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  chenzk 0aa55ce909 1 revise efem view hai 1 semana
  chenzk 2ab01da9c2 add WaferRobotFAction None hai 2 semanas
  chenzk 02069c13bc add robot pick/place parameter upper/down releate hai 2 semanas
  chenzk 57d22c6c02 add punk robot control hai 2 semanas