盘收尾出错时，触发发出该报警事件。 1.查看事件日志，分析传盘收尾出错原因。 2.联系JetPlasma寻求技术支持。 5059 {0} 旋转机构出错。 Alarm RotationFail 当旋转轴驱动器的硬件DI信号点异常时，触发该报警事件。 1.检查驱动器状态。 2.检查驱动器至对应PLC模块的连线。 5060 {0} EtherCat从站设备报警：{1}。 Alarm EtherCatSlaveDeviceAlarm 检测到EtherCat网络从站设备存在报警时发出该警告事件。 1.检查PLC网络连接。 2.检查PLC模块运行状态。 5061 伺服包N报警代码N,错误码{0} Alarm RobotServoPackAlarm 伺服驱动器N有错误报警 1.查看控制柜与本体的码盘电缆是否可靠连接 2.查看控制柜与本体的动力电缆是否可靠连接 3.确认使用时间是否超过5年，需要更换电池 4.联系新松现场维护 //// 5062 控制柜急停未解除,错误码{0} Alarm RobotControlCabinetStopBtnNoCancelled 控制柜急停按钮未旋起 将控制柜按钮顺时针旋转至旋起 //// 5063 示教盒急停未解除,错误码{0} Alarm RobotTeachingNotClosed 示教盒急停按钮未旋起 将示教盒急停按钮顺时针旋转至旋起 //// 5064 位控板1：+错误字内容,错误码{0} Alarm RobotControlCabinetError1 控制柜内部错误 联系新松现场维护 //// 5065 位控板1：+错误字内容,错误码{0} Alarm RobotControlCabinetError2 控制柜内部错误 联系新松现场维护 //// 5066 位控板1：+错误字内容,错误码{0} Alarm RobotControlCabinetError3 控制柜内部错误 联系新松现场维护 //// 5067 位控板N返回数据超时,错误码{0} Alarm RobotPCBNDataTimeout 控制柜内部错误 联系新松现场维护 //// 5068 位控板1：+错误字内容,错误码{0} Alarm RobotControlCabinetError4 控制柜内部错误 联系新松现场维护 //// 5069 系统发生碰撞,错误码{0} Alarm RobotSysOfCollision 机械手发生碰撞 1.如果为误碰撞，使用示教盒进行自学习 2.发送SVON、RESET重新进入执行状态 //// 5070 旋转信号不允许,错误码{0} Alarm RobotRotationSignalNotAllowed 传输腔传感器未遮盖或用户IO故障 1、检查传输腔传感器。 2、确认传感器信号是否正常返回 //// 5071 伸缩信号不允许,错误码{0} Alarm RobotTelescopicSignalNotAllowed 阀门未打开（传输腔通往其他腔室)或用户IO故障 1.检查传输腔传感器 2.确认传感器信号是否正常返回 //// 5072 RobotNeedResetAfterAlarm 请发送RESET启动,错误码{0} 产生报警后停止运行，系统为停止状态 发送RESET启动 Alarm //// 5073 RobotInTeach 请切换成执行模式,错误码{0} 当前为示教模式，无法接收串口指令 使用示教盒切换成执行模式，或者重启机械手 Alarm //// 5074 RobotHighTempStetchNotAllowed 温度过高，伸展不允许,错误码{0} 腔室温度没有降下来 等腔室温度降下来后，重新发送 Alarm //// 5075 RobotOutPutPortNotExist 输出端口NO.不存在,错误码{0} 输出端口号越界或没有配置 1.系统下电，按照指定范围重新配置输出端口号 2.修改内部程序 Alarm //// 5076 RobotJointNOutOfPositionLimit 关节N位置超界,错误码{0} 关节值超软限位 1.确认零位是否正常（两手臂重合为R轴零点位置） 2.发送RQ POS ABS ARM A ALL查看当前关节值 3.发送SVON、RESET，继续运行 4.使用示教盒时，按“取消”键，检查关节值范围 Alarm //// 5077 RobotJointNOutOfSpeedLimit 关节N速度超界,错误码{0} 关节运动速度超界 1.发送SVON、RESET，继续运行 2.使用示教盒时，按“取消”键，检查关节运动速度范围 Alarm //// 5078 RobotGotoSlotOutOfRange GOTO工位号超范围,错误码{0} GOTO指令工位号超出指定范围 检查工位号范围A手为1-20 Alarm //// 5079 RobotRqSinSlotOutOfRange RQ STN工位号超范围,错误码{0} RQ STN指令工位号超出指定范围 检查工位号范围A手为1-20 Alarm //// 5080 RobotRqParamNotSupported RQ命令不支持的参数,错误码{0} RQ指令某字段输入错误 检查RQ指令格式 Alarm //// 5081 RobotStoreSinSlotMoreThan20 STORE STN指令工位号大于20,错误码{0} STORE STN指令工位号超出指定范围 检查工位号范围A手为1-20 Alarm //// 5082 RobotStoreSinParamError STORE STN命令手臂参数错误,错误码{0} 机械手无法识别用户所发的手臂指令 检查是否有拼写错误，ARM A Alarm //// 5083 RobotStoreCmdIncomplete STORE指令输入不完整,错误码{0} STORE 指令字段名字错误 检查STORE指令格式 Alarm //// 5084 RobotCmdSpellingError 指令拼写错误,错误码{0} 发出的指令拼写错误 HOME指令未指定R、T、Z、ALL字段 Alarm //// 5085 RobotHomeParamNotSpecified HOME参数未指定,错误码{0} HOME指令未指定参数 HOME指令未指定R、T、Z、ALL字段 Alarm //// 5086 RobotGotoRNotSpecified GOTO指令R轴参数未指定,错误码{0} GOTO指令R字段后未指定具体参数或错误参数 检查GOTO指令格式；GOTO指令R字段后参数为RE或EX Alarm //// 5087 RobotGotoZNotSpecified GOTO指令Z轴参数未指定,错误码{0} GOTO指令Z字段后未指定具体参数或错误参数 检查GOTO指令格式；Z字段后参数为DOWN或UP Alarm //// 5088 RobotArmParamError ARM参数错误,错误码{0} GOTO指令/MOVE指令/PICK指令/PLACE指令中ARM字段后未指定具体手臂 ARM字段后要指定参数；A代表A手臂，B代表B手臂 Alarm //// 5089 RobotGotoFiledNameError GOTO指令未指定参数,错误码{0} GOTO指令中字段名字错误 检查GOTO指令格式 Alarm //// 5090 RobotMoveModeNotSpecified MOVE指令未指定模式或轴,错误码{0} MOVE指令中未指定具体轴或运动模式 1.MOVE指令具体轴字段为R、T、Z 2.MOVE指令运动模式为ABS（绝对值）或REL（相对值） Alarm //// 5091 RobotMoveFiledNameError MOVE 指令中字段名字错,错误码{0} MOVE指令中字段名字错误 检查MOVE指令格式 Alarm //// 5092 RobotCmdExecNotFinshed 指令执行未结束,错误码{0} 机械手正在执行动作指令时，上位机重复发送动作指令 机械手执行动作指令完成后，上位机才能再次发送动作指令 Alarm //// 5093 RobotGotoSlotNoSpecified GOTO指令未指定工位号,错误码{0} GOTO指令未指定具体的工位号 确定GOTO指令指定具体工位号 Alarm //// 5094 RobotAbsNoSpecified ABS未指定数值,错误码{0} MOVE指令中的ABS字段后没有指定数值 确定MOVE指令中ABS字段后输入正确数值 Alarm //// 5095 RobotMoveRelNoSpecified REL未指定数值,错误码{0} MOVE指令中的REL字段后没有指定数值 确定MOVE指令中REL字段后输入正确数值 Alarm //// 5096 RobotUmoveRelNoSpecified REL未指定数值,错误码{0} UMOVE指令中的REL字段后没有指定数值 确定MOVE指令中REL字段后输入正确数值 Alarm //// 5097 RobotNoSpecifyMainProject 没有指定主程序,错误码{0} RESET指令后，当前系统没有配置主作业 确定当前系统登记主作业 Alarm //// 5098 RobotCurrentNoOpenWork 当前没有打开作业,错误码{0} RESET指令后，当前系统没有打开主作业 确定当前系统打开主作业 Alarm //// 5099 RobotCurrentNotMainWork 当前作业不是主作业,错误码{0} RESET指令后，当前系统运行的作业不是主作业 确定当前系统运行主作业 Alarm //// 5100 RobotServoFailed 手臂电源上电失败,错误码{0} 在发RESET时，系统不是上电状态 用指令SVON或者示教盒给机械手上电 Alarm //// 5101 RobotNotDetectedWaferBeforePick place动作前:未检测到晶圆,错误码{0} 放片时，手指上没有负载 禁止发送PLACE指令 Alarm //// 5102 RobotDetectedWaferBeforePick pick动作前:检测到晶圆,错误码{0} 手指上有负载情况下，发送PICK指令 禁止发送该指令，或发送PLACE指令 Alarm //// 5103 RobotDetectedWaferAfterPick pick动作后:检测到晶圆,错误码{0} 机械手没有把晶圆放倒指定位置或示教位置不正确 检查机械手存储位置及发送时工位号是否正确 Alarm //// 5104 RobotNotDetectedWaferAfterPick pick动作后:未检测到晶圆,错误码{0} 机械手没有到正确的位置去取片或者工位示教不正确 检查机械手存储位置及发送时工位号是否正确 Alarm //// 5105 RobotHasWafer 手指上可能有晶圆,错误码{0} 手指上可能有晶圆 Alarm //// 5106 RobotNoWafer 手指上可能无晶圆,错误码{0} 手指上可能无晶圆 Alarm //// 5107 RobotCurrentStationOn load当前状态为ON，不正确,错误码{0} load当前状态为ON，不正确 Alarm //// 5108 RobotCurrentStationOff load当前状态为OFF，不正确,错误码{0} load当前状态为OFF，不正确 Alarm //// 5109 RobotNoSlot 当前slot不存在,错误码{0} 当前slot不存在 Alarm //// 5120 TCPConnSucess TCP连接成功,IP:{0} Port:{1} 当TCP连接成功时，发出此消息事件 Information 5121 RF不能满足打开条件: {0} Warning RFFailedOn 当RF Power On Interlock 不满足时，发出此消息。 5122 {0} 射频比率警告：{1}。 Warning RFToleranceWarning 当射频的规划值和实际值相差超过设定范围并维持一定时间的情况下，发出该警告。 1.检查RF设备的状态。 5123 RF Interlock failed. Warning RFInterlockFailed RF interlock is 0. 1.check hardware. 5125 {0} {1}Process pressure alarm：{2}. Alarm ProcessPressureToleranceAlarm chamber pressure can not stable in a setpoint time 1.Check throttle valve 5126 {0} {1}Tolerance alarm：{2}. {0} {1} Tolerance alarm：{2}. {0} {1} 跟随误差报警：{2}. Alarm ToleranceAlarm 当设备模块的设定量和实际反馈量的误差比较报警时发出该警告。 1.检查发生跟随误差的器件工作是否正常。 2.检查设定值或变化速率是否超出范围。 5127 Current RF match mode is set to auto mode, the match position C1/C2 set in recipe will not be used. Current RF match mode is set to auto mode, the match position C1/C2 set in recipe will not be used. 当前射频适配模式设置为自动，在自动模式下菜单文件中的适配位置C1/C2不起作用。 Information ProcessRFMatchModeSetToAuto display when process config RF match mode is set to auto Change the RF match mode from auto to manual in process config page. 5128 TC {0} broken. TC {0} broken. 温度计 {0} 坏了。 Alarm TCBroken display if TC is broken change the broken TC. 5129 RF is over temperature. RF is over temperature. 射频发生器温度过高。 Alarm RfOverTemp display if RF is over temperature check the RF. 5130 System running mode changed to {0} Information RunningModeChanged system changed running mode System running mode changed to {0} 系统运行模式切换到 {0}