 chenzk
|
aa3c154f1f
1 reivse axis check
|
пре 1 недеља |
|
chenzk
|
f75d57cc9d
1 revise run dummy recipe bug
|
пре 2 недеља |
|
chenzk
|
98591f14eb
add dunmmyRinse run recipe
|
пре 2 недеља |
|
chenzk
|
5ab36c422a
revise platingcell run recipe bug
|
пре 3 недеља |
|
chenzk
|
28830d558c
add platingcell interval rinse/entry/ deposition routine
|
пре 3 недеља |
 chenkui
|
dd048ffe7c
update cell vertical position
|
пре 3 недеља |
|
chenzk
|
7b4c861e65
revise platingcell vertical set，add platingcell3_4 vertical
|
пре 2 месеци |
|
chenkui
|
bfd0b53b4a
update VPW Initialize
|
пре 4 месеци |
|
chenkui
|
1cdd2160ec
update kollmorgen axis
|
пре 5 месеци |
|
chenkui
|
7957a5c8af
Update VPWCell1/VPWCell2 to VPW1/VPW2;
|
пре 5 месеци |
|
chenkui
|
c2d9da3983
Initialize
|
пре 5 месеци |
